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公开(公告)号：KR100995700B1
公开(公告)日：2010-11-22
申请号：KR1020080067915
申请日：2008-07-14
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: H01J37/3266 , H01J37/321 , H01J37/32706 , H01J37/32761 , H01J37/34
Abstract: 본 발명은 3차원 표면형상을 갖는 원통형 가공물을 위한 유도 결합형 플라즈마 공정 챔버 및 방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 유도 결합형 플라즈마 소스의 내부 RF 안테나 역할을 하는 원통형 가공물의 일측에는 임피던스 매칭 네트워크를, 타측에는 종단 축전기를 통하여 RF 전원과 연결함으로써, 낮은 플라즈마 오염, 기판 근처의 균일한 고밀도 플라즈마를 형성, 기판으로부터 발생되는 2차전자의 구속이 가능하며, 3차원 선형 반도체 장치, 평판 또는 3차원 구조의 마이크로 및 나노 패턴을 갖는 금속, 유리, 세라믹, 고분자 기판 등에 대한 플라즈마 공정의 적용을 가능하게 하는 3차원 표면형상을 갖는 원통형 가공물을 위한 유도 결합형 플라즈마 발생 공정 챔버 및 방법에 관한 것이다.
이를 위해,
접지되어 있으며 도전체로 구성되는 진공 챔버의 외벽;
상기 진공챔버의 외벽과 절연 연결된 가공물 지지 수단;
상기 가공물 지지 수단에 장착되며, 일단은 임피던스 매칭 네트워크를 통하여, 타단은 종단 커패시터를 통하여 외부 RF 전력원과 연결되는 원통형 가공물; 및
상기 외벽의 내측에 위치하여 가공물을 둘러싸는 기체 분사 전극;
을 포함하여 구성되는 3차원 표면형상을 갖는 원통형 가공물을 위한 유도 결합형 플라즈마 발생 공정 챔버를 제공한다.
유도 결합형 플라즈마, 용량 결합형 플라즈마, 내장형 안테나, 대면적, 3차원 형상 기판, RF, 세정, 에칭, 증착, 매칭 네트워크, 공정 챔버.-
公开(公告)号：KR100931846B1
公开(公告)日：2009-12-15
申请号：KR1020070117818
申请日：2007-11-19
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 RF 안테나를 이루는 도체와 절연 진공관 사이에 절연 공간을 두고 용량성 결합 전극을 나선형으로 구성하여 내장형 안테나를 구성하며, 용량성 결합 전극(Capacitive Coupling Electrode)의 일단이 접지되면 패러데이 쉴드(FS, Faraday shield)로 작동할 수 있는 유도성 결합 플라즈마의 내장형 RF 안테나 및 이를 장착한 플라즈마 챔버에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은, 접지와 연결되고 도체로 이루어진 외벽으로 구성되는 공정 챔버; 상기 공정 챔버로부터 절연되어 그 내부에 장착되는 가공물 지지대; 상기 가공물 지지대와 연결되는 전원공급부; 상기 공정 챔버의 밀봉 장치를 통해 밀봉되어 내장되는 한 개 이상의 RF 안테나; 상기 RF 안테나는 내부에 안테나 도체가 구성되고, 이 안테나 도체와 같은 축에서 절연 공간에 의해 분리되어 안테나 도체의 외부를 나선형으로 감싸는 용량성 결합 전극이 구성되고, 상기 안테나 도체와 용량성 결합 전극을 둘러싸는 절연 진공관이 동일한 축으로 구성되며;
상기 안테나 도체의 양단에 매칭 네트워크를 통해 연결되며, 접지와도 연결되는 RF 전원공급장치; 상기 용량성 결합 전극과 연결된 스위치를 통해 연결 구성되는 CCE 전원공급장치와 접지;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버를 제공한다.
