Strahlung emittierender Halbleiterchip

    公开(公告)号:DE102007063957B3

    公开(公告)日:2022-10-27

    申请号:DE102007063957

    申请日:2007-12-14

    Abstract: Strahlung emittierender Halbleiterchip (1) mit- einer aktiven Zone (2) zur Erzeugung von Strahlung der Wellenlänge λ,- einem strukturierten Bereich (3) mit unregelmäßig angeordneten Strukturelementen, die ein erstes Material mit einem ersten Brechungsindex n1enthalten und die von einem Medium umgeben sind, das ein zweites Material mit einem zweiten Brechungsindex n2aufweist, wobei- die Dicke einer Zwischenschicht, welche die Strukturelemente und das Medium aufweist, einer maximalen Höhe der Strukturelemente entspricht, wobei für einen effektiven Brechungsindex neff der Zwischenschicht n2

    METHOD FOR PATTERNING A SEQUENCE OF LAYERS AND SEMICONDUCTOR LASER DEVICE
    9.
    发明申请
    METHOD FOR PATTERNING A SEQUENCE OF LAYERS AND SEMICONDUCTOR LASER DEVICE 审中-公开
    方法构建以层序以及半导体激光器件

    公开(公告)号:WO2016062477A2

    公开(公告)日:2016-04-28

    申请号:PCT/EP2015071610

    申请日:2015-09-21

    CPC classification number: H01S5/2081 H01L21/76232 H01S5/0224 H01S5/22

    Abstract: The invention relates to a method for patterning a sequence of layers and to a semiconductor laser device. In said method, at least one trench (4) is created in the sequence of layers (10) by two plasma etching methods. The semiconductor laser device comprises a sequence of layers (10), which is formed using a semiconductor material, and two trenches (4) in the sequence of layers (10), said trenches laterally delimiting a ridge waveguide (30). Each of the trenches (4) is delimited on the side facing away from the ridge waveguide (30) by a region (A) of the sequence of layers (10).

    Abstract translation: 提供了用于构建的层序列以及一个半导体激光装置的方法。 在该方法中,生成由两个等离子蚀刻至少层序列(10)中的沟槽(4)中进行。 该半导体激光装置包括一系列的层(10)的其与半导体材料形成,并且该层序列中的两个槽(4)(10)限定了脊形波导(30)横向地,每个所述沟槽(4)在其面向所述 是从一个区域背对限制脊形波导(30)侧的(a)层序列(10)的。

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