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公开(公告)号：KR101639581B1
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020140104928
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은하전입자현미경의입자빔제어장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는하전입자현미경내하전입자빔을제어함으로써, 시료표면의정보를획득하기위해정전방식또는자기방식의편향기(스캐너)에의해왜곡되는동적특성을바로잡아원하는위치에하전입자빔을조사시킴으로써측정된시료표면의이미지가왜곡되는것을방지하고, 고속으로이미지를획득할 수있도록하며, 원하는형태로시료표면을가공할수 있도록하는하전입자빔제어장치및 이를이용한하전입자빔의제어방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101618693B1
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020140071894
申请日：2014-06-13
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 현미경의주사신호제어방법에관한것으로, 보다구체적으로는하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 하전입자빔의조사방향을제어하는스캔프로파일을생성하여상기편향기에제공하는주사파형발생기; 및상기편향기에서실제로출력되는전류파형을제어하는주사파형제어부;를포함하는하전입자빔 현미경의주사신호를생성하는방법으로서상기편향기로부터기인하는시료표면의왜곡된영상을개선할수 있는주사신호의제어방법및 이를이용한장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101529607B1
公开(公告)日：2015-06-19
申请号：KR1020130139831
申请日：2013-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은캔틸레버와대물렌즈사이에반사판인스크린을삽입하여광학빔을대물렌즈로직접확인하는방법으로광학빔정렬을용이하게하기위한탐침현미경, 이를이용한탐침현미경의광학빔정렬방법, 기록매체및 탐침현미경의광학빔자동정렬시스템에관한것이다. 이를위하여캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나의정밀한측정을위하여, 캔틸레버의상부면종단에설정되고, 광학빔이입사되는목표위치; 목표위치가포함된캔틸레버를확대하여표시하는확대수단; 확대수단에의해확대표시된캔틸레버를영상으로표시하는영상표시부; 및캔틸레버의연직상부에구비되고, 광학빔의반사광에의해광학빔의입사위치가영상표시부에의해영상으로표시되도록구성되는스크린;을포함하고, 스크린의영상에캔틸레버의영상이오버랩되도록하고, 스크린에서반사되는광학빔의반사광에의한입사위치을이용하여, 광학빔을목표위치에정렬하는것을특징으로하는탐침현미경이제공될수 있다. 이에따르면, 캔틸레버의상부면에정밀한광학빔을정밀하게정렬하여탐침현미경의정밀도를향상시키고, 분석결과의오차가최소화되는효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020170010917A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020150102133
申请日：2015-07-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2608
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种扫描电子显微镜，包括：用于照射电子束的电子束源; 包括至少一个中间聚光透镜的聚光透镜组，该中心聚光透镜与电子束源相邻设置并使电子束冷凝;以及物镜，其被设置为最终的聚光透镜，邻近样品并形成电子 在样品上凝结的束斑; 在其内部包括电子束源和聚光透镜组的真空室，具有从电子束源照射的电子束通过物镜照射到样品的通道的孔; 至少一个偏转器，用于控制和改变电子束的照射方向; 以及用于支撑要观察的样品的样品台。
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公开(公告)号：KR101634231B1
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020140148024
申请日：2014-10-29
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은입자빔질량분석기및 이를이용한입자측정방법에관한것으로서, 보다상세하게는가스흐름(gas flow)에의한입자빔을집속하는입자집속유닛; 열전자를가속하여상기입자집속유닛에의해집속된입자빔을이온화시켜하전입자빔을형성하는전자총; 상기하전입자빔을운동에너지대 전하비(kinetic energy to charge ratio)에따라굴절시키는디플렉터; 및굴절된상기하전입자빔에의한전류를측정하는감지부;를포함하고, 상기디플렉터는굴절되기전의하전입자빔의진행중심축을기준으로양측에각각적어도하나이상형성된입자빔 분리전극을포함하는것을특징으로하는입자빔 질량분석기에관한것이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160052863A
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020140148024
申请日：2014-10-29
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N27/62 , H01J49/26 , H01J49/4225
Abstract: 본발명은입자빔질량분석기및 이를이용한입자측정방법에관한것으로서, 보다상세하게는가스흐름(gas flow)에의한입자빔을집속하는입자집속유닛; 열전자를가속하여상기입자집속유닛에의해집속된입자빔을이온화시켜하전입자빔을형성하는전자총; 상기하전입자빔을운동에너지대 전하비(kinetic energy to charge ratio)에따라굴절시키는디플렉터; 및굴절된상기하전입자빔에의한전류를측정하는감지부;를포함하고, 상기디플렉터는굴절되기전의하전입자빔의진행중심축을기준으로양측에각각적어도하나이상형성된입자빔 분리전극을포함하는것을특징으로하는입자빔 질량분석기에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种粒子束质谱仪和使用其的粒子测量方法。 更具体地，粒子束质谱仪包括：通过气流浓缩粒子束的粒子浓度单元; 电子枪，其离子化由粒子浓度单元浓缩的粒子束，并形成带电粒子束; 根据动能与电荷比折射带电粒子束的偏转器; 以及感测单元，其通过折射的带电粒子束来测量电流。 偏转器包括在折射之前形成在带电粒子束的进程的中心轴线的两侧的一个或多个粒子束分离电极。
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公开(公告)号：KR1020150144849A
公开(公告)日：2015-12-29
申请号：KR1020140073413
