-
51.发明公开
公开(公告)号：KR1020150146076A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140075944
申请日：2014-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/244 , G01N23/225 , H01J37/08 , H01J37/06
CPC classification number: H01J37/244 , G01N23/225 , H01J37/06 , H01J37/08
Abstract: 본발명은저탄소강재질의초고진공진공챔버및 외부전자기장에민감한초고진공하전입자빔분석장비관한것으로서, 보다상세하게는탄소함량이적은저탄소강(mild steels) 진공챔버를사용하여자기장을차폐하며, 동시에초고진공, 극고진공환경을유지시켜물질, 디바이스등의분석을수행할수 있는하전입자빔분석장비에관한것이다. 이를위하여중공의기둥형태로구성되고, 일측이개방되는용기; 및용기의개방된일측이밀폐될수 있도록결합되는커버;를포함하고, 용기의내부에는하전입자빔분석장치가수용되며, 용기는저탄소강재질로구성되고, 용기의내부는 1x10torr 이하의초고진공으로이용되는것을특징으로하는저탄소강재질의초고진공진공챔버를제공할수 있다. 이에따르면초고진공진공환경과자기차폐를동시에달성할수 있는저렴한가격의진공챔버를구현할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种由低碳钢材料制成的超高真空室和对外部电磁场敏感的超高真空带电粒子束分析工具。 更具体地说，通过使用碳含量低的低碳钢（软钢）真空室来屏蔽磁场。 同时，保持超高真空和极高的真空环境，因此可以对材料，装置等进行分析。 为此，超高真空室包括：形成为中空柱状的容器，具有一个敞开侧; 以及联接以密封容器的一个敞开侧的盖。 带电粒子束分析工具容纳在容器中，容器由低碳钢材料制成。 容器内部的超高真空度为1×10 ^（ - 7）乇或更低。 因此，可以同时实现超高真空环境和磁屏蔽，并且可以以廉价的成本获得真空室。
-
公开(公告)号：KR1020150143907A
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：KR1020140071894
申请日：2014-06-13
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 현미경의주사신호제어방법에관한것으로, 보다구체적으로는하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 하전입자빔의조사방향을제어하는스캔프로파일을생성하여상기편향기에제공하는주사파형발생기; 및상기편향기에서실제로출력되는전류파형을제어하는주사파형제어부;를포함하는하전입자빔 현미경의주사신호를생성하는방법으로서상기편향기로부터기인하는시료표면의왜곡된영상을개선할수 있는주사신호의제어방법및 이를이용한장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，更具体地，涉及一种用于控制能够改善由偏转器引起的样品表面上的失真图像的扫描信号的方法， 使用该方法，产生带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，其中所述带电粒子束显微镜包括：用于控制和改变带电粒子束的照射方向的至少一个偏转器; 扫描波形发生器，用于产生用于控制带电粒子束的照射方向并将其提供给偏转器的扫描轮廓; 以及扫描波形控制单元，用于控制实际从偏转器输出的电流波形。
-
公开(公告)号：KR101366781B1
公开(公告)日：2014-02-21
申请号：KR1020120127690
申请日：2012-11-12
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J49/147 , H01J49/067 , H01J49/16
Abstract: According to one embodiment of the present invention, an ion source includes an anode tube where a gas supplied through one side is ionized and discharged to the other side, and having a slit in an outer circumference, a filament discharging thermoelectrons to the slit by ionizing the gas, at least one hole through which the thermoelectrons passes and reduces the diffusion of the thermoelectrons supplied into the anode tube, and a diffusion barrier arranged between the slit and the filament.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，离子源包括阳极管，其中通过一侧供应的气体被电离并排放到另一侧，并且在外周具有狭缝，灯丝通过电离将热电子放电到狭缝 气体，至少一个通过热电子通过的孔，并减少供给到阳极管中的热电子的扩散，以及布置在狭缝和细丝之间的扩散阻挡层。
-
公开(公告)号：KR100996227B1
公开(公告)日：2010-11-23
申请号：KR1020080075397
申请日：2008-08-01
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01Q70/12
Abstract: 본 발명은 SPM 나노탐침 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 모체팁(mother tip)의 선단부에 나노니들을 부착한 형태의 SPM 나노탐침에 있어서, 상기 탐침은 입자빔 유도 증착(particle beam induced deposition)에 의해 나노니들의 선단부에 구형의 증착물이 형성되도록 한 구조를 포함하되, 상기 나노니들의 단면직경(x)과 상기 구형의 증착물의 직경(y)의 비 y/x가 1.5 내지 8.5 범위인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침에 관한 것으로, 본 발명의 SPM 나노탐침은 나노니들의 선단부에 형성되는 구형의 증착물의 직경 및 나노니들의 단면직경과 상기 구형의 증착물의 직경의 비를 임의적으로 조절하여 굴곡이 심한 표면 또는 패턴에서 표면, 바닥, 및 측벽의 형상 그리고 마찰력 및 접착력을 보다 안전하고 정밀하게 측정할 수 있다.
