公开(公告)号：NL2006913A

公开(公告)日：2012-01-17

申请号：NL2006913

申请日：2011-06-09

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LAURENT THIBAULT ,  KUNNEN JOHAN ,  BADIE RAMIN ,  KUSTERS GERARDUS ,  KNARREN BASTIAAN ,  LAFARRE RAYMOND ,  STEFFENS KOEN ,  KANEKO TAKESHI ,  VOOGD ROBBERT JAN ,  CORCORAN GREGORY ,  BLOKS RUUD

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2006054A

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：NL2006054

申请日：2011-01-24

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： RIEPEN MICHEL ,  ROPS CORNELIUS ,  VERDONCK ADRIANUS MARINUS ,  EUMMELEN ERIK ,  GRAAF SANDRA ,  CORTIE ROGIER HENDRIKUS MAGDALENA ,  KANEKO TAKESHI ,  DZIOMKINA NINA ,  BOKHOVEN LAURENTIUS ,  EVANGELISTA FABRIZIO ,  BESSEMS DAVID

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2005610A

公开(公告)日：2011-06-06

申请号：NL2005610

申请日：2010-11-02

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KANEKO TAKESHI ,  HOEKERD KORNELIS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2005322A

公开(公告)日：2011-03-14

申请号：NL2005322

申请日：2010-09-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KANEKO TAKESHI ,  EUMMELEN ERIK ,  DZIOMKINA NINA ,  KRUIZINGA MATTHIAS

IPC: G03F7/20