-
公开(公告)号：KR101773861B1
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：KR1020160061839
申请日：2016-05-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01J3/12 , G03B7/085 , G01J2003/1204 , H01J37/21
Abstract: 본발명은모노크로미터에서전자선의진로를편향시키는원통형정전렌즈를대칭으로배열하고그 사이에선택가능한복수개의슬릿(slit)이포함된조리개(aperture)를배치하여중심에너지범위의전자선을선택하는것이가능한모노크로미터를구비한전자선장치에관한것으로, 슬릿과원형의개구부를하나의조리개부에병렬배치하여고분해능을가지면서도유지보수성능이뛰어난모노크로미터를구비하기때문에공간분해능과에너지분해능이향상되는효과를가진다.
Abstract translation: 设置在圆筒状的静电透镜本发明的和对称的偏转e线当然在单色仪和放置该多个狭缝（狭缝）选择光圈（光圈）之间的时期的框上的能量范围的中心选择所述电子束 因为具有能够单色仪本发明涉及一种电子束装置，在平行放置狭缝的开口为具有优异的维护性能，同时具有与空间分辨率和能量分辨率高分辨率单色止动部分的一个圆形 它有一个改进的效果。
-
公开(公告)号：KR101639581B1
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020140104928
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은하전입자현미경의입자빔제어장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는하전입자현미경내하전입자빔을제어함으로써, 시료표면의정보를획득하기위해정전방식또는자기방식의편향기(스캐너)에의해왜곡되는동적특성을바로잡아원하는위치에하전입자빔을조사시킴으로써측정된시료표면의이미지가왜곡되는것을방지하고, 고속으로이미지를획득할 수있도록하며, 원하는형태로시료표면을가공할수 있도록하는하전입자빔제어장치및 이를이용한하전입자빔의제어방법에관한것이다.
-
公开(公告)号：KR101627187B1
公开(公告)日：2016-06-03
申请号：KR1020150030903
申请日：2015-03-05
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/0303 , G01N21/255 , G01N21/27 , G01N21/3577 , G01N21/8507 , G01N2021/0346 , G01N21/25
Abstract: 본발명은모세관을기반으로아주적은극미량시료로도흡광도를측정할수 있을뿐만아니라, 저농도에도적용가능하도록측정감도를향상시킬수 있는극미량시료용고감도모세관흡광셀및 이를포함하는측정장치에관한것으로, 본발명에따른극미량시료용고감도모세관흡광셀은, 외주면에광반사층이형성된중공형형상의박막모세관; 및, 상기광반사층의외주면에형성된보호관을포함한다. 또한, 본발명에따른극미량시료용고감도모세관흡광셀측정장치는, 광을조사하는광 조사부와, 압력을가압또는감압하는압력조절부가형성된상부프레임; 흡광셀이연결되는흡광셀연결부가형성된하부프레임; 및, 상기상부프레임과상기하부프레임사이에형성되며, 상기흡광셀연결부에의해연결된흡광셀의일단과연결되는유로가형성된스페이서를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于非常少量样品的高灵敏度毛细管消光细胞，其能够以基于毛细管的非常少量的样品测量吸光度并提高应用于低浓度的测量灵敏度; 以及包括该测量装置的测量装置。 更具体地，根据本发明的用于非常少量样品的高灵敏度毛细管消光电池包括：中空型薄膜毛细管，其中在外周上形成光反射层; 以及形成在所述光反射层的外周上的保护管。 此外，根据本发明的用于测量非常少量样品的高灵敏度毛细管消光电池的装置包括：形成用于照射光的光照射部分的上框架和用于加压的压力控制部件 减压; 下部框架，其形成灭火单元连接部件的消光单元连接部; 以及形成在所述上框架和所述下框架之间的间隔件，形成与所述消光单元连接部连接的所述消光单元的一端连接的流路。
-
公开(公告)号：KR101458011B1
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：KR1020130104138
申请日：2013-08-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/244 , H01J37/26
Abstract: 본 발명은 기판(100) 상에 설치되며 시편에서 반사된 반사전자에 의해 전자와 홀이 형성되는 포토다이오드(200)를 포함하는 주사전자현미경의 반사전자(BSE-Back scattered electron) 검출기에 있어서, 상기 포토다이오드(200)는 상기 기판(100) 상에 설치되는 제1전극(210); 상기 제1전극(210) 상에 화학기상증착(CVD)방법을 이용하여 비정질 N형반도체층(221), 비정질 N형반도체층(222), 비정질 P형반도체층(223)이 순차적으로 적층되어 형성되는 반도체(220); 및 상기 비정질 P형반도체층(223) 상에 설치되는 제2전극(230);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于扫描电子显微镜的背散射电子检测器，其包括安装在基板（100）上的光电二极管（200），并由来自试样的背散射电子形成电子和空穴。 光电二极管（200）包括安装在基板（100）上的第一电极（210），通过连续层叠非晶N型半导体层（221），非晶N型半导体 层（222）和使用CVD法的非晶P型半导体层（223）和安装在非晶P型半导体层（223）上的第二电极（230）。
-
公开(公告)号：KR101383557B1
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：KR1020120093556
申请日：2012-08-27
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/28 , H01J37/147
Abstract: 본 발명은 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치 및 그것이 구비한 주사전자현미경에 관한 것이다.
