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公开(公告)号：CN114103016B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202110884627.8
申请日：2021-08-03
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法在不会导致成形模的大型化或不需要的树脂的大型化的情况下，可靠地进行树脂成形品与不需要的树脂的分离，且树脂成形装置包括：上模，形成有模腔；下模，与上模相向，且设置有向模腔注入树脂材料的树脂注入部；以及合模机构，将上模与下模合模，树脂注入部包括：槽块，形成有收容树脂材料的槽，设置成能够经由弹性构件相对于下模进退，包括在下模的模面上伸出的伸出部；以及传递机构，包括设置于槽内的柱塞，在上模与下模合模的状态下使柱塞移动而从槽向模腔注入树脂材料，在合模机构将上模与下模开模的开模动作中，传递机构使柱塞向上模移动而将下模的模面上的树脂成形品与槽块上的不需要的树脂分离。
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公开(公告)号：CN113330140B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201980089119.1
申请日：2019-11-26
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种成膜品的制造方法及溅射装置，可抑制形成于工件的薄膜的不均的产生。本发明包括：工件保持步骤，以能够以第一旋转轴(20)为中心而公转，且能够以第二旋转轴(60)为中心而自转的方式保持工件(W)，所述第二旋转轴(60)相对于靶材(6)倾斜；以及成膜步骤，一面进行以所述第一旋转轴为中心的公转及以所述第二旋转轴为中心的自转，一面利用所述靶材(6)，对所述工件(W)进行成膜。
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公开(公告)号：CN117897811A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202280059433.7
申请日：2022-06-14
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L23/50
Abstract: 引线框架(1)的背面(1b)具有受到在第一扫描工序时扫描的激光光(L2)与在第二扫描工序时扫描的激光光(L3)两者照射的、重复照射区域(1c)，通过切断工序所形成的单位树脂成形品(12)具有以重叠于引线框架(1)的重复照射区域(1c)的方式所处的角部(12t)，重复照射区域(1c)在自背面(1b)侧经激光光(L2)照射时，抑制激光光(L2)到达位于引线框架(1)的表面(1a)之侧的树脂材料(9)中的、位于与角部(12t)对应的位置的树脂材料(9)的部分。
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公开(公告)号：CN117678055A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202280047979.0
申请日：2022-03-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/683 , H01L21/68 , B24B49/12 , B24B41/06 , B24B27/00
Abstract: 本发明不需要使加工台移动的移动机构，并且将经单片化的加工对象物收容于筒状容器，包括：加工台，保持加工对象物；第一保持机构，为了将所述加工对象物搬送至所述加工台而保持所述加工对象物；加工机构，将保持于所述加工台的所述加工对象物切断而单片化；移载台，移动通过所述加工机构而单片化的所述加工对象物；第二保持机构，为了将所述经单片化的所述加工对象物自所述加工台搬送至所述移载台而保持所述经单片化的所述加工对象物；搬送用移动机构，具有沿着所述加工台及所述移载台的排列方向延伸且用以使所述第一保持机构及所述第二保持机构移动的共用的传递轴；加工用移动机构，使所述加工机构在水平面上在沿着所述传递轴的第一方向及与所述第一方向正交的第二方向上分别移动；容器设置部，用来设置自一端开口部收容所述经单片化的所述加工对象物的筒状容器；以及搬送收容机构，将所述经单片化的所述加工对象物自所述移载台搬送至设置于所述容器设置部上的所述筒状容器来收容。
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公开(公告)号：CN117677468A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202280051271.2
申请日：2022-06-03
Applicant: 东和株式会社
Inventor： 坂本真二
IPC: B24B53/00 , H01L21/301 , B24B53/12 , B24B49/12 , B24B27/06
Abstract: 切断装置构成为通过刀片对切断对象物进行切断。切断装置包括摄像部和控制部。摄像部构成为与修整板相对移动的同时对所述修整板的一部分的区域进行拍摄。控制部构成为：控制摄像部对修整板的多个第一区域依次进行拍摄，并且基于通过摄像部得到的拍摄结果，对在多个第一区域中的每个第一区域中有无切割线进行判定。多个第一区域中彼此相邻的两个第一区域隔着第二区域而彼此分开。控制部基于在多个第一区域中的每个第一区域中有无切割线来确定是否需要对在第二区域中有无切割线进行判定。
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公开(公告)号：CN112750723B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202011137537.4
申请日：2020-10-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/78
Abstract: 本发明提供一种清洗模块、切割装置以及切割品的制造方法，即使在切割品的尺寸小的情况下也能够提高清洗效率。包括：容器(21)，收纳封装基板被切割而形成的多个切割品(Sa)；旋转机构(22)，使容器(21)旋转；供液机构(23)，向容器器(21)内的清洗液，多个切割品(Sa)在浸渍于清洗液的状态下，在通过旋转机构(22)旋转的容器(21)内被清洗。(21)内供给清洗液；以及排液机构(24)，排出容
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公开(公告)号：CN117316808A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202310653639.9
申请日：2023-06-02
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L33/00 , H01L23/12
Abstract: 本发明提供一种能够改善已成形基板的加热效率且降低已成形基板破损的可能性的翘曲矫正装置。翘曲矫正装置具备收容部、加热部、冷却部以及搬送机构。收容部收容已成形基板。加热部对已成形基板进行加热。冷却部在对已成形基板加压的状态下对已成形基板进行冷却。搬送机构将从收容部提供的已成形基板向加热部搬送，将由加热部加热的已成形基板向冷却部搬送。加热部在形成于加热部的内部空间配置有已成形基板的状态下对已成形基板进行加热。
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