公开(公告)号：CN102376517B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201110251918.X

申请日：2011-08-24

Applicant: FEI公司

Inventor： U.吕肯 ,  R.肖恩马克斯 ,  F.J.P.舒尔曼斯

IPC: H01J37/244 ,  H04N5/335 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/2446

Abstract: 本发明涉及用于透射电子显微镜的检测器系统。在一种透射电子显微镜检测器系统中，在图像采集时间段期间从像素读出图像数据并且对其进行分析。根据所述分析的结果，修改图像采集过程。例如，所述分析可以指示在数据中包含比如充电或起泡之类的图像伪像，并且可以从最终图像中去除包含伪像的数据。CMOS检测器提供在高数据速率下选择性地读出像素，从而允许实时地自适应成像。

公开(公告)号：CN102439684B

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201080022141.3

申请日：2010-05-04

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： B.W.沃德

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2811 ,  H01J2237/2823 ,  H01J2237/30416

Abstract: 总体而言，在一个方面，本公开涉及用于样品成像的方法和系统，例如使用带电粒子的样品成像。

公开(公告)号：CN104865276A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201510087134.6

申请日：2015-02-25

Applicant: FEI公司

Inventor： I.拉兹 ,  E.G.T.博思 ,  F.博格霍贝 ,  B.布伊斯塞 ,  K.S.塞德 ,  S.拉扎

IPC: G01N23/04

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：-提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；-提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；-使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检测器输出，从而产生样本的带电粒子图像的累积，该方法还包括如下步骤：-把检测器体现为包括多个检测分段；-组合来自检测器的不同分段的信号，以便在每个扫描位置处从检测器产生向量输出，并且编译这个数据以产生向量场；-通过使所述向量场经受二维积分操作来以数学方式处理所述向量场，由此产生积分向量场图像。

公开(公告)号：CN102207472B

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201110078266.4

申请日：2011-03-30

Applicant: FEI公司

Inventor： R.坦纳

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/3005 ,  G01N1/286 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3045 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2814 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。

公开(公告)号：CN104681382A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201410718566.8

申请日：2014-12-02

Applicant: FEI公司

Inventor： A.A.S.斯鲁伊特曼恩 ,  E.G.T.博世

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/153 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2813 ,  H01J37/22

Abstract: 具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法，该方法包括下列步骤：使用检测器来拦截通量的至少一部分，以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij}，由此，集合{Ij}的基数是M＞1；对每个图像Ij中的每个像素pi，确定累积信号强度Sij，因此产生信号强度的相关集合{Sij}；使用集合{Sij}计算下列值：每像素位置i的平均信号强度S；每像素位置i的S中的方差σ2S；将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图：表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图；表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。

公开(公告)号：CN101996839B

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201010510825.X

申请日：2010-07-26

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 德克·普雷克扎斯 ,  迈克尔·阿尔比兹

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/141

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J37/15 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及一种粒子束装置(1)，其具有光阑孔可调的第一光阑组件(8)。本发明还涉及一种用于粒子束装置(1)的光阑组件(8)。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置(1)中调整束流的方法。粒子束装置(1)包括具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)的第一聚束透镜(6)。可以相对于第二光阑组件(9)相互独立地调整第一极靴(6a)与第二极靴(6b)两者。第二光阑组件(9)被设计为压力级光阑，其将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互隔开。根据本发明的方法涉及调整该粒子束装置(1)中的束流。

公开(公告)号：CN101858821B

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN200910260522.4

申请日：2009-12-11

Applicant: FEI公司

Inventor： B·里格 ,  M·范德斯塔姆

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G06T5/006 ,  G06T5/50 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/20021 ,  H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/2823 ,  H01J2237/2826

Abstract: 本发明涉及一种确定TEM的投影系统中的畸变的方法，以及一种用于校正这些像差的方法。所述像差是通过收集样品的大量的像进行确定的，所述样品在每一次像的获取之间被稍微移动。在这些像上将显示样品相同部分的子场(303，304-i)进行比较。这些子场(303，304-i)将显示一些对应于微分像差的小的差别。这样能够确定在大量的点中的所述微分像差，此后通过积分能够确定每一个点的像差。最后对像中每一个被探测像素的要被显示的位置进行校正，显示的像具有大大降低的像差。根据本发明的方法的优点在于不需要样品的高精度步长，也不需要知道样品的几何形状。

公开(公告)号：CN103137418A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210595867.7

申请日：2012-11-29

Applicant: FEI公司

Inventor： B·R·小劳思

IPC: H01J49/12 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/285 ,  G01T1/28 ,  H01J27/16 ,  H01J37/05 ,  H01J37/077 ,  H01J37/08 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/265 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/305 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/24415 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及作为用于光谱分析的电子束源的感应耦合等离子体源。一种具有用户可选择配置的单镜筒感应耦合等离子体源操作在用于FIB操作的离子模式或用于SEM操作的电子模式下。装备有x射线探测器，能量色散x射线光谱分析是可能的。用户能够选择性地配置ICP以在离子模式或FIB模式下制备样品，接着实质上扳动选择电子模式或SEM模式的开关并且使用EDS或其它类型的分析来分析样品。

公开(公告)号：CN102680507A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210134252.4

申请日：2007-02-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 宫本敦 ,  长友涉 ,  松冈良一 ,  诸熊秀俊

IPC: G01N23/225 ,  G03B42/00

CPC classification number: G01N23/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明涉及扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法。在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：(1)当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；(3)由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：(1)从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。(2)能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。(3)伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。

公开(公告)号：CN102543640A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110418980.3

申请日：2011-09-29

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： S·迪默 ,  H·曼茨 ,  J·帕卢齐恩斯基

IPC: H01J37/28 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2482

Abstract: 本发明涉及一种操作粒子束显微镜的方法，其中所述方法包括：探测从结构发出的光线和/或从结构发出的粒子的至少之一，其中所述结构包括至少下述之一：物体的表面的至少一部分和粒子束显微镜的载物台的表面的至少一部分；根据探测到的光线和粒子的至少之一生成所述结构的表面模型；相对于目标区域确定所述结构的表面模型的位置和定向；相对于所述结构的表面模型确定测量部位；以及，根据生成的所述结构的表面模型、确定的所述结构的表面模型的位置和定向以及确定的测量部位定位物体。