INTEGRATED CIRCUIT WITH DRAM MEMORY CELL
    2.
    发明申请
    INTEGRATED CIRCUIT WITH DRAM MEMORY CELL 审中-公开
    集成电路与DRAM存储器单元

    公开(公告)号:WO03017362A8

    公开(公告)日:2003-04-03

    申请号:PCT/FR0202887

    申请日:2002-08-14

    CPC classification number: H01L27/10852 H01L27/10888

    Abstract: The invention concerns an integrated circuit comprising a substrate (1), at least a capacitor (9) arranged above the substrate (1) and provided with a first electrode (5), a second electrode (8), and a dielectric (7) arranged between the two electrodes, at least a connecting feedthrough between the substrate (1) and a conductive level located above the capacitor (9), and a dielectric material covering the substrate (1) and enclosing the capacitor (9) and the feedthrough. The feedthrough comprises a first portion (18) arranged between the substrate and the lower level of the first electrode, a second portion (6) arranged between the lower level of the first electrode and the upper level of the first electrode, and a third portion (12) in contact with the first electrode and flush with said conductive level, the second portion being made of the same material as the first electrode of the capacitor.

    Abstract translation: 本发明涉及一种集成电路,该集成电路包括衬底(1),布置在衬底(1)上方并且设置有第一电极(5),第二电极(8)和电介质(7)的至少一个电容器(9) 布置在所述两个电极之间,所述衬底(1)和位于所述电容器(9)上方的导电层之间的至少一个连接馈通,以及覆盖所述衬底(1)并封闭所述电容器(9)和所述馈通的介电材料。 馈通包括布置在基板与第一电极的下层之间的第一部分(18),布置在第一电极的下层与第一电极的上层之间的第二部分(6),以及第三部分 (12)与所述第一电极接触并与所述导电层平齐,所述第二部分由与所述电容器的第一电极相同的材料制成。

    3.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:FR2828764B1

    公开(公告)日:2004-01-23

    申请号:FR0110868

    申请日:2001-08-16

    Abstract: This integrated circuit comprises a capacitor ( 23 ) formed above a substrate ( 1 ) inside a first cavity in a dielectric and comprising a first electrode, a second electrode, a thin dielectric layer placed between the two electrodes, and a structure ( 7 ) for connection to the capacitor. The connection structure is formed at the same level as the capacitor in a second cavity narrower than the first cavity, the said second cavity being completely filled by an extension of at least one of the electrodes of the capacitor.

    STRUCTURE DE MEMOIRE COMPORTANT UN ELEMENT RESISTIF PROGRAMMABLE ET SON PROCEDE DE FABRICATION.

    公开(公告)号:FR2930371A1

    公开(公告)日:2009-10-23

    申请号:FR0802106

    申请日:2008-04-16

    Abstract: Une structure mémoire comportant un transistor d'accès (TR) connecté en série avec un élément résistif programmable (EM), caractérisé en ce que ledit élément résistif programmable comporte sur un substrat semi-conducteur (110) ; une couche isolante (170) disposant d'un évidement comportant :- une première couche (140) tapissant les surfaces latérales et le fond dudit évidemment et imperméable à la diffusion de métal ;- une seconde couche (150) composé d'un matériau poreux sur ladite première couche ; :- une troisième couche (160) de matériau métallique permettant de réaliser une électrode de contact susceptible de diffusion au sein dudit matériau poreux constitué de la seconde couche.La diffusion des ions métalliques au sein de ladite seconde couche étant commandée par l'action conjointe d'un champ électrique et de la température.Un procédé de fabrication est également décrit.

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