안테나, 내장형, 플라즈마, 유도성 결합, 용량형 결합, 용량형 결합 전극, 증착용 재료, 패러데이 쉴드Abstract translation: 电容耦合电极螺旋形成在形成RF天线的导体与绝缘真空管之间的绝缘空间中以形成内部天线。当电容耦合电极的一端接地时，法拉第屏蔽（FS ，法拉第屏蔽罩）以及配备RF天线的等离子体室。
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公开(公告)号：KR1020090050871A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：KR1020070117535
申请日：2007-11-16
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F1/78 , G03F7/0005 , G03F7/201 , G03F7/2059 , G03F7/70716
Abstract: 본 발명은 고진공의 진공챔버 내의 원통금형 스테이지에 장착된 원통금형 기판을 회전시키면서 전자빔(E_beam)을 조사하여 원통금형 기판에 나노급 고분해능으로 단시간 내에 많은 양의 연속 패턴을 형성할 수 있게 하고, 원통금형 스테이지(진공챔버)의 나노급 정밀도의 수평 이송과 Z축, θx, θy 능동 자세 제어를 통하여 노광기 자체의 기계적 위치 제어 오차를 최소화시킬 수 있는 노광기 및 노광 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 노광기는, 진공 챔버의 내부에 원통금형 스테이지를 장착하고, 상기 원통금형 스테이지에 결합된 원통금형을 움직이면서 상기 원통금형에 빔을 조사하여 패턴을 형성함으로써 일정 면적에 나노급 연속 패턴을 형성할 수 있다.
원통금형 기판, 전자빔(E-beam), 나노 노광기, 상대 이송, 능동 자세 제어-
公开(公告)号：KR100726711B1
公开(公告)日：2007-06-12
申请号：KR1020050134639
申请日：2005-12-30
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: A wide area movement stage is provided to control precisely the position of the stage and to extend a moving area of the stage by using a magnetic levitation mechanism. A wide area movement stage includes a lower transfer unit(10) with a support plate(11), a coil module array(20) for generating an electromagnetic field on the support plate, a stage(30) for floating and moving on the lower transfer unit, and a permanent magnet array. The permanent magnet array(40) is composed of a plurality of permanent magnets on a lower surface of the stage. The coil module array is composed of a plurality of coil modules(21) orthogonal to each other. On/off states of each coil module are controlled by using a controller and a driving circuit portion. The stage is capable of moving on a two-dimensional plane of X and Y axis directions by using an electromagnetic force between the coil module and the permanent magnet. Each coil module is composed of a plurality of coreless unit windings stacked with each other.
Abstract translation: 通过使用磁悬浮机构，可以实现大范围的运动阶段以准确地控制舞台的位置并且延伸舞台的移动区域。 广域移动台包括具有支撑板（11）的下部转移单元（10），用于在支撑板上产生电磁场的线圈模块阵列（20），用于浮动并在下部移动的台（30） 转印单元和永磁体阵列。 永磁体阵列（40）由台下表面上的多个永磁体构成。 线圈模块阵列由彼此正交的多个线圈模块（21）组成。 通过使用控制器和驱动电路部分来控制每个线圈模块的开/关状态。 通过利用线圈模块和永磁体之间的电磁力，平台能够在X和Y轴方向的二维平面上移动。 每个线圈模块由多个彼此堆叠的无芯单元绕组组成。
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公开(公告)号：KR100440389B1
公开(公告)日：2004-07-14
申请号：KR1020010085159
申请日：2001-12-26
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H02K41/02
CPC classification number: H02K41/03 , H02K2201/12
Abstract: A transverse flux linear motor with permanent magnet excitation having a stator including stator cores and windings respectively wound around the stator cores and supplied with current, and a mover arranged at a central portion of the stator, the mover including mover cores and permanent magnets. Each of the permanent magnets is arranged between adjacent ones of the mover cores. Each stator core has a pair of column portions spaced apart from each other by a desired distance. The windings are arranged in pairs such that each of the winding pairs has two windings wound around respective column portions of an associated one of the stator cores.
