Bauteil mit Pufferschicht und Verfahren zur Herstellung eines Bauteils

    公开(公告)号:DE102017119346A1

    公开(公告)日:2019-02-28

    申请号:DE102017119346

    申请日:2017-08-24

    Abstract: Es wird ein Bauteil (100) mit einem Halbleiterchip (10), einer Pufferschicht (3), einer Verbindungsschicht (4) und einem metallischen Träger (9) angegeben. Der Halbleiterchip umfasst ein Substrat (1) und einen darauf angeordneten Halbleiterkörper (2). Der metallische Träger weist einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf, der mindestens 1,5-mal so groß ist wie ein thermischer Ausdehnungskoeffizient des Substrats oder des Halbleiterchips, oder umgekehrt. Der Halbleiterchip ist mittels der Verbindungsschicht auf dem metallischen Träger derart befestigt, dass die Pufferschicht zwischen dem Halbleiterchip und der Verbindungsschicht angeordnet ist, wobei der Halbleiterchip an die Pufferschicht angrenzt. Bevorzugt weist die Pufferschicht eine Fließspannung auf, die mindestens 10 MPa ist und höchstens 300 MPa beträgt.Des Weiteren wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils angegeben.

    Optoelektronisches Bauteil
    4.
    发明专利

    公开(公告)号:DE102018111791A1

    公开(公告)日:2019-11-21

    申请号:DE102018111791

    申请日:2018-05-16

    Abstract: Es wird ein optoelektronisches Bauteil (20) mit einem Träger (21), einem optoelektronischen Halbleiterchip (25), einer Isolationsschicht (22), welche ein elektrisch isolierendes Material aufweist, und einer ersten Kontaktschicht (23), welche ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, angegeben. Die Isolationsschicht (22) ist auf dem Träger (21) angeordnet und weist eine Kavität (24) auf, der Halbleiterchip (25) ist in der Kavität (24) angeordnet, die erste Kontaktschicht (23) ist zwischen dem Halbleiterchip (25) und dem Träger (21) und zwischen der Isolationsschicht (22) und dem Träger (21) angeordnet, und die erste Kontaktschicht (23) weist mindestens eine Unterbrechung (26) auf, so dass der Träger (21) im Bereich der Kavität (24) zumindest stellenweise frei von der ersten Kontaktschicht (23) ist.

    Träger und Bauteil mit Pufferschicht sowie Verfahren zur Herstellung eines Bauteils

    公开(公告)号:DE102017119344A1

    公开(公告)日:2019-02-28

    申请号:DE102017119344

    申请日:2017-08-24

    Abstract: Es wird ein Träger (9) mit einer Pufferschicht (3) oder ein Bauteil (100) insbesondere mit einem solchen Träger angegeben. Der Träger ist metallisch ausgebildet, wobei die Pufferschicht eine Fließspannung aufweist, die mindestens 10 MPa und höchstens 300 MPa ist. Insbesondere weist der Träger einen Grundkörper (90) auf, der bezüglich dessen Materialzusammensetzung derart ausgebildet ist, dass eine Fließspannung des Grundkörpers größer ist als die Fließspannung der Pufferschicht. Das Bauteil weist etwa einen Halbleiterchip (10) mit einem Substrat (1) und einem darauf angeordneten Halbleiterkörper (2) auf, wobei der Träger einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der mindestens 1,5-mal so groß ist wie ein thermischer Ausdehnungskoeffizient des Substrats oder des Halbleiterchips. Der Halbleiterchip ist mittels einer Verbindungsschicht (4) auf einer Montagefläche (94) des Trägers derart befestigt ist, dass die Verbindungsschicht zwischen dem Halbleiterchip und der Pufferschicht angeordnet ist.Des Weiteren wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils angegeben.

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