본 발명 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치는, 시료를 대기압 조건에 위치시켜 놓고 관찰할 수 있도록 전자통과막을 갖는 주사전자현미경의 전자빔출력부와 전자통과막 사이의 전자빔주사경로 상에 음전극이나 양전극을 인가하여 전자통과막 방향으로 향하던 전자가 음전극출력부나 양전극출력부 방향으로 향하여 주사방향이 변경되도록 한다.
본 발명의 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치는 주사되는 전자빔이 전자통과막으로 향하도록 할 수도 있고, 전자통과막으로 향하지 않도록 할 수도 있는 것이어서 전자빔이 출력되고 있더라도 시료를 관찰하고 있지 않다면 전자가 전자통과막을 통과하지 않도록 하여 전자통과막의 수명단축이 방지되도록 할 수 있는 특징이 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110134226A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020100054091
申请日：2010-06-08
Applicant: 한국표준과학연구원 , 경희대학교 산학협력단
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14658 , H01L27/1214 , H01L27/14603 , H01L29/66765
Abstract: PURPOSE: An image sensor for an electronic beam and a manufacturing method thereof are provided to form a bias electrode which covers the outside of a photo diode, thereby minimizing feature lowering of a device due to charges accumulated in a photo diode. CONSTITUTION: A gate electrode(102) is formed on a substrate. A gate insulating film covers the gate electrode. A source electrode is connected to a data line. A drain electrode(110) is connected to the first electrode of a photo diode through a pixel contact hole. An active layer forms a channel for transferring charges between a source electrode and a drain electrode.
Abstract translation: 目的：提供一种用于电子束的图像传感器及其制造方法，以形成覆盖光电二极管外部的偏置电极，从而最小化由于积聚在光电二极管中的电荷引起的器件的特征降低。 构成：在基板上形成栅电极（102）。 栅极绝缘膜覆盖栅电极。 源电极连接到数据线。 漏电极（110）通过像素接触孔与光电二极管的第一电极连接。 有源层形成用于在源电极和漏电极之间传送电荷的通道。
-
公开(公告)号：KR101086705B1
公开(公告)日：2011-11-25
申请号：KR1020090116440
申请日：2009-11-30
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 7축 매니 퓰레이터 및 그 7축 매니퓰레이터를 이용한 샘플홀더 이동방법에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 리드 스크류의 길이방향인 제 1 축을 기준으로 직선왕복운동을 시키는 제 1 구동부; 중심축부재을 회전시키는 제 2 구동부; 중심축부재의 일측 끝단에 결합된 제 1 이동부재를 구비하고, 제 1 이동부재의 상하방향인 제 2 축을 기준으로 제 1 이동부재를 직선왕복운동시키는 제 3 구동부;제 2 이동부재를 제 2 축과 수직방향인 제 3 축을 기준으로 직선왕복운동시키는 제 4 구동부; 제 2 이동부재에 결합되며, 일측면이 개방된 내부공간을 구비한 기저단; 기저단의 내부공간에 삽입되며, 제 1 곡률로 만곡된 원호형상으로 구비되고, 톱니가 형성된 바깥면과 일측에 고정부재가 결합되는 안쪽면을 포함하는 제 1 스테이지; 제 1 스테이지가 제 1 곡률의 중심인 제 4 축을 기준으로 회전운동하게 하는 제 5 구동부; 제 1 기어가 제 5 축을 기준으로 회전운동하도록 하는 제 6 구동부; 제 6 구동부에 의해 회전하는 제 2 기어; 제 2 기어의 상부 중앙에 결합되고, 시편이 고정된 샘플홀더; 측면 각각에 제 2 곡률을 따라 형성된 제 1 볼 가이드 홀이 형성된 제 2 스테이지; 및 제 2 스테이지가 제 2 곡률의 중심인 제 7 축을 기준으로 회전운동하게 하는 제 7 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 7축 매니퓰레이터에 관한 것이다.
매니퓰레이터, 제 1 스테이지, 제 2 스테이지, 리드 스크류, 중심축부재, 제 1 이동부재, 제 2 이동부재, 원엄기어, 작용막대-
公开(公告)号：KR1020050115466A
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：KR1020040040408
申请日：2004-06-03
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B81C1/00
Abstract: 본 발명은 고품질의 용융실리카를 활용하여 다중 채널 전기영동칩을 단순하고 경제적인 방법으로 대량 생산하는 방법과 내구성 및 광학적 특성이 우수하고 경제성 및 범용성이 뛰어난 다중 채널 전기영동칩에 관한 것이다.
