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公开(公告)号：KR1020170022584A
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：KR1020150117737
申请日：2015-08-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
Abstract: 본발명은전자, 이온, 중성입자등 입자광축을따라집속되는입자빔이입사하는틈(aperture)을일면에구비하고, 그대향면에광이투과하는탈착형시료홀더를구비하여, 입자빔과광으로시료를관측또는분석할수 있는입자및 광학장치용진공시료실에관한것으로, 전자현미경또는집속이온빔관찰장비의시료실에시료가출입할경우에도시료실내부진공을유지하여관찰시간을단축하고, 광원이나광학경통을시료실내부에삽입하지않고외부에서광학영상을획득할수 있는시료실및 그시료실을구비한광-전자융합현미경을구현한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于颗粒和光学装置的真空样品室，该真空样品室包括：在其一个表面上具有孔，沿着诸如电子，离子和中性的颗粒的光轴聚焦的粒子束 颗粒是事件; 并且在其相对表面上具有透光性的可拆卸的样品保持器，从而能够通过粒子束和光来观察和分析样品。 本发明实现了一种样品室，即使在将样品放入或从电子显微镜或聚焦离子束观察设备的样品室中取出，也能够获得光学图像的同时通过保持真空来减少观察时间 在其外部没有将光源或光学筒插入样品室中; 以及包含样品室的光电子融合显微镜。
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公开(公告)号：KR1020170010229A
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：KR1020150101358
申请日：2015-07-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하며, 상기시료를미세하게수평이동할수 있는시료스캐너; 및상기시료스캐너하부에구비되며상기시료및 시료스캐너를함께수평이동할수 있는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101639581B1
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020140104928
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은하전입자현미경의입자빔제어장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는하전입자현미경내하전입자빔을제어함으로써, 시료표면의정보를획득하기위해정전방식또는자기방식의편향기(스캐너)에의해왜곡되는동적특성을바로잡아원하는위치에하전입자빔을조사시킴으로써측정된시료표면의이미지가왜곡되는것을방지하고, 고속으로이미지를획득할 수있도록하며, 원하는형태로시료표면을가공할수 있도록하는하전입자빔제어장치및 이를이용한하전입자빔의제어방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101618693B1
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020140071894
申请日：2014-06-13
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 현미경의주사신호제어방법에관한것으로, 보다구체적으로는하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 하전입자빔의조사방향을제어하는스캔프로파일을생성하여상기편향기에제공하는주사파형발생기; 및상기편향기에서실제로출력되는전류파형을제어하는주사파형제어부;를포함하는하전입자빔 현미경의주사신호를생성하는방법으로서상기편향기로부터기인하는시료표면의왜곡된영상을개선할수 있는주사신호의제어방법및 이를이용한장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101529607B1
公开(公告)日：2015-06-19
申请号：KR1020130139831
申请日：2013-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은캔틸레버와대물렌즈사이에반사판인스크린을삽입하여광학빔을대물렌즈로직접확인하는방법으로광학빔정렬을용이하게하기위한탐침현미경, 이를이용한탐침현미경의광학빔정렬방법, 기록매체및 탐침현미경의광학빔자동정렬시스템에관한것이다. 이를위하여캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나의정밀한측정을위하여, 캔틸레버의상부면종단에설정되고, 광학빔이입사되는목표위치; 목표위치가포함된캔틸레버를확대하여표시하는확대수단; 확대수단에의해확대표시된캔틸레버를영상으로표시하는영상표시부; 및캔틸레버의연직상부에구비되고, 광학빔의반사광에의해광학빔의입사위치가영상표시부에의해영상으로표시되도록구성되는스크린;을포함하고, 스크린의영상에캔틸레버의영상이오버랩되도록하고, 스크린에서반사되는광학빔의반사광에의한입사위치을이용하여, 광학빔을목표위치에정렬하는것을특징으로하는탐침현미경이제공될수 있다. 이에따르면, 캔틸레버의상부면에정밀한광학빔을정밀하게정렬하여탐침현미경의정밀도를향상시키고, 분석결과의오차가최소화되는효과가있다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101857046B1
公开(公告)日：2018-05-14
申请号：KR1020160112458
申请日：2016-09-01
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B21/00
Abstract: 본발명은실리콘의결정특성을이용하여형성한사각뿔형상의관통공으로전자빔이통과하게하고광학빔은반사하도록한 광-전자융합현미경용광반사거울에관한것으로, 결정구조의이방성식각을이용하므로, 실리콘의 (111) 면과 (100) 면의각도인 54.7°로식각이되어관통공이한쪽에서다른쪽으로갈수록점점좁아져서(Tapering), 광반사거울을경사지게배열하였을때 좁은관통공부위를광의입사방향으로배치하여광손실을최소화할수 있고, 실리콘습식공정을이용하여경제적인광반사거울의다량획득이가능한효과가있다.
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公开(公告)号：KR101727729B1
公开(公告)日：2017-04-17
申请号：KR1020150162389
申请日：2015-11-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
Abstract: 본발명은기판(100); 상기기판(100)의상면테두리에결합되는다수의지지보(200); 상기다수의지지보(200)의상면에결합되며, 상면중앙에진공홈(310)(310)이형성되는제1플레이트(300); 상기제1플레이트(300)의진공홈(310) 근처에위치하는공기를흡입하는공기흡입포트(400); 상기제1플레이트(300)의상면을덮으며, 상면에상기진공홈(310)과연통되어어퍼쳐가진공흡착되는다수의진공흡착홀(510)이격자형으로배열형성되는제2플레이트(500);를포함하는것을특징으로하는진공척(1000)에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170027089A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020150123568
申请日：2015-09-01
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01T1/20 , H01J37/22
Abstract: 본발명은 STEM 영상관찰을위해검출감도와신호대 잡음비가뛰어난복수개의고리형형광검출기(scintillation detector)를이용하여산란여부및 회절각분포에따른영상을고해상도로빠르게획득할수 있는형광검출기에관한것으로, 명시야영상과암시야영상을분리관찰하고전자검출에의해발생된광신호의색상을달리하여광 가이드를통해혼합광을전송한뒤 광분리부로분리하는것이가능하여분해능을높일수 있다. 또한, 후방산란전자영상검출기를좌우대칭또는사방대칭형의형광검출기로하여 3차원영상을획득할수 있는검출기및 이러한검출기능을가지는전자현미경을제공한다.
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