박리 기법을 이용한 그래핀 패턴 형성 방법 및 그 장치

    公开(公告)号:WO2012157894A3

    公开(公告)日:2012-11-22

    申请号:PCT/KR2012/003687

    申请日:2012-05-10

    Abstract: 본 발명은 고분자 스템프를 이용하는 박리 기법을 이용하여 목표로 하는 임의의 패턴을 갖는 그래핀 패턴을 형성하는데 적합한 박리 기법을 이용한 그래핀 패턴 형성 기법에 관한 것이다. 본 발명은 고분자 스템프를 이용하여 기판 상에 형성된 그래핀층의 일부를 물리적으로 선택 박리시킴으로써, 기판 상에 균일한 선폭을 갖는 원하는 형태의 그래핀 패턴을 간단하고 손쉽게 제작할 수 있으며, 또한 회전체 스템프를 이용하는 롤투롤 방식 또는 대면적 스템프를 이용하는 방식으로 기판 상에 형성된 그래핀층의 일부를 물리적으로 선택 박리시킴으로써, 대면적의 기판 상에 균일한 선폭을 갖는 원하는 형태의 그래핀 패턴을 간단하고 손쉽게 제작할 수 있다.

    황화 니켈 박막의 제조 방법
    18.
    发明申请
    황화 니켈 박막의 제조 방법 审中-公开
    制造镍硫化物薄膜的方法

    公开(公告)号:WO2014178686A1

    公开(公告)日:2014-11-06

    申请号:PCT/KR2014/003959

    申请日:2014-05-02

    Abstract: 본 발명은 a) 증착 챔버 내로 기판을 도입하는 단계; b) 상기 기판 상에 원자층 증착법으로 화학식 1로 표시되는 니켈 전구체를 흡착하는 단계; c) 상기 흡착된 니켈 전구체를 제외한 나머지 부산물을 제거하는 단계; d) 상기 증착 챔버 내로 황 원을 유입시켜, 상기 기판에 흡착된 상기 니켈전구체와 교환 반응시켜 상기 기판 상에 황화 니켈 박막을 형성하는 단계; 및 e) 상기 황화 니켈 박막을 제외한 나머지 부산물을 제거하는 단계;를 포함하는 원자층 증착법을 이용한 황화 니켈 박막의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition)을 이용한 황화 니켈 박막의 제조 방법에 의하여 황화 니켈 박막을 제조하는 경우, 금속층 두께의 조절이 용이하면서도 균일한 금속층을 형성하고, 기판 상에 금속층을 형성하는 온도를 상대적으로 낮출 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及使用原子层沉积方法制造硫化镍薄膜的方法,包括以下步骤:a)将衬底装载到沉积室中; b)通过原子层沉积法在基板上吸收由化学式1表示的镍前体; c)除去吸附在基材上的镍前体除去副产物; d)将硫源引入沉积室,并使硫源与吸收在衬底上的镍前体进行交换反应,以在衬底上形成硫化镍薄膜; 和e)除去除了硫化镍薄膜之外的副产物。 在利用本发明的原子层沉积方法制造硫化镍薄膜的方法制造硫化镍薄膜的情况下,可以形成均匀的金属层,其厚度可以容易地调整 并且相对降低在基板上形成金属层的温度。

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