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公开(公告)号：KR101587342B1
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：KR1020140033565
申请日：2014-03-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은캔틸레버마운트시 발생되는오차를상쇄하기위해탐침현미경의동작순서중, 광학빔정렬단계에해당하는것으로 PSPD 검출기의원점정렬이후, PSPD 검출기를새로운좌표를생성하고, 새로운좌표로변환또는보정하여탐침현미경의정밀도를향상시키기위한방법, 이를이용한탐침현미경을제공하는데에있다. 이를위하여일단은분석대상인샘플의표면특성과연동되는팁이구비되고샘플의원자와의힘에의해동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나가변화하는캔틸레버; 캔틸레버의상부면에입사되는광학빔을생성하는광원; 광원과캔틸레버중 적어도하나를이동또는진동시켜서광학빔의입사위치를이동시키는구동부; 캔틸레버에서반사된광학빔을검출하여, 이동되는광학빔의입사위치에대응되는제1신호를제1좌표상에서생성하는검출기; 및검출기에서검출된제1신호를토대로제2좌표를산출하는좌표산출부;를포함하고, 산출된제2좌표를토대로캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나를측정하여, 샘플의표면특성을분석하는것을특징으로하는검출기의좌표보정이가능한탐침현미경이제공된다. 이에따르면정밀한탐침현미경구현이가능해지는효과가있다. 또한자동으로검출기의좌표를보정하는것이가능하도록구성할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020150146079A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140075947
申请日：2014-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/21 , G01N23/225 , H01J49/44
CPC classification number: H01J37/05 , G01N23/2251 , H01J37/12 , H01J37/21 , H01J49/44 , H01J2237/057 , H01J2237/1516 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485
Abstract: 본발명은모노크로메이터및 이를구비한하전입자빔장치에관한것으로, 보다상세하게는저비용으로광축을일치시키는모노크로메이터(monochromator, MC) 및이를구비한하전입자빔장치에관한것이다. 이를위하여이미터에서방출된하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제1정전렌즈; 및중심축이제1정전렌즈의중심축과동축으로배치되고, 제1정전렌즈와특정이격거리만큼이격되며, 제1정전렌즈에서출사되는하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제2정전렌즈;를포함하고, 하전입자빔은정전렌즈의중심축에서특정오프셋만큼벗어난축외궤도를통과하도록구성되며, 하전입자빔의에너지폭이감축되는모노크로메이터가제공될수 있다. 이에따르면모노크로메이터를통과한후에도좋은하전입자빔프로파일을얻을수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种单色仪及具有该单色仪的带电粒子束装置。 更具体地，本发明涉及用于以低成本匹配光轴的单色仪（MC）和具有该单色仪的带电粒子束装置。 为此，单色器包括：第一静电透镜，用于接收从发射器放出的带电粒子束，折射带电粒子束的轨迹，并由多个电极组成; 以及第二静电透镜，具有与第一静电透镜的中心轴同轴设置的中心轴，以特定间隔与第一静电透镜分离，接收从第一静电透镜放出的带电粒子束，折射带电粒子的轨迹 并且由多个电极组成。 带电粒子束通过偏离设置在静电透镜的中心轴外侧的离轴轨迹，特别是偏移，并且可以减少带电粒子束的能量宽度。 因此，即使在带电粒子束通过单色仪之后，也可以获得良好的带电粒子束轮廓。
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公开(公告)号：KR1020150058596A
公开(公告)日：2015-05-29
申请号：KR1020130139831
申请日：2013-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은캔틸레버와대물렌즈사이에반사판인스크린을삽입하여광학빔을대물렌즈로직접확인하는방법으로광학빔정렬을용이하게하기위한탐침현미경, 이를이용한탐침현미경의광학빔정렬방법, 기록매체및 탐침현미경의광학빔자동정렬시스템에관한것이다. 이를위하여캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나의정밀한측정을위하여, 캔틸레버의상부면종단에설정되고, 광학빔이입사되는목표위치; 목표위치가포함된캔틸레버를확대하여표시하는확대수단; 확대수단에의해확대표시된캔틸레버를영상으로표시하는영상표시부; 및캔틸레버의연직상부에구비되고, 광학빔의반사광에의해광학빔의입사위치가영상표시부에의해영상으로표시되도록구성되는스크린;을포함하고, 스크린의영상에캔틸레버의영상이오버랩되도록하고, 스크린에서반사되는광학빔의반사광에의한입사위치을이용하여, 광학빔을목표위치에정렬하는것을특징으로하는탐침현미경이제공될수 있다. 이에따르면, 캔틸레버의상부면에정밀한광학빔을정밀하게정렬하여탐침현미경의정밀도를향상시키고, 분석결과의오차가최소화되는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及通过使用通过在悬臂和物镜之间插入作为反射板的屏幕直接确认物镜的光束的方法来简化光束的布置的探针显微镜， 通过使用探针显微镜的光束布置方法，记录介质和自动布置探针显微镜的光束的系统。 为了实现该目的，提供了一种探针显微镜，其包括设置在悬臂的上表面的端部并且光束进入的目标位置，以精确地测量运动位移，运动频率， 和弯曲度; 放大单元，放大并显示包括目标位置的悬臂; 显示由放大单元放大的悬臂的图像显示装置作为图像; 以及安装在悬臂的垂直上部的屏幕，并且形成为使得由图像显示部显示的光束的入射位置作为图像。 因此，由于精确的光束精确地布置在悬臂的上表面上，所以提高了探针显微镜的精度并且使分析结果的误差最小化。
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公开(公告)号：KR101448199B1
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020130090248
申请日：2013-07-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/252 , H01L21/66
Abstract: The present invention relates to a method for cleaning a metal tip used as a probe for a scanning probe microscope or a source for a particle beam under ultra-high vacuum. Provided is the method for cleaning the metal tip which includes the steps of: a) maintaining vacuum with a pressure of 10^-7 mbar in a chamber including the metal tip; b) introducing nitrogen gas into the chamber; and c) applying a positive voltage to the metal tip in the chamber to which the nitrogen gas is introduced.