SPM 나노탐침, 나노니들, 증착물, 입자빔 유도증착-
公开(公告)号：KR100816088B1
公开(公告)日：2008-03-24
申请号：KR1020060130405
申请日：2006-12-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A scanning ion conductance microscope with a multipipet is provided to obtain a wide area of images at a time by detecting ion currents in barrels with the multipipet, thereby improving speed, resolution, and a signal to noise ratio. A scanning ion conductance microscope includes a pipet(1). The pipet detects change of ion current flowing through a pipet hole to convert into an image. A pair of pipets with pipet electrodes(12) constitute a multipipet. The ion currents flowing through the pipet holes of the multipipet are compared with each other to detect a sample. The scanning ion conductance microscope further includes a noise reference pipet(10). The noise reference pipet, installed at a flat part of the sample, measures the ion current of the flat part to detect noise, and extracts the noise included in the ion current detected by the multipipet.
Abstract translation: 提供具有多吸嘴的扫描离子电导显微镜，以通过检测与多管的桶中的离子电流来一次获得广谱图像，从而提高速度，分辨率和信噪比。 扫描离子电导显微镜包括移液管（1）。 移液管检测流过移液孔的离子电流的变化，以转换为图像。 具有移液管电极（12）的一对移液管构成多管。 将流过多吸嘴的移液孔的离子流彼此进行比较以检测样品。 扫描离子电导显微镜还包括噪声参考吸管（10）。 噪声参考吸管安装在样品的平坦部分，测量平面部分的离子电流以检测噪声，并提取由多吸嘴检测到的离子电流中包含的噪声。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020070052844A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：KR1020050110592
申请日：2005-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: B82B3/0061 , B01J19/081 , B82B3/0076 , B82Y15/00
Abstract: 본 발명은 입자빔(particle beam)을 이용한 나노 크기 물질(nanometer-scale material)의 변형 방법 및 그러한 방법을 이용하여 제조되는 나노 공구(nano-tool)에 관한 것이다. 본 발명에 따른 입자빔을 이용한 나노 크기 물질의 변형 방법은 나노 크기 물질에 입자빔을 조사하여 상기 나노 크기 물질을 상기 입자빔의 방향으로 휘게 하는 것을 특징으로 한다.
-
公开(公告)号：KR100679620B1
公开(公告)日：2007-02-06
申请号：KR1020050006561
申请日：2005-01-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 AFM(Atomic Force Microscope)의 나노튜브 탐침(nanotube-probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 나노튜브가 부착되는 탐침의 팁(tip)과 나노튜브 사이의 이종접합(heterojunction)에 의해 나노튜브가 탐침의 팁에 보다 견고하게 고착되고, 이종접합에 의해 탐침과 나노튜브 사이의 전도성을 개선 수 있으며, 기존의 나노튜브 탐침과는 달리 탐침의 팁에 부착되는 나노튜브에 불순물이 부착되는 것을 근원적으로 방지하여 기존의 나노튜브 탐침보다 우수한 스캐닝 영상을 얻을 수 있는, AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것이다. 본 발명에 따른 AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법은, 상기 나노튜브를 상기 탐침의 팁(tip)에 부착시키는 단계와, 상기 나노튜브가 부착된 상기 탐침을 금속 기판 위에 올려 놓는 단계와, 상기 탐침이 올려져 있는 상기 금속 기판에 레이저(laser)를 조사하여 상기 금속 기판을 가열하는 단계를 포함한다.
