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公开(公告)号：CN104658843A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410675978.8
申请日：2014-11-21
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/21 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/304 , H01J37/04 , H01J37/3171 , H01J2237/0455 , H01J2237/08 , H01J2237/24535 , H01J2237/304 , H01J2237/30472 , H01J2237/31701 , H01J37/09 , H01J37/21
Abstract: 本发明提供一种高能量离子注入装置、射束电流调整装置及射束电流调整方法，其课题在于例如在高能量离子注入装置中调整注入射束电流。本发明的用于离子注入装置的射束电流调整装置(300)具备配置于离子束的会聚点(P)或其附近的可变孔隙(302)。可变孔隙(302)构成为，调整会聚点(P)的与离子束的会聚方向垂直的方向的射束宽度，以控制注入射束电流。可变孔隙(302)可以配置于紧接质量分析狭缝(22b)的后方。射束电流调整装置(300)也可以设置于具有高能量多段直线加速单元(14)的高能量离子注入装置(100)。
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公开(公告)号：CN101979706B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201010190597.2
申请日：2007-06-12
Applicant: 山米奎普公司
Inventor： 乔治·萨科 , 道格拉斯·R·亚当斯 , 德罗尔·奥韦德 , 托马斯·N·霍尔斯基 , 戴维·J·哈特尼特
CPC classification number: C23C14/48 , C23C14/228 , H01J37/02 , H01J37/32412 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明揭示一种汽化器单元，其将固体馈入材料、尤其包含用于半导体制造的簇分子的材料加热到产生待离子化的蒸汽的温度，其具有有效构造和许多有效的安全特征。加热器位于可卸顶部闭合部件中，且用以将所述顶部闭合部件中的阀维持在固体材料的加热温度高的温度下。顶部区为与底部区的界面的热分配器，底部的侧壁和底部壁将自界面所接收的热分配到暴露于馈入材料的空腔的表面。机械和电子编码的锁定、防止接近和有效使用提供安全性。硼烷、十硼烷(decaborane)、碳簇和其它大分子被汽化以用于离子植入。展示与新颖蒸汽传送系统以及与离子源配合的此类汽化器。
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公开(公告)号：CN103069534A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180039711.4
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/24 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/186 , H01J2237/31701
Abstract: 激光/离子源通过激光的照射而产生离子，其中，具备：容器（110），被真空排气；照射箱（120），配置在容器（110）内，收容有通过激光的照射而产生离子的靶（121）；离子束引出部（112），从照射箱（120）静电地引出离子，并作为离子束向容器110的外部引导；阀（140），设置在容器（110）的离子束的取出部，在离子束射出时打开，射出时以外关闭；以及闸门（150），设置在阀（140）和照射箱（120）之间，离子束射出时间歇地打开，射出时以外关闭。由此，将激光照射时产生的微粒子关闭在容器（110）内，抑制微粒子向真空排气系统或与离子源连接的后级装置的流出。
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公开(公告)号：CN101802963B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200880106475.1
申请日：2008-08-25
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 卡森·D·泰克雷特萨迪克 , 艾立克·D·赫尔曼森 , 道格拉斯·梅 , 史蒂夫·E·克劳斯 , 拉塞尔·J·罗
IPC: H01J37/00
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/16 , H01J2237/038 , H01J2237/08
Abstract: 一种具有含介质鳍片的绝缘导体的离子植入机终端结构。在一实施例中，离子植入机终端结构可由含一个或多个介质鳍片的绝缘导体来实现。例如，离子植入机可包括配置成提供离子束的离子源。离子植入机还包括定义空腔的终端结构，其中离子源可至少部分地设置于空腔内。离子植入机还包括具有至少一介质鳍片的绝缘导体，此介质鳍片设置于终端结构的外部附近以改变电场。
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公开(公告)号：CN101979706A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN201010190597.2
申请日：2007-06-12
Applicant: 山米奎普公司
Inventor： 乔治·萨科 , 道格拉斯·R·亚当斯 , 德罗尔·奥韦德 , 托马斯·N·霍尔斯基 , 戴维·J·哈特尼特
CPC classification number: C23C14/48 , C23C14/228 , H01J37/02 , H01J37/32412 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明揭示一种汽化器单元，其将固体馈入材料、尤其包含用于半导体制造的簇分子的材料加热到产生待离子化的蒸汽的温度，其具有有效构造和许多有效的安全特征。加热器位于可卸顶部闭合部件中，且用以将所述顶部闭合部件中的阀维持在固体材料的加热温度高的温度下。顶部区为与底部区的界面的热分配器，底部的侧壁和底部壁将自界面所接收的热分配到暴露于馈入材料的空腔的表面。机械和电子编码的锁定、防止接近和有效使用提供安全性。硼烷、十硼烷(decaborane)、碳簇和其它大分子被汽化以用于离子植入。展示与新颖蒸汽传送系统以及与离子源配合的此类汽化器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109256312A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201810762251.1