申请日：2014-06-17
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 조사각도를조절하기위한장치및 방법에관한것으로서, 하전입자빔을방출하는하전입자빔 소스; 상기하전입자빔 소스와하기경통사이를연결하며, 센터링과오링의결합에의해이루어지는각도조절장치; 및상기각도조절장치와연결되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하며, 하전입자빔 프로브를형성시키는집속렌즈군을포함하는경통부;를포함하는하전입자빔 조사각조절장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种调整带电粒子束照射角度的装置及其方法，涉及一种带电粒子束照射角度调节装置，包括：带电粒子束源，其发射带电粒子束; 角度调节装置，其将带电粒子束源连接到筒体并通过中心环和O形环的联接而形成; 并且连接到角度调节装置的筒体通过电场或磁场收集带电粒子束，并且包括用于形成带电粒子束探针的聚焦透镜组。
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公开(公告)号：KR101554594B1
公开(公告)日：2015-09-22
申请号：KR1020130148855
申请日：2013-12-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
Abstract: 본발명은하전입자빔을방출하는하전입자소스, 상기하전입자소스쪽에구비되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는빔 스폿인하전입자빔 프로브를형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군, 상기하전입자소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기하전입자소스로부터방출된하전입자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버, 상기하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기, 및관찰또는가공하려는시료를지지하며, 상기시료를이동할수 있는시료스테이지를포함하는하전입자빔 프로브형성장치및 이를이용하여시료를관찰또는가공하는방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020150064311A
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：KR1020130148855
申请日：2013-12-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
Abstract: 본발명은하전입자빔을방출하는하전입자소스, 상기하전입자소스쪽에구비되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는빔 스폿인하전입자빔 프로브를형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군, 상기하전입자소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기하전입자소스로부터방출된하전입자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버, 상기하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기, 및관찰또는가공하려는시료를지지하며, 상기시료를이동할수 있는시료스테이지를포함하는하전입자빔 프로브형성장치및 이를이용하여시료를관찰또는가공하는방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于形成带电粒子束探针的装置和一种通过使用该装置来监测或处理样品的方法。 它包括一个聚焦透镜接地，它包括一个发射一个电荷粒子束的电荷粒子源，至少一个中间聚焦透镜，形成在电荷粒子源中，并通过电场或磁场聚焦电荷粒子束; 透镜，其被用作要形成于样品的最终聚焦透镜，并形成作为聚焦在样品上的束斑的电荷粒子束;真空室，其包括电荷粒子源和聚焦透镜组，并且具有孔径， 从充电粒子源发射的电荷粒子束通过物镜的路径，至少一个控制电荷粒子束的照射方向并改变其的照射方向的偏转器，以及支持待监测或处理的样品的样品台， 可以移动样品。
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公开(公告)号：KR101413287B1
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：KR1020130080447
申请日：2013-07-09
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26 , H01J37/147 , H01J37/22
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/08 , H01J2237/06341 , H01J2237/0656 , H01J2237/0802 , H01J2237/223 , H01J2237/24542
Abstract: The present invention relates to a particle beam emission image acquisition apparatus which comprises a microchannel plate for receiving a particle beam emitted from a particle beam source and emitting a secondary electron; a fluorescent screen for receiving the secondary electron generated in the microchannel plate and converting the same into an optical signal; an image acquisition device for acquiring optical data emitted from the fluorescent screen; and an image process device for comprising a slow frequency pass filter of a spatial region and treating and imaging data obtained from the image acquisition device, and to a method for acquiring a particle beam emission image using the same.
Abstract translation: 本发明涉及一种粒子束发射图像获取装置，其包括：微通道板，用于接收从粒子束源发射的粒子束并发射二次电子; 用于接收在微通道板中产生的二次电子并将其转换为光信号的荧光屏; 用于获取从荧光屏发射的光学数据的图像获取装置; 以及图像处理装置，用于包括空间区域的慢速频谱滤波器以及从图像获取装置获得的数据的处理和成像，以及使用该方法获得粒子束发射图像的方法。
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