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公开(公告)号：WO2014073778A1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：PCT/KR2013/007445
申请日：2013-08-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J49/147 , H01J49/067 , H01J49/16
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따르는 이온원은, 일측을 통해서 유입된 가스가 이온화되어 타측으로 배출되며, 외주에 슬릿이 형성되는 양극관과, 상기 가스를 이온화시키도록 상기 슬릿으로 열전자를 방출하는 필라멘트 및 상기 양극관 내부로 유입되는 상기 열전자의 확산을 줄이도록, 상기 열전자가 통과할 수 있게 한 개 이상의 구멍을 가지며, 상기 필라멘트와 상기 슬릿 사이에 배치되는 확산방지체를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，离子源包括：阳极管，其中通过一侧流动的气体被离子化并排出到另一侧，并且在其外周上形成狭缝; 将热电子排出到狭缝以使气体离子化的灯丝; 以及布置在灯丝和狭缝之间并具有至少一个热电子可以通过的孔的扩散防止体，以便减少流入阳极管的热电子的扩散。
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公开(公告)号：WO2009096728A3
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/KR2009/000451
申请日：2009-01-30
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 포토 마스크 수리방법을 개시한다. 수리용 원자현미경 탐침이 포토 마스크의 결함 부분에 위치하도록 하고, 상기 수리용 원자현미경 탐침을 왕복 동작시키는 것에 의하여 상기 포토 마스크의 결함 부분을 제거하고, 상기 수리용 원자현미경 탐침에 의한 상기 포토 마스크의 수리 과정을 전자현미경으로 관찰하고, 그리고 상기 수리용 원자현미경 탐침과는 다른 관측용 원자현미경 탐침을 사용하여 수리 후의 상기 포토 마스크의 형상을 인-시츄(in-situ)로 확인한다.
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公开(公告)号：KR101717120B1
公开(公告)日：2017-03-27
申请号：KR1020150005723
申请日：2015-01-13
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G12B5/00
Abstract: 본발명은상면에서로폭방향으로일정간격이격되게형성되는한 쌍의함입홈(110) 및상기한 쌍의함입홈(110) 사이에수용홈(120)이형성되는베이스프레임(100); 상기함입홈(110)에함입되는가이드레일(200); 상기가이드레일(200)을따라길이방향으로슬라이딩가능하게설치되는가이드덮개(300);상기가이드덮개(300)의상면에결합되는이송테이블(400); 및상기수용홈(120)에설치되어상기이송테이블(400)을길이방향으로이송시키는이송유니트(500);를포함하는것을특징으로하는리니어스테이지(1000)에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170026882A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020150122617
申请日：2015-08-31
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은 4개의전극과상기 4개의전극을고정하기위한절연체홀더를포함하는사중극자질량분석기용사중극자질량필터에관한것으로, 본발명에따른사중극자질량필터는절연체홀더의내부면중 각각의전극과접촉하는부분은평면으로이루어지며, 상기 4개의전극각각은상기절연체홀더와접촉하는부분이평면으로이루어짐으로써, 사중극자의평행도, 직진도및 조립정밀도가우수한사중극자질량분석기를제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于四极质谱仪的四极质量过滤器，四极质量过滤器包括四个电极和用于固定四个电极的绝缘体保持器。 在根据本发明的四极质量过滤器中，与每个电极接触的绝缘体保持器的内表面的一部分形成为平坦表面，并且四个电极中的每一个的一部分进入 与绝缘体保持器接触形成为平坦表面。 因此，本发明可以提供四极杆的平行度，直线性和组装精度优异的四极质谱仪。
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公开(公告)号：KR1020160020598A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：KR1020140104928
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/22 , H01J37/28 , H01J49/027 , H01J2231/50047
Abstract: 본발명은하전입자현미경의입자빔제어장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는하전입자현미경내하전입자빔을제어함으로써, 시료표면의정보를획득하기위해정전방식또는자기방식의편향기(스캐너)에의해왜곡되는동적특성을바로잡아원하는위치에하전입자빔을조사시킴으로써측정된시료표면의이미지가왜곡되는것을방지하고, 고속으로이미지를획득할 수있도록하며, 원하는형태로시료표면을가공할수 있도록하는하전입자빔제어장치및 이를이용한하전입자빔의제어방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及带电粒子显微镜中控制带电粒子束的装置和方法。 更具体地，控制带电粒子显微镜中的带电粒子束。 由此，校正由静电法或磁法的偏转器（扫描仪）变形的动态特性，以获得样品表面的信息。 带电粒子束被发射到期望的位置。 由此，能够防止测定的样品表面的图像的变形。 图像可以高速获得。 样品表面可以被处理成所需的形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101587342B1