-
58.发明授权이온빔을 이용한 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해제조되는 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ 나노니들탐침 有权用于制造SPM纳米级探针的方法和使用离子束和SPM NANNEEDLE探针和CD-SPM纳米级探针的关键尺寸SPM纳米级探针的方法
公开(公告)号：KR100679619B1
公开(公告)日：2007-02-06
申请号：KR1020050036631
申请日：2005-05-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 이온빔, 특히 집속된 이온빔(focused ion beam)을 이용하여 SPM(scanning probe microscope)의 나노니들 탐침(nanoneedle probe)을 제조하는 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁(tip)에 부착되는 나노니들의 지향 방향을 용이하게 조절할 수 있고 탐침의 팁에 부착되는 나노니들을 지향 방향으로 용이하게 펼(straightening) 수 있는 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명은 또한 이온빔, 특히 집속된 이온빔을 이용하여 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침(critical dimension SPM nanoneedle probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁에 부착되는 나노니들 선단부의 일정 부분을 SPM 탐침의 팀에 부착되어 뻗어 나온 나노니들의 원래 방향과는 다른 임의의 방향으로 특정 각도만큼 휨으로써 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명에 따른 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁을 이온빔이 조사되는 방향으로 향하도록 위치시키는 단계와, 상기 나노니들이 부착된 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시키는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020060085743A
公开(公告)日：2006-07-28
申请号：KR1020050006561
申请日：2005-01-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 AFM(Atomic Force Microscope)의 나노튜브 탐침(nanotube-probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 나노튜브가 부착되는 탐침의 팁(tip)과 나노튜브 사이의 이종접합(heterojunction)에 의해 나노튜브가 탐침의 팁에 보다 견고하게 고착되고, 이종접합에 의해 탐침과 나노튜브 사이의 전도성을 개선 수 있으며, 기존의 나노튜브 탐침과는 달리 탐침의 팁에 부착되는 나노튜브에 불순물이 부착되는 것을 근원적으로 방지하여 기존의 나노튜브 탐침보다 우수한 스캐닝 영상을 얻을 수 있는, AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것이다. 본 발명에 따른 AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법은, 상기 나노튜브를 상기 탐침의 팁(tip)에 부착시키는 단계와, 상기 나노튜브가 부착된 상기 탐침을 금속 기판 위에 올려 놓는 단계와, 상기 탐침이 올려져 있는 상기 금속 기판에 레이저(laser)를 조사하여 상기 금속 기판을 가열하는 단계를 포함한다.
-
公开(公告)号：KR101734225B1
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020160150962
申请日：2016-11-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01T1/20 , H01J37/22
Abstract: 본발명은 STEM 영상관찰을위해검출감도와신호대 잡음비가뛰어난복수개의고리형형광검출기(scintillation detector)를이용하여산란여부및 회절각분포에따른영상을고해상도로빠르게획득할수 있는형광검출기에관한것으로, 명시야영상과암시야영상을분리관찰하고전자검출에의해발생된광신호의색상을달리하여광 가이드를통해혼합광을전송한뒤 광분리부로분리하는것이가능하여분해능을높일수 있다. 또한, 후방산란전자영상검출기를좌우대칭또는사방대칭형의형광검출기로하여 3차원영상을획득할수 있는검출기및 이러한검출기능을가지는전자현미경을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种可以使用的检测灵敏度和信号 - 噪声荧光检测器比是优异的多个环形荧光检测器（闪烁检测器），用于观察STEM图像获得迅速根据散射的图像，并确定是否在高分辨率的衍射角分布， 者可以增强视野图像和暗视场观察到分开的图像，并且可以被分离成背面光分离通过改变所造成的电子检测分辨率光学电弧颜色透射穿过光导的混合光。 它还提供了一种具有检测器和这样的检测功能，其可以通过背散射电子图像检测器与四通对称或对称的荧光检测器获得的三维图像的电子显微镜。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
71
records
(took 0.027 seconds)
