电子器件及其制造方法
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101451860B

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN200810184301.9

    申请日:2008-12-03

    Inventor: 东和司

    CPC classification number: G01D5/2417 G01L1/142 H01G5/16 H01L24/81

    Abstract: 本发明的目的是提供可以在相对的基板之间形成正确的间隙、可以减小电子器件的面积的电子器件及其制造方法。其特征是,在设备基板(1)设置具有中心图案(7)和覆盖其表面的凸点图案(8)的第二电极部(6),中心图案(7)由比凸点图案(8)硬度更高的材料构成,在接合基板(2)设置与凸点图案(8)相同材料的第一电极部(5),设备基板(1)的功能部和第一电极部(5)通过直接接合(DirectBonding)的第一电极部(5)和凸点图案(8)电连接。

    接合装置及接合方法
    35.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1703138B

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200510073982.8

    申请日:2005-05-27

    Abstract: 本发明提供一种接合装置及接合方法。该接合装置具备保持电子部件的吸附管嘴、将电路基板与所述电子部件相面对地保持的基板台架、以及可以配置在定位状态的所述电子部件和所述电路基板之间的照射位置的准分子紫外线灯。在此种接合装置中,在利用所述准分子紫外线灯同时向所述电子部件的金突起及所述电路基板的基板电极照射紫外线而进行了两金属部分的清洗处理后,在使两金属部分相互接触的状态下赋予超声波振动,进行两金属部分的金属接合。

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