본 발명은 이미 고품질로 생산 판매되고 있는 용융실리카 모세관을 활용하여 고가의 시설없이도 고품질의 고밀도 전기영동칩을 경제적인 방법으로 대량 생산할 수 있는 방법을 제공한다.
본 발명에서는 배열된 모세관을 기계적 강도가 높고 광학적 특성이 좋은 에폭시 수지에 침적시켜 칩을 제조함으로써, 전기영동칩의 내구성 등 현장 적용성이 극대화되도록 하였으며, 칩의 길이를 임의로 가변하여 다양한 분석용도에 활용할 수 있도록 하였다.-
公开(公告)号：KR101815850B1
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：KR1020160034683
申请日：2016-03-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/05 , H01J37/12 , H01J49/44 , G01N23/225 , H01J37/21
CPC classification number: H01J37/3007 , H01J29/62 , H01J29/70 , H01J31/24 , H01J37/05 , H01J37/3005 , H01J37/3053 , H01J2237/03 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/103 , H01J2237/12 , H01J2237/2802
Abstract: 본발명은하전입자선의진로를편향시키는원통형정전렌즈를대칭으로배열하고그 사이에에너지선택조리개(aperture)를배치하여중심에너지범위의하전입자선을선택하는것이가능한하전입자선장치에관한것으로, 모노크로미터중앙전극및 상기중앙전극을중심으로전방부와후방부에배열되는복수개의전극이절연을통해서로고정되는일체화구조를취하기때문에, 전방부와후방부에각각의렌즈를별도로마련하는경우에비해광축에대해오프셋을조정하는기구가간소해지는장점을가지며, 광학계의대칭성에의해출사면에서이차수차가상쇄된다.
Abstract translation: 涉及能够布置的圆柱形静电透镜用于偏转发明当然银河的该带电粒子射线装置的带电粒子线对称和设置在所述选择的带电粒子束之间的能量选择孔（开口）中的能量范围内，单声道的中心 因为色度米中心电极，并采取集成结构，其被固定到所述多个经由绝缘，其被布置在所述前部和相对于所述中心电极的背面部电极，在提供的情况下，各透镜分开的前部和后部 用于调节相对于光轴的偏移的机构被简化，并且二阶差被发射表面上的光学系统的对称性抵消。
-
公开(公告)号：KR101787379B1
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：KR1020160064041
申请日：2016-05-25
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/05
Abstract: 본발명은전자선장치에구비되는모노크로미터의전극부를통과하면서에너지분포에따라분산되어진행하는전자선을선택하는에너지선택슬릿을미세하게정밀가공하는방법에관한것으로, 본발명의직사각형에너지선택슬릿은에너지선택을위한슬릿의폭을미세하면서도정밀하게가공하기위하여집속이온빔장치(FIB)로가공하고, 가공된슬릿을주사형전자현미경또는투과형전자현미경으로측정한다. 또한 FIB와전자현미경을함께설치한장치를이용하여가공과동시에 (in-situ) 측정을수행하여장치간 이동시간을단축하고제조비용을줄일뿐 아니라슬릿의가공정밀도를높일수 있으며, 슬릿의정확한치수, 슬릿에부착되는오염입자(particle) 유무, 전자선의슬릿이외부분통과여부및 슬릿의정전기검사를통해슬릿의치수정밀도를개선하여공간분해능과에너지분해능이향상된슬릿을갖춘조리개부를구현하여궁극적으로고성능모노크로미터를제조할수 있다.
Abstract translation: 本发明中，在通过的是，根据本发明，关于如何精细精度的矩形能量选择狭缝加工用于选择电子束前进能量选择狭缝分散在根据能量分布的单色仪的电极中的电子束装置被设置为 而通过聚焦离子束装置（FIB）微缝隙能量选择处理的宽度以准确加工，并测量在扫描电子显微镜或透射型电子显微镜的加工缝隙。 此外，通过使用与FIB和电子显微镜的处理，并在同一时间（原位）安装的装置通过降低所述设备之间的行驶时间进行测量，并且不仅可以降低制造成本nopilsu狭缝的加工精度，狭缝的精确尺寸 ，并且通过使用被污染的颗粒（粒子）或否，比狭缝的电子线和狭缝以外的通部分是否连接到所述狭缝静态检查，以改善该狭缝的尺寸精度执行部孔与所述空间分辨率和能量分辨率增强狭缝最终高性能 单色仪可以制造。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
64
records
(took 0.027 seconds)