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：KR1020140033565
申请日：2014-03-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은캔틸레버마운트시 발생되는오차를상쇄하기위해탐침현미경의동작순서중, 광학빔정렬단계에해당하는것으로 PSPD 검출기의원점정렬이후, PSPD 검출기를새로운좌표를생성하고, 새로운좌표로변환또는보정하여탐침현미경의정밀도를향상시키기위한방법, 이를이용한탐침현미경을제공하는데에있다. 이를위하여일단은분석대상인샘플의표면특성과연동되는팁이구비되고샘플의원자와의힘에의해동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나가변화하는캔틸레버; 캔틸레버의상부면에입사되는광학빔을생성하는광원; 광원과캔틸레버중 적어도하나를이동또는진동시켜서광학빔의입사위치를이동시키는구동부; 캔틸레버에서반사된광학빔을검출하여, 이동되는광학빔의입사위치에대응되는제1신호를제1좌표상에서생성하는검출기; 및검출기에서검출된제1신호를토대로제2좌표를산출하는좌표산출부;를포함하고, 산출된제2좌표를토대로캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나를측정하여, 샘플의표면특성을분석하는것을특징으로하는검출기의좌표보정이가능한탐침현미경이제공된다. 이에따르면정밀한탐침현미경구현이가능해지는효과가있다. 또한자동으로검출기의좌표를보정하는것이가능하도록구성할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020150146079A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140075947
申请日：2014-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/21 , G01N23/225 , H01J49/44
CPC classification number: H01J37/05 , G01N23/2251 , H01J37/12 , H01J37/21 , H01J49/44 , H01J2237/057 , H01J2237/1516 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485
Abstract: 본발명은모노크로메이터및 이를구비한하전입자빔장치에관한것으로, 보다상세하게는저비용으로광축을일치시키는모노크로메이터(monochromator, MC) 및이를구비한하전입자빔장치에관한것이다. 이를위하여이미터에서방출된하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제1정전렌즈; 및중심축이제1정전렌즈의중심축과동축으로배치되고, 제1정전렌즈와특정이격거리만큼이격되며, 제1정전렌즈에서출사되는하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제2정전렌즈;를포함하고, 하전입자빔은정전렌즈의중심축에서특정오프셋만큼벗어난축외궤도를통과하도록구성되며, 하전입자빔의에너지폭이감축되는모노크로메이터가제공될수 있다. 이에따르면모노크로메이터를통과한후에도좋은하전입자빔프로파일을얻을수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种单色仪及具有该单色仪的带电粒子束装置。 更具体地，本发明涉及用于以低成本匹配光轴的单色仪（MC）和具有该单色仪的带电粒子束装置。 为此，单色器包括：第一静电透镜，用于接收从发射器放出的带电粒子束，折射带电粒子束的轨迹，并由多个电极组成; 以及第二静电透镜，具有与第一静电透镜的中心轴同轴设置的中心轴，以特定间隔与第一静电透镜分离，接收从第一静电透镜放出的带电粒子束，折射带电粒子的轨迹 并且由多个电极组成。 带电粒子束通过偏离设置在静电透镜的中心轴外侧的离轴轨迹，特别是偏移，并且可以减少带电粒子束的能量宽度。 因此，即使在带电粒子束通过单色仪之后，也可以获得良好的带电粒子束轮廓。
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公开(公告)号：KR1020150058596A
公开(公告)日：2015-05-29
申请号：KR1020130139831
申请日：2013-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은캔틸레버와대물렌즈사이에반사판인스크린을삽입하여광학빔을대물렌즈로직접확인하는방법으로광학빔정렬을용이하게하기위한탐침현미경, 이를이용한탐침현미경의광학빔정렬방법, 기록매체및 탐침현미경의광학빔자동정렬시스템에관한것이다. 이를위하여캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나의정밀한측정을위하여, 캔틸레버의상부면종단에설정되고, 광학빔이입사되는목표위치; 목표위치가포함된캔틸레버를확대하여표시하는확대수단; 확대수단에의해확대표시된캔틸레버를영상으로표시하는영상표시부; 및캔틸레버의연직상부에구비되고, 광학빔의반사광에의해광학빔의입사위치가영상표시부에의해영상으로표시되도록구성되는스크린;을포함하고, 스크린의영상에캔틸레버의영상이오버랩되도록하고, 스크린에서반사되는광학빔의반사광에의한입사위치을이용하여, 광학빔을목표위치에정렬하는것을특징으로하는탐침현미경이제공될수 있다. 