申请日：2018-07-12
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: H01J37/20 , G01N1/286 , H01J37/28 , H01J37/3053 , H01J37/3056 , H01J37/31 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , G01N1/28
Abstract: 本发明涉及原位制备用于电子显微镜研究的显微镜样本的方法。所述方法借助粒子束设备实施，所述粒子束设备包括用于产生聚焦的带电粒子束的粒子束柱；用于承接样本块的样本支座和用于探测粒子束与样本材料之间相互作用的相互作用产物的探测器。所述方法包括步骤：a)提供具有裸露结构的样本块，所述裸露结构包括感兴趣的样本区域(ROI)；b)通过粒子束的作用在裸露结构中产生弯折棱边，从而使裸露结构的至少一部分朝向入射的粒子束变型；c)移动承接样本块的样本支座，使得包括在变型结构中的样本区域能够在粒子束设备中被观察和/或被加工。
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公开(公告)号：CN104217913B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201410158429.3
申请日：2014-04-18
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
Inventor： 佐藤正辉
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/024 , H01J37/3171 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/026 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种绝缘结构及绝缘方法，其有助于降低维护频度并提高装置运转率。本发明提供设置在用于从等离子体生成部引出离子束的多个电极间的绝缘结构（30）。绝缘结构（30）具备：第1部分（52），连接于第1电极（20）；及第2部分（54），连接于第2电极（22），且具备：绝缘部件（32），用于将第1电极（20）支承于第2电极（22）；第1罩体（70），为了保护第1部分（52）免受污染粒子（18）的影响而包围第1部分（52）的至少一部分；及第2罩体（72），为了保护第2部分（54）免受污染粒子（18）的影响而包围第2部分（54）的至少一部分。第1部分（52）及第2部分（54）中的至少一部分由可加工陶瓷或多孔陶瓷形成。
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公开(公告)号：CN104822482B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201380063847.8
申请日：2013-10-07
CPC classification number: H01J37/3005 , G01N1/32 , G01N23/2255 , G01N2223/104 , G01N2223/611 , H01J37/3007 , H01J37/3053 , H01J37/3056 , H01J37/31 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/2813 , H01J2237/31732 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 为了减少通过聚焦离子束暴露以供查看的表面中的伪像，靠近感兴趣的区域铣削沟槽，并且填充沟槽以创建隔板。离子束被引导通过隔板以暴露感兴趣的区域的一部分以供查看。沟槽例如是通过带电粒子束感应沉积来填充的。沟槽典型地被自顶向下铣削和填充，并且然后，离子束关于样本表面成角度以暴露感兴趣的区域。
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公开(公告)号：CN104737266B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201380053492.4
申请日：2013-10-09
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/317 , G01N1/28
CPC classification number: H01J37/3178 , G01N1/28 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , H01J37/28 , H01J37/3005 , H01J37/3007 , H01J37/31 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/208 , H01J2237/24564 , H01J2237/2813 , H01J2237/2817 , H01J2237/304 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：带电粒子源；使从带电粒子源放出的带电粒子束聚焦在试样上的物镜；检测从试样放出的二次带电粒子的检测器；能够与试样接触的探针；向试样放出导电性气体的气体喷嘴；以及对探针的驱动和从气体喷嘴的气体放出进行控制的控制部，控制部在向试样照射带电粒子束并加工试样之后、使探针与试样接触之前，使气体从气体喷嘴朝向加工位置放出，并照射带电粒子束而在试样的加工部形成导电性膜，并且具备判断形成于加工部的导电性膜与探针的接触的接触探测部。
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公开(公告)号：CN103069534B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180039711.4
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/24 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/186 , H01J2237/31701
Abstract: 离子源通过激光的照射而产生离子，其中，具备：容器(110)，被真空排气；照射箱(120)，配置在容器(110)内，收容有通过激光的照射而产生离子的靶(121)；离子束引出部(112)，从照射箱(120)静电地引出离子，并作为离子束向容器110的外部引导；阀(140)，设置在容器(110)的离子束的取出部，在离子束射出时打开，射出时以外关闭；以及闸门(150)，设置在阀(140)和照射箱(120)之间，离子束射出时间歇地打开，射出时以外关闭。由此，将激光照射时产生的微粒子关闭在容器(110)内，抑制微粒子向真空排气系统或与离子源连接的后级装置的流出。
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