Abstract translation: 本发明涉及一种在超高真空下清洗用作扫描探针显微镜或粒子束源的金属尖端的方法。 提供了用于清洁金属尖端的方法，其包括以下步骤：a）在包括金属尖端的室中保持10 ^ -7毫巴的压力的真空; b）将氮气引入室内; 以及c）向导入氮气的室中的金属尖端施加正电压。
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公开(公告)号：KR102029869B1
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：KR1020180070086
申请日：2018-06-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Inventor： 조복래
IPC: H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/244
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101734225B1
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020160150962
申请日：2016-11-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01T1/20 , H01J37/22
Abstract: 본발명은 STEM 영상관찰을위해검출감도와신호대 잡음비가뛰어난복수개의고리형형광검출기(scintillation detector)를이용하여산란여부및 회절각분포에따른영상을고해상도로빠르게획득할수 있는형광검출기에관한것으로, 명시야영상과암시야영상을분리관찰하고전자검출에의해발생된광신호의색상을달리하여광 가이드를통해혼합광을전송한뒤 광분리부로분리하는것이가능하여분해능을높일수 있다. 또한, 후방산란전자영상검출기를좌우대칭또는사방대칭형의형광검출기로하여 3차원영상을획득할수 있는검출기및 이러한검출기능을가지는전자현미경을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种可以使用的检测灵敏度和信号 - 噪声荧光检测器比是优异的多个环形荧光检测器（闪烁检测器），用于观察STEM图像获得迅速根据散射的图像，并确定是否在高分辨率的衍射角分布， 者可以增强视野图像和暗视场观察到分开的图像，并且可以被分离成背面光分离通过改变所造成的电子检测分辨率光学电弧颜色透射穿过光导的混合光。 它还提供了一种具有检测器和这样的检测功能，其可以通过背散射电子图像检测器与四通对称或对称的荧光检测器获得的三维图像的电子显微镜。
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公开(公告)号：KR101725139B1
公开(公告)日：2017-04-10
申请号：KR1020150163450
申请日：2015-11-20
Applicant: 한국표준과학연구원
Inventor： 조복래
Abstract: 본발명은시료고정부(holder)가연속배열되고이동가능한시료스테이지를시료실벽(Chamber wall)의한 부분으로구성하는시료실을포함하는전자현미경및 광-전자융합현미경에관한것으로, 전자원(20)으로부터방출된전자빔을집속하여출사하며, 진공배기관(30)을구비한전자빔경통(10); 상기전자빔경통(10)을상부벽(upper wall)의전부또는일부로포함하고, 하부벽의중심에개구(hole)가형성되며, 진공배기관(31)을구비한시료실(100); 상기시료실(100) 하부벽의개구(110)를통해상기경통과대향하는시료고정부(210)가연속배열되고, 진공밀봉을위해상기시료실하부벽 하면의개구를둘러싸는고리형밀봉부재(120)를사이에두고접하여, 시료실진공이유지되는상태에서수평이동하여연속배열된시료고정부가순차적으로상기출사하는전자빔에노출되는시료스테이지(200); 및상기경통과시료실의진공배기관에연결된진공펌프(40, 41)를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020170010917A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020150102133
申请日：2015-07-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2608
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种扫描电子显微镜，包括：用于照射电子束的电子束源; 包括至少一个中间聚光透镜的聚光透镜组，该中心聚光透镜与电子束源相邻设置并使电子束冷凝;以及物镜，其被设置为最终的聚光透镜，邻近样品并形成电子 在样品上凝结的束斑; 在其内部包括电子束源和聚光透镜组的真空室，具有从电子束源照射的电子束通过物镜照射到样品的通道的孔; 至少一个偏转器，用于控制和改变电子束的照射方向; 以及用于支撑要观察的样品的样品台。
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公开(公告)号：KR1020150144849A
公开(公告)日：2015-12-29
申请号：KR1020140073413
申请日：2014-06-17
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 조사각도를조절하기위한장치및 방법에관한것으로서, 하전입자빔을방출하는하전입자빔 소스; 상기하전입자빔 소스와하기경통사이를연결하며, 센터링과오링의결합에의해이루어지는각도조절장치; 및상기각도조절장치와연결되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하며, 하전입자빔 프로브를형성시키는집속렌즈군을포함하는경통부;를포함하는하전입자빔 조사각조절장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种调整带电粒子束照射角度的装置及其方法，涉及一种带电粒子束照射角度调节装置，包括：带电粒子束源，其发射带电粒子束; 角度调节装置，其将带电粒子束源连接到筒体并通过中心环和O形环的联接而形成; 并且连接到角度调节装置的筒体通过电场或磁场收集带电粒子束，并且包括用于形成带电粒子束探针的聚焦透镜组。
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