公开(公告)号：DE102012111831A1

公开(公告)日：2013-06-13

申请号：DE102012111831

申请日：2012-12-05

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： DETZEL THOMAS ,  GROSS JOHANN ,  ILLING ROBERT ,  KRUG MAXIMILIAN ,  LANZERSTORFER SVEN GUSTAV ,  NELHIEBEL MICHAEL ,  ROBL WERNER ,  ROGALLI MICHAEL ,  WOEHLERT STEFAN

IPC: H01L23/532 ,  H01L21/768 ,  H01L27/04

Abstract: Eine integrierte Schaltung umfasst ein Basiselement (1) und ein Kupferelement (2) über dem Basiselement (1), wobei das Kupferelement (2) eine Dicke von wenigstens 5 µm hat und ein Verhältnis einer mittleren Korngröße zur Dicke kleiner als 0,7 ist.

公开(公告)号：DE102012111831B4

公开(公告)日：2019-08-14

申请号：DE102012111831

申请日：2012-12-05

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： DETZEL THOMAS ,  GROSS JOHANN ,  ILLING ROBERT ,  KRUG MAXIMILIAN ,  LANZERSTORFER SVEN GUSTAV ,  NELHIEBEL MICHAEL ,  ROBL WERNER ,  ROGALLI MICHAEL ,  WÖHLERT STEFAN

IPC: H01L23/532 ,  H01L21/768 ,  H01L27/04

Abstract: Integrierte Schaltung, umfassend:ein Basiselement (6) mit einer Vielzahl von Komponenten elektronischer Schaltungen in einem Oberflächenbereich eines Halbleitersubstrats (1) undein Kupferelement (2) aufweisend Kupferkörner (2a) über dem Basiselement (6),wobei das Kupferelement (2) eine Dicke von wenigstens 5 pm hat und das Verhältnis der mittleren Korngröße der Kupferkörner (2a) des Kupferelements (2) zur Dicke des Kupferelements (2) kleiner als 0,7 ist, undwobei der Modalwert der Korngrößenverteilung der Kupferkörner (2a) des Kupferelements (2) größer als 2 pm und kleiner als 5 pm ist.

公开(公告)号：DE102014102242A1

公开(公告)日：2014-08-28

申请号：DE102014102242

申请日：2014-02-21

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： FAISS SIMON ,  FRANK MANFRED ,  KRUG MAXIMILIAN ,  KUNSTMANN THOMAS ,  MÜLLER MATTHIAS ,  ROBL WERNER ,  STRASSER JOHANN

IPC: H01L21/283 ,  C23C28/00

Abstract: Verschiedene Verfahren und Vorrichtungen betreffen poröse Metallschichten auf einem Substrat, die dreidimensional beschichtet sind. In einer Ausführungsform wird eine poröse Metallschicht über einem Substrat abgeschieden. Die poröse Metallschicht kann mit einem Beschichtungsmaterial dreidimensional beschichtet sein.