Abstract translation: 一种具有永磁励磁的横向磁通直线电动机，该横向磁通直线电动机具有定子，该定子包括定子铁芯和分别缠绕在定子铁芯上并被供应电流的绕组以及设置在定子的中心部分处的动子，动子包括动子芯和永磁体。 每个永磁体布置在相邻的动子芯之间。 每个定子铁心具有一对彼此间隔所需距离的柱部分。 绕组成对地布置，使得绕组对中的每一个绕组具有缠绕在相关的一个定子芯的相应列部分周围的两个绕组。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020030021049A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：KR1020010054539
申请日：2001-09-05
IPC: B64C25/42
Abstract: PURPOSE: A brake system is provided to exhibit improved braking efficiency on the slippery road surface, by controlling the braking force to be optimum during the landing braking operation of the aircraft. CONSTITUTION: A brake system comprises an amplifier(401c) for receiving a braking command signal from a pilot during landing of an aircraft, amplifying the received signal and outputting the amplified signal; a proportional electronic valve for receiving signals from the amplifier and controlling the hydraulic pressure being supplied to a brake cylinder(403); the brake cylinder for applying a braking force to wheels of the aircraft in accordance with the operation of the proportional electronic valve; a skid prevention control unit(401a) arranged at an input terminal of the amplifier, which receives the braking command and speed information for each wheel, judges skid of wheels, and outputs signals corresponding to the judgment; and a subtractor(401b) for receiving signals output from the skid prevention control unit and the braking command from the pilot, and outputting, to the amplifier, the value obtained from the adding or subtracting operation between the two signals.
Abstract translation: 目的：通过在飞机的着陆制动操作期间控制制动力达到最佳，提供制动系统，以在滑动路面上显示出改进的制动效率。 构成：制动系统包括放大器（401c），用于在飞行器着陆期间从飞行员接收制动指令信号，放大接收信号并输出放大信号; 比例电子阀，用于从放大器接收信号并控制供应到制动缸（403）的液压; 用于根据比例电子阀的操作向飞机的车轮施加制动力的制动缸; 布置在放大器的输入端子处的防滑控制单元（401a）接收每个车轮的制动指令和速度信息，判断车轮的滑动，并输出与该判断相对应的信号; 以及用于接收从防滑控制单元输出的信号和来自导频的制动指令的减法器（401b），并且向放大器输出从两个信号之间的相加或减法运算获得的值。
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公开(公告)号：KR1020020058182A
公开(公告)日：2002-07-12
申请号：KR1020000086054
申请日：2000-12-29
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H02P25/06
Abstract: PURPOSE: A system is provided to reduce weight of the system and save energy by adopting the permanent excitation synchronization type motor to the propel system. CONSTITUTION: A system comprises a permanent magnet excitation synchronization type motor for generating a linear driving force; and a non-contact power supply unit for receiving an electrical energy from the motor in a mechanical contact free manner. The permanent magnet excitation synchronization type motor includes a stator iron core(5) where a high frequency power is applied; a stator motor coil(5) for generating a shifting magnetic field to the stator iron core; a stator transformer coil(6) covering both sides of the stator iron core in a lengthwise direction; and a motor mover(2) moving in a lengthwise direction along the air gap of the stator iron core. The non-contact power supply unit includes an iron core(11), and a coil(12) wound at the iron core. The iron core and coil of the non-contact power unit shifts in a lengthwise direction along the air gap of the stator iron core.
