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公开(公告)号：KR101972148B1
公开(公告)日：2019-04-24
申请号：KR1020170132508
申请日：2017-10-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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公开(公告)号：KR1020170118019A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：KR1020170132508
申请日：2017-10-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 수분이유기 EL 소자까지침입하는것을억제한다. 1 개또는복수의격벽부와양극상의유기층을밀봉하는제 1 밀봉층상에중간층이형성된기판을반입하는공정과, 상기기판에형성된중간층을에치백하는공정을가지며, 상기에치백하는공정은, 상기 1 개또는복수의격벽부중, 적어도하나의격벽부상의제 1 밀봉층의적어도일부가, 다음공정에서성막되는제 2 밀봉층과접촉가능한정도로상기중간층으로부터노출할때까지실행되는것을특징으로하는유기디바이스의제조방법이제공된다.
Abstract translation: 由此防止水渗入有机EL元件中。 引入具有在第一密封层上形成的中间层的基板的步骤，所述第一密封层在正极上密封一个或多个分隔部和有机层;以及回蚀形成在基板上的中间层的步骤， 其中，一个或多个分隔壁的至少一个分隔壁部分上的第一密封层的至少一部分从中间层执行至第二密封层可接触在下一步骤中形成的第二密封层的程度 提供了一种制造装置的方法。
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公开(公告)号：KR1020160117206A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020160033950
申请日：2016-03-22
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01F19/005 , G01N21/8806 , G01N2015/1481
Abstract: 잉크젯방식에의해토출된액적의체적을정확하게측정한다. 측정기판(S) 상의액적(L)의상방에, 링형상광원(17)의중심축과카메라(11)의광축이일치하여액적(L)의정점을지나고, 또한, 링형상광원(17)의직경방향과측정기판(S)의표면이평행이되도록링 형상광원(17)과카메라(11)를배치하고, 링형상광원(17)을점등시킨상태로카메라(11)에의해액적(L)을촬영한화상에기초하여링 형상광원(17)으로부터액적(L)에조사된광의반사광의둘레의반경(x)을구하고, 측정기판(S)의하측으로부터액적(L)을향해광을조사한상태로카메라(11)에의해액적(L)을촬영한화상에기초하여액적(L)의반경(A)을구하고, 반경(x)과반경(A)을이용하여액적(L)의체적을산출한다.
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公开(公告)号：KR1020140113399A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：KR1020140028390
申请日：2014-03-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L51/56 , B05D3/0493 , H01L51/0003 , H01L51/0026
Abstract: Provided are a drying apparatus and a drying method, capable of efficiently removing solvents from an organic material layer coated on a substrate for a short time and performing a uniform dry process on the surface of the substrate. The drying apparatus (100) includes a processing container (1) for vacuum exhaust, a holding stand (3) which is a support member to support the substrate (S) in the processing container (1), a gas spraying device (5) which sprays gas to the organic material layer on the substrate (S) supported by the holding stand (3), and a control unit (6). In addition, the drying apparatus (100) includes pressure controlling apparatus for controlling the pressure in the processing container (1). Also, a plurality of nozzles (51) independently controls the spray amount of the gas and the type of the gas.
Abstract translation: 提供一种干燥装置和干燥方法，能够在短时间内有效地除去涂布在基板上的有机材料层中的溶剂，并在基板表面上进行均匀的干法处理。 干燥装置（100）包括用于真空排气的处理容器（1），作为将处理容器（1）中的基板（S）支撑的支撑构件的保持架（3），气体喷射装置（5） 其将气体喷射到由保持架（3）支撑的基板（S）上的有机材料层和控制单元（6）。 此外，干燥装置（100）包括用于控制处理容器（1）中的压力的压力控制装置。 此外，多个喷嘴（51）独立地控制气体的喷射量和气体的类型。
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公开(公告)号：KR101230997B1
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：KR1020117010850
申请日：2009-11-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L51/56 , B65G49/06 , H01L21/677 , H05B33/10
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/67173 , H01L21/6723
Abstract: 트랜스퍼 모듈의 측면에 접속되는 각종 처리 장치의 사이의 간격을 넓힐 수 있어, 메인터넌스성이 뛰어나고, 스루풋의 악화를 회피하여 충분한 생산성을 확보 가능한 기판 처리 시스템을 제공한다. 기판 상에 예를 들면 유기층을 포함하는 복수의 층을 적층하여 유기 EL 소자를 제조하는 기판 처리 시스템으로서, 진공 배기되는 1 또는 2 이상의 트랜스퍼 모듈에 의해 직선 형상의 반송 경로가 구성되고, 트랜스퍼 모듈의 내부에는, 처리 장치에 대하여 기판을 반입출시키는 복수의 반입출 에어리어와, 이들 사이에 배치된 1 또는 2 이상의 스톡 에어리어가 반송 경로를 따라 교호로 직렬로 배치되며, 트랜스퍼 모듈의 측면에는, 반입출 에어리어와 대향하는 위치에서 처리 장치가 접속되어 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110084923A
公开(公告)日：2011-07-26
申请号：KR1020117010850
申请日：2009-11-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L51/56 , B65G49/06 , H01L21/677 , H05B33/10
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/67173 , H01L21/6723 , B65G49/061 , H01L21/67028 , H01L21/67739 , H01L21/67745 , H05B33/10
Abstract: 트랜스퍼 모듈의 측면에 접속되는 각종 처리 장치의 사이의 간격을 넓힐 수 있어, 메인터넌스성이 뛰어나고, 스루풋의 악화를 회피하여 충분한 생산성을 확보 가능한 기판 처리 시스템을 제공한다. 기판 상에 예를 들면 유기층을 포함하는 복수의 층을 적층하여 유기 EL 소자를 제조하는 기판 처리 시스템으로서, 진공 배기되는 1 또는 2 이상의 트랜스퍼 모듈에 의해 직선 형상의 반송 경로가 구성되고, 트랜스퍼 모듈의 내부에는, 처리 장치에 대하여 기판을 반입출시키는 복수의 반입출 에어리어와, 이들 사이에 배치된 1 또는 2 이상의 스톡 에어리어가 반송 경로를 따라 교호로 직렬로 배치되며, 트랜스퍼 모듈의 측면에는, 반입출 에어리어와 대향하는 위치에서 처리 장치가 접속되어 있다.
