公开(公告)号：CN104470465B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201380022097.X

申请日：2013-04-24

Applicant: 兰德股份公司

Inventor： R·S·马森

IPC: A61C17/02 ,  A61B18/04 ,  H05H1/24 ,  A61C19/06 ,  A61L12/14 ,  H05H1/42

CPC classification number: H01J37/04 ,  A61B18/042 ,  A61B2018/00452 ,  A61B2018/00642 ,  A61B2018/00767 ,  A61B2018/00827 ,  A61C17/02 ,  A61C19/063 ,  A61C19/066 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32467 ,  H01J37/32541 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2443 ,  H05H2240/20 ,  H05H2245/122

Abstract: 一种等离子体处理装置(10)，包括：收容电池(22)的本体部(11)，气瓶(15)，电源电路(21)，以及包括一对电极(18、19)的等离子体生成器(20)。装置还包括可拆卸的施加器部(12)，以及从生成器(20)延伸的用于将所生成的等离子体输送到出口并将形成在出口处的等离子体羽引导到处理区域上的延长导管(14)，所述出口在导管(14)的远端处。环形电极(25)被设置在导管(14)的出口处，并经由延长电导体(26)连接到电源电路(21)。环形电极(25)起到将所生成的等离子体内的电子从排出的等离子体羽带走的作用，从而帮助避免由结果电流导致的任何感觉。可提供电路(17)测量来自电极(25)的电流的电路，电源电路(21)被布置成根据所测电流调整供应到一对电极(18、19)的电力。

公开(公告)号：CN106373849A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201610914560.7

申请日：2016-10-20

Applicant: 武汉新芯集成电路制造有限公司

Inventor： 刘洋

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/147 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/04 ,  H01J37/147

Abstract: 本发明涉及一种高速流离子注入机中离子束的调整装置，包括两个圆柱体以及带动两个所述圆柱体旋转的电机，两个所述圆柱体并排放置在高速流离子注入机的质量分析仪的出口上且两个所述圆柱体之间留有缝隙,所述缝隙正对高速流离子注入机的质量分析仪的出口，两个所述圆柱体在所述电机的驱动下旋转的方向相反。本发明两个圆柱体在电机的驱动下会保持一定的速度反向旋转，这样在离子束流通过两个圆柱体侧面之间缝隙的时候，既能够更加流畅通过被选择，也能让不需要的离子束不会击打在同一个地方，提高离子束流均匀性，从而提高设备工程师的工作效率、延长零件的使用寿命和降低设备维护成本。

公开(公告)号：CN104303256B

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201280070115.7

申请日：2012-12-19

Applicant: 安特卫普大学

Inventor： J·费尔贝克 ,  G·范腾德罗

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J3/02 ,  H01J3/021 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/256 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/06383 ,  H01J2237/2614

Abstract: 描述了用于将轨道角动量施加到沿着带电粒子束发生装置中的波束轴(104)传播的带电粒子波的设备(100)。该设备包括：支撑元件(106)，该支撑元件具有适配于透射沿着波束轴(104)传播的带电离子波的目标区域(108)；以及，感应装置(112)，该感应装置用于沿着具有位于所述目标区域(108)的自由端部分的细长轮廓感应磁通，并且该感应装置(112)适配于在所述细长轮廓中提供磁通，以便感应带电离子波在透射经过所述目标区域(108)时的相位相对于波束轴的角梯度。还公开了相应的方法以及其在电子显微术中的使用。

公开(公告)号：CN106128928A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201610617120.5

申请日：2016-07-29

Applicant: 中国原子能科学研究院

Inventor： 贾先禄 ,  宋国芳

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/02 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/02 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明属于超导回旋加速器技术领域，具体涉及一种高磁场下微型潘宁离子源的引出结构。包括设置在潘宁离子源的阳极筒侧面上的阳极筒引出缝和靠近阳极筒引出缝设置的引出电极，引出电极上的引出电极缝口对应阳极筒引出缝，当引出电极上加载高频电压后能够通过电极缝口将阳极筒内的等离子体从阳极筒引出缝引出，其中，阳极筒引出缝设置在阳极筒的引出壁上，引出壁的厚度小于阳极筒的其他位置厚度；阳极筒引出缝长6mm‑10mm，设有特定角度的张角，宽0.5mm；电极缝口长6mm‑10mm，宽0.5mm；阳极筒引出缝、电极缝口的长度保持一致。该引出结构尽量减小了阳极筒的引出口的壁厚，增强了内腔壁电压，提高了引出流强，改善了引出束流品质。

公开(公告)号：CN103985623B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201310385396.1

申请日：2013-08-29

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 拉金德尔·迪恩赛 ,  阿列克谢·马拉什塔内夫 ,  迈克尔·C·凯洛格 ,  安迪·迪斯普特 ,  安德鲁·D·贝利三世

