公开(公告)号：KR1019960008976A

公开(公告)日：1996-03-22

申请号：KR1019950023817

申请日：1995-08-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다테야마기요히사 ,  노무라마사후미 ,  도모에다다카유키

IPC: H01L21/02

CPC classification number: B05C11/1039 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/08 ,  G03F7/3021 ,  Y10S134/902

Abstract: 피처리체를현상액으로현상하는현상액처리장치는, 피처리체를회전가능하게유지하는유지부재와, 피처리체에현상액을공급하는현상액공급노즐과, 피처리체로공급된현상액을흡인하는현상액흡인노즐과, 현상액공급노즐을피처리체위쪽으로이동시키는현상액공급노즐이동기구와, 현상액흡인노즐을피처리체위쪽으로이동시키는현상액흡인노즐이동기구를구비하고, 현상액공급노즐을이동시켜서현상액을피처리체에공급한후, 현상액흡인노즐을이동시켜서피처리체상의현상액을흡인한다.

Abstract translation: 用于开发与显影溶液在加工对象物的显影剂装置被保持，其旋转地保持加工对象部件，以及一个显影液吸嘴和显影液供给喷嘴供给的显影液被处理，抽吸供给显影剂体被处理，并且 具有用于显影液供给喷嘴移动机构为显影液供给喷嘴移动到目标位置，移动显影溶液吸引喷嘴朝向目标位置并且，通过移动显影液供给喷嘴的显影剂吸嘴移动机构后供给显影液的待处理 ，显影剂吸嘴移动以吸引待处理物体上的显影剂。

公开(公告)号：KR1019940027045A

公开(公告)日：1994-12-10

申请号：KR1019940010903

申请日：1994-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼리

IPC: H04L7/04

Abstract: 반도체디바이스의 제조장치에 사용되는 통신시스템은, 비반전 정보와 이 비반전정보의 반전정보 한쌍으로서 정보를 송신하는 반전2연송 모우드로 정보를 송신하는 마스터 송신 로직모듈과 마스터 수신 로직모듈을 가지는 마스터측 전송계와, 세정장치의 복수의 유니트에 각각 착설되고, 각각이 슬레이브 송신 로직모듈과 상기 비반전정보 및 상기 반전정보를 받아서, 비반전정보 및 반전정보의 내용이 일치한 때에 정보를 받아들이는 슬레이브 수신 로직모듈을 가지는 복수의 슬레이브측 전송계에 의하여 구성된다.

公开(公告)号：KR1019940024920A

公开(公告)日：1994-11-19

申请号：KR1019940008171

申请日：1994-04-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다테야마기요히사 ,  마쓰시타미치아키

IPC: H01L21/304

公开(公告)号：KR1019940004768A

公开(公告)日：1994-03-15

申请号：KR1019930016108

申请日：1993-08-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼오리 ,  데구치요이치 ,  니시미쓰오 ,  다까구마신지

IPC: H01L21/66

Abstract: 기판검출장치는, 웨이퍼를 유지하는 보우트 또는 척과, 상호간에 가로로 나란하게 배열되어 있으머, 기판의 각각에 광빔을 조사하는 복수개의 발광소자를 가지는 발광부와, 발광부에 대면하도록 배치되고 각 웨이퍼를 투과한 광빔을 각각 수광하며, 상호간에 가로로 나란하게 배열되어 있으며, 또한 상기 발광소자와는 상호간에 약간어긋나게 교차배치되어 있는 복수개의 수광소자를 가지는 수광부와, 수광소자에 각각 입사하는 광빔의 광축에 형성된 편광필터와, 양옆에 다른 웨이퍼가 존재하지 않는 상태에서 웨이퍼에 광빔을 조사한 때에 수광소자가 수광하는 광량을 미리 예측하여 놓고, 이것을 레퍼런스데이타로서 기억하는 메모리와, 검출대상으로 되는 웨이퍼에 의하여 산란된 산관광과 그 양옆의 기판을 돌어들어오는 돌아들어옴광을 상기 편 필터에 의하여 제거한 후에, 상기 수광소자로 각각 수광한 광량에서 얻어진 데이타와 상기 레퍼런스 데이타에 기초하여 상기 유지수단상에 있어서의 기판의 유무, 매수 및 배열상태를 판정하는 콘트롤러를 가진다.