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公开(公告)号：KR101754260B1
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：KR1020140028390
申请日：2014-03-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 기판상에도포된유기재료막중의용매를효율좋게, 단시간에제거할수 있고, 또한기판의면내에서균일한건조처리가가능한건조장치및 건조처리방법을제공한다. 건조장치(100)는진공배기가능한처리용기(1)와, 처리용기(1) 내에서기판(S)을지지하는지지부재로서의재치대(3)와, 재치대(3)에지지되는기판(S) 상의유기재료막을향해가스를분사하는가스분사장치(5)와, 제어부(6)를구비하고있다. 또한건조장치(100)는, 처리용기(1) 내의압력을조절하는압력제어기구를구비하고있다. 복수의노즐(51)은가스의분사유량, 가스의종류를, 노즐(51)마다독립하여조절할수 있도록구성되어있다.
Abstract translation: 本发明提供一种干燥装置和干燥方法，其能够在短时间内有效地除去涂布在基板上的有机材料膜中的溶剂，并且能够在基板的平面内进行均匀的干燥处理。 干燥装置100具有：能够进行真空排气的处理容器1;作为用于将基板S支承在处理容器1内的支承部件的载置台3;基板（未图示） 用于向基板S上的有机材料膜注入气体的气体注入装置5以及控制部6。 此外，干燥装置100具备用于控制处理容器1内的压力的压力控制机构。 多个喷嘴51构成为能够针对各喷嘴51独立地调整气体的流量和气体的种类。
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公开(公告)号：KR1020140113398A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：KR1020140028389
申请日：2014-03-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/67098 , H01L51/0003 , H01L51/0026
Abstract: Provided is a drying apparatus capable of removing solvent from an organic material film coated on a substrate with good efficiency, in a short period of time, and while refreshing a member used for capturing the solvent. The drying apparatus (100) includes a processing receptacle (1) able to perform evacuation, a placing bed (3) for supporting a substrate (S) in the processing receptacle (1) as a supporting member, and a solvent capturing unit (5) installed to face the substrate (S) supported by the placing bed (3) for capturing volatile solvent from the organic material film. In addition, the solvent capturing unit (5) includes a temperature control device (7) which serves as a solvent release device for releasing the captured solvent. The solvent capturing unit (5) includes at least one sheet of a capturing plate (50) facing the substrate (S) placed on the placing bed (3) to be disposed in parallel to a surface of the substrate (S). The solvent capturing unit (5) has multiple through-holes (50a) formed therein.
Abstract translation: 提供一种干燥装置，其能够在短时间内以高效率的方式从涂布在基板上的有机材料膜除去溶剂，同时刷新用于捕获溶剂的部件。 干燥装置（100）包括能够进行排气的处理容器（1），用于将作为支撑部件的处理容器（1）中的基板（S）支撑的放置台（3）和溶剂捕捉部 ）安装成面对由放置床（3）支撑的用于从有机材料膜捕获挥发性溶剂的基板（S）。 此外，溶剂捕获单元（5）包括用作释放捕获的溶剂的溶剂释放装置的温度控制装置（7）。 溶剂捕获单元（5）包括至少一个面对放置在放置床（3）上以与基底（S）的表面平行设置的基底（S）的捕获板（50）的片材。 溶剂捕捉单元（5）具有形成在其中的多个通孔（50a）。
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公开(公告)号：KR1020140004761A
公开(公告)日：2014-01-13
申请号：KR1020137024690
申请日：2012-02-24
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/14 , C23C14/22 , H01L51/5076 , H01L2251/5346 , H01L51/56 , H01L21/203 , H01L51/0002
Abstract: 원하는 공증착을 행할 수 있는 성막 장치, 성막 방법, 유기 발광 소자의 제조 방법 및 유기 발광 소자를 제공한다. 성막 장치의 성막 헤드는 유기 성막 재료의 증기를 피처리 기판(G)을 향해 분출하는 유기 성막 재료 공급부(4)와, 무기 성막 재료의 증기를 피처리 기판(G)을 향해 분출하는 무기 성막 재료 공급부(5)를 구비한다. 유기 성막 재료 공급부(4), 무기 성막 재료 공급부(5)는 수평 방향 및 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있고, 분출구(41a, 51a)로부터 분출되는 유기 재료, 무기 재료의 혼합 비율이 두께 방향으로 상이한 상태로 성막되도록, 배치가 제어된다.
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