通孔填充方法
    61.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1202697C

    公开(公告)日:2005-05-18

    申请号:CN00133889.7

    申请日:2000-11-09

    CPC classification number: C25D3/38 C23C18/38 H05K3/423 H05K2201/09563

    Abstract: 本发明提供一种操作简单并且高效地进行通孔填充的方法,其特征在于,在对具有盲通孔的基板进行导电化处理之后,使用含有下述成分(A)~(E)的酸性铜镀浴进行电镀:(A)100~300g/L的硫酸铜;(B)30~150g/L的硫酸;(C)10~1000mg/L从聚乙二醇、聚丙二醇、普路罗尼克型表面活性剂等中选择的第一成分(聚合物成分);(D)0.1~20mg/L从磺烷基磺酸钠、双磺基有机化合物等中选择的第二成分(载体成分);(E)0.05~10mg/L从聚亚烷基亚胺、1-羟乙基-2-烷基氯化咪唑啉、金胺及其衍生物等中选择的第三成分(均化剂成分)。

    通孔填充方法
    70.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1296375A

    公开(公告)日:2001-05-23

    申请号:CN00133889.7

    申请日:2000-11-09

    CPC classification number: C25D3/38 C23C18/38 H05K3/423 H05K2201/09563

    Abstract: 本发明提供一种操作简单并且高效地进行通孔填充的方法,其特征在于,在对具有盲通孔的基板进行导电化处理之后,使用含有下述成分(A)~(E)的酸性铜镀浴进行电镀;(A)100~300g/L的硫酸铜;(B)30~150g/L的硫酸;(C)10~1000mg/L从聚乙二醇、聚丙二醇、普路罗尼克型表面活性剂等中选择的第一成分(聚合物成分);(D)0.1~20mg/L从磺烷基磺酸钠、双磺基有机化合物等中选择的第二成分(载体成分):(E)0.05~10mg/L从聚亚烷基亚胺、1-羟乙基-2-烷基氯化咪唑啉、金胺及其衍生物等中选择的第三成分(均化剂成分)。

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