丝网印刷装置和丝网印刷方法

    公开(公告)号:CN103260881B

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN201180061059.6

    申请日:2011-10-17

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种丝网印刷装置和丝网印刷方法,从而使得在水平地移动成像单元的构造中,基板定位精度的品质在继续生产过程中能够得到方便确认,所述成像单元具有用于使基板和掩膜板作为成像对象成像的两个成像光轴。在执行目的是对于基板和掩膜定位的基准标记的位置检测的标记成像步骤之前,检测在水平方向上成像光轴之间的相对位置的光轴校准处理步骤和检测由成像单元的移动所引起的成像光轴的局部位置重合不良的表面校正数据准备处理步骤被执行,并且开始生产之前使用检验基板和掩膜的用于评估基板定位精度的生产前精度评估步骤和开始生产之后使用实际生产基板和掩膜的用于评估基板定位精度的生产后精度评估步骤被执行。

    丝网印刷装置和丝网印刷方法

    公开(公告)号:CN103260882A

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201180061072.1

    申请日:2011-10-17

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种丝网印刷装置和丝网印刷方法,从而使得在水平地移动成像单元的构造中,基板定位精度的品质在开始生产前的抽样检查中以及在继续生产过程中能够得到方便地确认,所述成像单元具有用于使基板和掩膜板作为成像对象成像的两个成像光轴。在执行目的是对于基板和掩膜定位的基准标记的位置检测的标记成像步骤之前,检测在水平方向上成像光轴之间的相对位置的光轴校准处理步骤和检测由成像单元的移动所引起的成像光轴的局部位置重合不良的表面校正数据准备处理步骤被执行,并且开始生产之前使用检验基板和掩膜的用于评估基板定位精度的生产前精度评估步骤和开始生产之后使用实际生产基板和掩膜的评估基板定位精度的生产后精度评估步骤被执行。

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