이에따르면, 캔틸레버의상부면에정밀한광학빔을정밀하게정렬하여탐침현미경의정밀도를향상시키고, 분석결과의오차가최소화되는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及通过使用通过在悬臂和物镜之间插入作为反射板的屏幕直接确认物镜的光束的方法来简化光束的布置的探针显微镜， 通过使用探针显微镜的光束布置方法，记录介质和自动布置探针显微镜的光束的系统。 为了实现该目的，提供了一种探针显微镜，其包括设置在悬臂的上表面的端部并且光束进入的目标位置，以精确地测量运动位移，运动频率， 和弯曲度; 放大单元，放大并显示包括目标位置的悬臂; 显示由放大单元放大的悬臂的图像显示装置作为图像; 以及安装在悬臂的垂直上部的屏幕，并且形成为使得由图像显示部显示的光束的入射位置作为图像。 因此，由于精确的光束精确地布置在悬臂的上表面上，所以提高了探针显微镜的精度并且使分析结果的误差最小化。
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公开(公告)号：KR101448199B1
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020130090248
申请日：2013-07-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/252 , H01L21/66
Abstract: The present invention relates to a method for cleaning a metal tip used as a probe for a scanning probe microscope or a source for a particle beam under ultra-high vacuum. Provided is the method for cleaning the metal tip which includes the steps of: a) maintaining vacuum with a pressure of 10^-7 mbar in a chamber including the metal tip; b) introducing nitrogen gas into the chamber; and c) applying a positive voltage to the metal tip in the chamber to which the nitrogen gas is introduced.
Abstract translation: 本发明涉及一种在超高真空下清洗用作扫描探针显微镜或粒子束源的金属尖端的方法。 提供了用于清洁金属尖端的方法，其包括以下步骤：a）在包括金属尖端的室中保持10 ^ -7毫巴的压力的真空; b）将氮气引入室内; 以及c）向导入氮气的室中的金属尖端施加正电压。
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公开(公告)号：KR1020080057079A
公开(公告)日：2008-06-24
申请号：KR1020060130408
申请日：2006-12-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N13/10
CPC classification number: G01Q10/065
Abstract: A control method of a high-speed scanning probe microscope is provided to use in total number inspection of wafer or dynamics research by performing high speed-imaging through real time imaging. A control method of a high-speed scanning probe microscope, that includes a probe(12), a detector to detect a feedback signal according to the distance between the probe and a specimen, and a scanner to move the probe or specimen, comprises the steps of: scanning the surface of a specimen(14) by moving the probe horizontally, and determining whether the distance between the probe and specimen is within a high speed-operating distance range and, when the distance is within the high speed-operating distance range, sensing a feedback signal changed according to irregularity of the specimen while the probe is horizontally moved in a state that the probe feedback signal is removed.
Abstract translation: 提供高速扫描探针显微镜的控制方法，用于通过实时成像执行高速成像来进行晶片或动力学研究的总数检验。 一种高速扫描探针显微镜的控制方法，包括探针（12），根据探针和样本之间的距离检测反馈信号的检测器和用于移动探针或样本的扫描仪，包括： 步骤：通过水平移动探头来扫描样品（14）的表面，并且确定探针和样品之间的距离是否在高速操作距离范围内，并且当距离在高速操作距离内时 在探测器反射信号被去除的状态下探测水平移动时，感测根据样本的不规则性而改变的反馈信号。
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