公开(公告)号：KR1019920007088A

公开(公告)日：1992-04-28

申请号：KR1019910015595

申请日：1991-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 코니시노부오 ,  다카모리히데유키 ,  아키모토마사미 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/20

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR1019910007092A

公开(公告)日：1991-04-30

申请号：KR1019900006565

申请日：1990-05-09

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 사카이히로시 ,  히라카와에이이치 ,  야마구치지미쓰 ,  다케구마타쓰시

IPC: H01L21/31

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR1019900013296A

公开(公告)日：1990-09-05

申请号：KR1019900001632

申请日：1990-02-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 사까이히로시

IPC: G01F3/22

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR100300614B1

公开(公告)日：2001-11-30

申请号：KR1019950009914

申请日：1995-04-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 미우라요시카즈 ,  아라이히데오 ,  아키모토마사미 ,  오가와시즈오 ,  나가노도시히코

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은, 로우드ㆍ언로우드부, 처리부, 및 인터페이스부로 구성된 피처리체의 처리장치로서, 로우드ㆍ언로우드부로부터 인터페이스부까지 양방향으로 이동가능하며, 처리부에서의 각 처리파트에 피처리체를 이송함과 동시에, 로우드ㆍ언로우드부로부터 인터페이스부까지 피처리체를 양방향으로 반송할 수 있는 반송기구와, 반송기구에 의해 인터페이스부에 피처리체를 옮겨 실을 때에 피처리체를 일시 대기시키기 위한 적어도 두개의 대기부를 구비하는 피처리체의 처리장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR100272186B1

公开(公告)日：2000-11-15

申请号：KR1019930015854

申请日：1993-08-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 모쿠오쇼오리

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67742

Abstract: 기판반송장치는, 기판을 유지하는 복수의 기판유지부와, 이들 기판유지부를 수평방향으로 이동시키는 신축이 자유로운 아암으로 이루어지는 복수의 이동 기구와, 이들 이동기구를 수평으로 회전시키는 회전기구와, 상기 이동기구 및 회전기구의 구동수단을 구비하며, 상기 회전기구 상에 상기 복수의 이동기구와 기판유지부를 병설하고, 상기 기판유지부 상에 유지되는 기판의 적어도 일부가 간극을 두고 중복 가능하게 형성함과 동시에, 각 기판유지부 끼리가 서로 멀어졌을 때에는, 각 기판유지부 상의 기판이 거의 동일한 수평면 내에 위치하도록 상기 이동기구의 신축아암을, 수직방향으로 경사시켜서 수평이동이 가능하게 형성하여 이루어 진다.

公开(公告)号：KR100262902B1

公开(公告)日：2000-09-01

申请号：KR1019950028201

申请日：1995-08-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다나카히데야 ,  모리오카노리미쓰 ,  기무라요시오 ,  요시하라고스케

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/3021 ,  B05C11/08

Abstract: 현상처리장치는, 기판보다 작은 크기의 얹어놓는면을 가지며, 이 얹어놓는면에 레지스트 도포면이 위를 향하도록 얹어놓인 기판을 스핀회전시키는 스핀척과, 이 스핀척을 둘러싸는 척과, 스핀척상의 기판의 레지스트 도포면에 현상액을 가하는 현상액 노즐과, 스핀척상의 기판의 레지스트 도포면에 세정액을 가하는 제1의 세정액노즐과, 스핀척상의 기판의 뒷면에 세정액을 가하는 제2의 세정액 노즐과, 스핀척과 실질적으로 같은 축에 설치되고, 그 직경이 스핀척의 얹어놓는면보다 크고, 또한 기판보다는 작은 책체밀폐 링과, 이 액체밀폐 링의 윗끝단에 설치되고, 스핀척상의 기판 뒷면의 둘레부에 근접대면하여 기판뒷면의 둘레부와의 사이에 간극을 형성하는 액막형성부를 구비하고, 막형성부는, 기판뒷면에 대하여 실질적으로 직교하고, 또한, 바� ��쪽을 향하는 제1의 벽부와, 기판뒷면에 대하여 완만하게 경사하고, 또한, 안쪽을 향하는 제2의 벽부를 가진다.