公开(公告)号：CN111137850A

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201911186136.5

申请日：2019-11-28

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 王登顺 ,  盛洁 ,  苏翼 ,  刘韧 ,  车一卓 ,  唐琼 ,  丁凯 ,  李海燕

IPC: B81C3/00

Abstract: 本发明一种实现低应力敏感结构贴片工艺的方法，能够解决目前采用环氧树脂等胶类的MEMS器件敏感结构贴片方式所存在的技术问题。该方法包括以下步骤：在MEMS器件管壳上镀上一层金层；在所述金层上制作若干个且按设定布局排列的金球；在所述敏感结构的贴装面镀上一层金层；将敏感结构置于所述MEMS器件管壳上，其中，所述金球与敏感结构的贴装面的金层对准，得到复合结构；在真空和高温环境下，对所述敏感结构施加一定压力，通过金金热压焊工艺实现贴装面与金球的连接以完成敏感结构贴片工艺。

公开(公告)号：CN103256927B

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201210041591.8

申请日：2012-02-21

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郑辛 ,  廖兴才 ,  杨军 ,  刘飞 ,  丁凯 ,  刘迎春 ,  车一卓 ,  李海燕 ,  唐琼 ,  李佳

IPC: G01C19/5628

Abstract: 本发明属于制造方法，具体涉及一种石英音叉止挡结构的制造方法。它包括：第一步，定位；第二步，进行石英音叉和底座的粘接；第三步，进行上盖的定位；第四步进行上盖和支撑框的粘接；第五步，进行底座、支撑框和上盖的装配。本发明的显著效果是：(1)提高石英音叉抗冲击性能；(2)整个止挡为全石英结构，其加工工艺与现有的石英音叉微加工工艺相兼容，易于批量化实现；(3)保证粘接时装配间隙的均匀性；(4)实现对止挡间隙均匀性误差的精确控制(±2μm以内)；(5)引入装配工装，并结合止挡结构的晶向确定定位基准，实现对平面定位误差的精确控制(±20μm以内)。

公开(公告)号：CN103256927A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201210041591.8

申请日：2012-02-21

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郑辛 ,  廖兴才 ,  杨军 ,  刘飞 ,  丁凯 ,  刘迎春 ,  车一卓 ,  李海燕 ,  唐琼 ,  李佳

IPC: G01C19/5628

Abstract: 本发明属于制造方法，具体涉及一种石英音叉止挡结构的制造方法。它包括：第一步，定位；第二步，进行石英音叉和底座的粘接；第三步，进行上盖的定位；第四步进行上盖和支撑框的粘接；第五步，进行底座、支撑框和上盖的装配。本发明的显著效果是：(1)提高石英音叉抗冲击性能；(2)整个止挡为全石英结构，其加工工艺与现有的石英音叉微加工工艺相兼容，易于批量化实现；(3)保证粘接时装配间隙的均匀性；(4)实现对止挡间隙均匀性误差的精确控制(±2μm以内)；(5)引入装配工装，并结合止挡结构的晶向确定定位基准，实现对平面定位误差的精确控制(±20μm以内)。

公开(公告)号：CN102009945B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201010540092.4

申请日：2010-11-11

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 杨军 ,  郑辛 ,  唐琼 ,  盛洁 ,  刘大俊 ,  李佳 ,  廖兴才 ,  刘迎春 ,  张菁华 ,  朱建伟 ,  车一卓 ,  李海燕

IPC: B81C1/00 ,  G01C19/5628

Abstract: 本发明属于石英音叉陀螺加工领域，具体涉及一种微机械石英音叉陀螺敏感结构加工方法。其特点在于：本加工方法能实现高精度三维石英结构加工：音叉厚度误差控制在±0.5μm以内、平面尺寸精度误差可控制在±1μm以内；能实现高精度三维复杂电极图形加工：电极距音叉三维石英结构边缘距离可达到为10μm、与音叉三维石英结构表面的相对位置误差可控制在±1μm之内，在同一侧面上可形成不同极性的电极且加工误差控制在±5μm以内；能实现质量块精密加工：质量块厚度误差可控制在±0.5μm内、厚度均匀性±5％、表面粗糙度不大于0.1μm，与音叉三维石英结构的相对位置误差可控制在±1μm之内。