Abstract translation: 目的：提供一种系统，通过在推进系统中采用永磁同步型电机，减轻系统的重量并节约能源。 构成：系统包括用于产生线性驱动力的永磁激励同步型电动机; 以及用于以机械接触方式从电动机接收电能的非接触供电单元。 永磁励磁同步型电动机包括施加高频电力的定子铁芯（5） 定子电动机线圈（5），用于向所述定子铁心产生换档磁场; 定子铁心沿长度方向覆盖两侧的定子变压器线圈（6）; 和沿定子铁芯的气隙在长度方向上移动的电动机构（2）。 非接触供电单元包括铁芯（11）和卷绕在铁芯上的线圈（12）。 非接触动力单元的铁芯和线圈沿着定子铁芯的气隙在长度方向上移动。
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公开(公告)号：KR101416628B1
公开(公告)日：2014-07-08
申请号：KR1020120142434
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B5/30
Abstract: 본 발명은 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 나노패턴을 갖는 금형 및 전주 도금공정을 이용하여 단순하면서도 생산 효율이 높은 구조로 제조되는 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 나노 패턴이 가공된 평판형 금형 또는 원통 금형과, 자외선 또는 열에 경화되는 고분자 재료를 구비하여, 기판의 금속층 표면에 레진 패턴을 형성함과 함께 전주 도금 공정을 이용하여 레진 패턴 사이에 도금 패턴이 형성되도록 한 후, 레진 패턴 및 금속 도금 패턴이 유연성 기판의 투명 접착제에 접착되며 전사되도록 함으로써, 연속 공정으로 와이어 그리드 편광자 제조가 가능하고, 제조 시간 및 생산 단가를 크게 줄일 수 있도록 한 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법을 제공하고자 한 것이다.-
公开(公告)号：KR1020130113552A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：KR1020120035781
申请日：2012-04-06
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G03F7/26 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/265 , B05D3/061 , G03F7/001 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of articles having micro-patterns is provided to be able to solve the conventional process defect problem while the low cost production is possible, and to be able to reduce the failure rate and the cost, and to improve the production yield. CONSTITUTION: A manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that micro-patterns (12b) distinguished by a transparency difference within a resin layer (12) on a substrate (11) are formed by causing the transparency difference between the light-irradiated part and the light-not-irradiated part by coating a photoreactive resin (12a) reacting with light on the substrate and irradiating light in a selected domain on the photoreactive resin coated on the substrate. The manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that light is irradiated after a selective light-transmitting member (13) having a through region of a pattern layout in which light passes through is positioned on the resin coated on the substrate, or light focused by a condenser lens is directly irradiated on the desired resin domain so that light is irradiated only on the selected domain on the photoreactive resin. [Reference numerals] (AA) Ultraviolet rays
Abstract translation: 目的：提供具有微图案的制品的制造方法，以便能够在低成本生产的同时解决传统的工艺缺陷问题，并且能够降低故障率和成本，并且提高生产率 。 构成：具有微图案的制品的制造方法的特征在于，通过使基板（11）上的树脂层（12）内的透明度差异区分的微图案（12b） 通过将与光反应的光反应性树脂（12a）涂覆在基板上并在涂布在基板上的光反应性树脂上的选定域中照射光，照射部分和未照射光的部分。 具有微图形的制品的制造方法的特征在于，在具有光通过的图案布局的通过区域的选择性透光构件（13）位于涂覆在基板上的树脂上之后照射光，或 由聚光透镜聚焦的光直接照射在所需的树脂结构域上，使得仅在光反应性树脂上的选择的区域上照射光。 （附图标记）（AA）紫外线
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公开(公告)号：KR1020120076805A
公开(公告)日：2012-07-10
申请号：KR1020100138525
申请日：2010-12-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70775 , G03F9/7003 , H01L21/02027 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: A cylindrical magnetic levitation stage is provided to directly process a pattern of nanometer size on the cylinder surface of large size by actively controlling the location of a cylinder with an error of the nanometer size. CONSTITUTION: A cylinder movable unit is composed of a rotary cylinder movable unit(110b) and a linear transfer cylinder movable unit(110a). A base unit supports the cylinder movable unit which can be rotated without contact. The base unit comprises electromagnet arrangement bodies(122a, 123a, 122b, 123b). A horizontal magnetic levitation auxiliary unit(140) controls the horizontal direction location of a cylinder mold and the cylinder movable unit. The horizontal magnetic levitation auxiliary unit comprises an electromagnet arrangement body(141).
Abstract translation: 目的：提供圆柱形磁悬浮台，通过主动控制圆柱体的位置，以纳米尺寸的误差直接处理大尺寸圆柱体表面的纳米尺寸图案。 构成：缸体可动单元由旋转圆筒可动单元（110b）和直线传动滚筒活动单元（110a）构成。 基座单元支撑可旋转而不接触的气缸可动单元。 基座单元包括电磁铁排列体（122a，123a，122b，123b）。 水平磁悬浮辅助单元（140）控制气缸模具和气缸活动单元的水平方向位置。 水平磁悬浮辅助单元包括电磁体排列体（141）。
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