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32174

Abstract: 本发明涉及等离子体处理系统中的射频（RF）接地返回及其方法。本发明公开了用于以至少两种模式操作等离子体处理工具的等离子体处理腔的方法和装置。在第一模式，衬底支撑组件在间隙可调范围内可移动以调节电极之间的间隙，从而适应不同的处理需求。在第一模式，只要间隙距离在间隙可调范围内，RF接地返回路径连续性便被保持而与间隙距离无关。在第二模式，衬底支撑组件能够移动以进一步打开间隙从而容纳无阻碍的衬底装载/卸载。

公开(公告)号：CN105103264A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201580000348.3

申请日：2015-02-27

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 汤濑琢巳 ,  寺泽寿浩

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/028 ,  H05H1/16 ,  H05H7/04

Abstract: 从离子源向离子加速装置16入射并且在离子加速管24内飞行的正离子被在离子加速管24的内部配置的多个加速电极2a~2h加速而向照射对象物照射。在离子加速管24内配置有多个磁铁装置5，使各磁铁装置5分别形成的磁力线的方向在相邻的磁铁装置5中以比0度大且90度以下的角度不同，使各磁力线在离子加速管24内沿一个方向旋转。使在离子加速管24内逆行的电子与磁力线交叉，使电子一边逆行一边增加离飞行轴的距离。电子与离子加速管24内的构件冲撞，在变为高能量之前停止，因此，不产生高能量X射线。

公开(公告)号：CN104658843A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201410675978.8

申请日：2014-11-21

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 稻田耕二 ,  加藤浩二

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/21 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/304 ,  H01J37/04 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/304 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31701 ,  H01J37/09 ,  H01J37/21

Abstract: 本发明提供一种高能量离子注入装置、射束电流调整装置及射束电流调整方法，其课题在于例如在高能量离子注入装置中调整注入射束电流。本发明的用于离子注入装置的射束电流调整装置(300)具备配置于离子束的会聚点(P)或其附近的可变孔隙(302)。可变孔隙(302)构成为，调整会聚点(P)的与离子束的会聚方向垂直的方向的射束宽度，以控制注入射束电流。可变孔隙(302)可以配置于紧接质量分析狭缝(22b)的后方。射束电流调整装置(300)也可以设置于具有高能量多段直线加速单元(14)的高能量离子注入装置(100)。

公开(公告)号：CN104541355A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201380041387.9

申请日：2013-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  许斐麻美 ,  河西晋佐 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/04 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 以往的带电粒子线装置均为专用于大气压下或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而被制造的装置，不存在能够使用通常的高真空型带电粒子显微镜而简便地进行大气压或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在以往的方法中，无法相对于载置于上述的氛围下的试样的相同的位置同时地进行基于带电粒子线与光的观察。因此，在本发明中，具备：将一次带电粒子线照射至试样的带电粒子光学镜筒、对带电粒子光学镜筒的内部进行抽真空的真空泵、配置为对载置有试样的空间与带电粒子光学镜筒进行隔离并供一次带电粒子线透射或者通过的能够装卸的隔膜、以及相对于隔膜以及试样配置于带电粒子光学镜筒的相反的一侧并在带电粒子光学镜筒的光轴的延长线上具有光轴的至少一部分的光学显微镜。

公开(公告)号：CN104538273A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201410799769.4

申请日：2014-12-19

Applicant: 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所

Inventor： 许海鹰 ,  左从进 ,  韩瑞清

IPC: H01J37/077 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/077 ,  H01J2237/06366

Abstract: 本发明提供了一种高电压冷阴极气体放电电子枪的电源装置及其控制方法，该电源装置包括：高压电源、高压采样电路、电离电源、电离电压采样电路、电压控制与调节电路、束流采样电阻和束流控制与调节电路。本发明技术方案将高压采样电路、电离电压采样电路和束流采样电阻的采样信号作为反馈量，与给定值进行比较，闭环控制高压电源、电离电源和气体流量控制器，使高压电源、电离电源和电子束流输出稳定。上述技术方案可以提高冷阴极气体放电电子枪的工作电压，获得长寿命新型电子束源。

公开(公告)号：CN104362064A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201410671576.0

申请日：2014-11-21

Applicant: 厦门福纳新材料科技有限公司

Inventor： 李新德 ,  朱常锋 ,  梁业明

IPC: H01J37/04

CPC classification number: H01J37/04

Abstract: 本发明涉及生产设备，尤其真空电弧放电的生产设备，具体是一种真空电弧放电的电极结构。本发明提出一种真空电弧放电的电极结构，包括一阴极组件和一阳极组件。该阴极组件包括有一阴极杆、一阴极板和一阴极放电极，该阳极组件包括有一阳极杆，其中，该阴极杆和该阳极杆平行间隔设置，该阴极板垂直地固定连接于该阴极杆的一端，该阴极放电极垂直地固定连接于该阴极板上，并且该阴极放电极的末端与该阳极杆的末端具有一间距，以及该阴极放电极与该阳极杆相互平行设置且之间具有一高度差。本发明用于真空电弧炉中，进行电极电弧放电。