公开(公告)号：CN106683965A

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201710118305.6

申请日：2017-03-01

Applicant: 中国科学院近代物理研究所

Inventor： 杨雅清

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明涉及重离子加速器技术领域，尤其是涉及一种用于冷却储存环中带电粒子注入引出的静电偏转板。其特点是包括真空室，所述的真空室外部设置有真空传动机构、补偿电极连接部件和高压输入部件，所述的真空室内对应设置有阳极架和高压电极，阳极架通过过渡连接固定在真空传动机构上，阳极架上设置有切割板和测量杆，高压电极通过螺钉固定在第一电极支撑和第二电极支撑上，第三支撑螺栓通过螺钉固定在绝缘支撑件上，绝缘支撑件与真空传动机构的传动轴相连。其结构合理，加工简单，成品率高，方便拆换，备件成本低；有效提高传输效率，实现了高压电极与切割板位置在平面内垂直于束流方向的调节，确保了传动过程具有较高的移动重复精度和直线位移精度。

公开(公告)号：CN104285272B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280070267.7

申请日：2012-12-19

Applicant: 安特卫普大学

Inventor： J·费尔贝克 ,  G·范腾德罗

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/04 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/101 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/24557 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/2614

Abstract: 一种用于向沿带电粒子束发生装置中的轴(105)传播的带电粒子波施加轨道角动量的设备(100)，所述设备包括：包括绕所述轴(105)安排的多个在角度上间隔开的多个电导体(112)的第一导电元件(110)；第二导电元件(120)，其中所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)沿所述轴(105)的方向间隔开，并且其中所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)适于透射沿所述轴(105)传播的带电粒子波；以及用于在所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)上提供电势差的连接装置(130)。所述连接装置(130)适于向所述多个在角度上间隔开的电导体(112)提供电势，以在所述带电粒子波沿所述轴(105)传送时感应出所述带电粒子波的相位的角梯度，其中所述电势沿所述轴(105)的投影根据相对于所述轴(105)的角位置而变化。

公开(公告)号：CN103140010B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201210597226.5

申请日：2012-11-30

Applicant: FEI公司

Inventor： S·科洛格 ,  A·格劳佩拉 ,  N·W·帕克 ,  A·B·维尔斯 ,  M·W·尤特劳特 ,  W·斯科茨拉斯 ,  G·A·施温德 ,  S·张 ,  N·史密斯

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H01J37/32605 ,  H01J9/02 ,  H01J27/16 ,  H01J37/04 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/032

Abstract: 本发明涉及用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统。一种用于聚焦离子束系统的感应耦合等离子体带电粒子源包括具有可移除地附连的源电极的等离子体反应室。紧固机构将所述源电极与等离子体反应室连接并且允许形成热传导的真空密封。利用可移除的源电极，等离子体源管的改进的可服务性和重新使用现在是可能的。

公开(公告)号：CN103733299B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201280039396.X

申请日：2012-05-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 森下英郎 ,  大岛卓 ,  波田野道夫 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2444 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2806

Abstract: 本发明提供一种扫描电子显微镜，为了提供即便是低探针电流也能辨别检测反射电子和二次电子的低加速的扫描电子显微镜而具备：电子枪(29)、光阑(26)、样品台(3)、用于将电子束(31)会聚于样品(2)上的电子光学系统(4-1)、偏转部件(10)、二次电子检测器(8)、反射电子检测器(9)、和处于电子枪(29)与样品(2)之间的位置处的筒状的电子输送部件(5)，反射电子检测器(9)设置在电子输送部件(5)的内部、且与二次电子检测器(8)以及偏转部件(10)相比更靠电子枪(29)的远方侧，反射电子检测器(9)的感受面(9-1)在电气上被布线成与电子输送部件(5)相同电位。

公开(公告)号：CN103201820B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201180016818.7

申请日：2011-03-16

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 奈尔·卡尔文 ,  张锦程

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756

Abstract: 提供一种用于减小离子注入系统（100）中的颗粒污染的方法和系统，其中离子注入系统具有源（120）、质量分析器（136）、解析孔（138）、减速抑制板（146）以及终端站（106）。通过离子源形成离子束（114），而工件（110）在外部环境和用于离子注入的终端站之间转移。在转移工件的同时，调制施加到减速抑制板的减速抑制电压（148），使离子束扩张和收缩，其中解析孔的一个或更多表面及/或在解析孔下游的一个或更多部件受到离子束的冲击，其中减小由于之前沉积的物质残留在所述一个或更多表面上而造成的以后对工件的污染。通过移除之前沉积的物质或者将之前沉积的物质有力地附着到所述一个或更多表面，能够减轻污染。

公开(公告)号：CN102686276B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201080060087.1

申请日：2010-03-31

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 岩田高明

IPC: A61N5/10

CPC classification number: H01J37/147 ,  A61N5/10 ,  A61N5/1043 ,  A61N5/1048 ,  A61N5/1077 ,  A61N2005/1087 ,  G06N3/02 ,  G21H5/00 ,  G21K1/093 ,  G21K5/04 ,  H01J37/04 ,  H01J2237/0473

Abstract: 本发明的目的在于获得消除扫描电磁铁的磁滞影响、且在光栅扫描、混合扫描中实现高精度射束照射的粒子射线照射装置。包括：扫描电源(4)，该扫描电源(4)输出扫描电磁铁(3)的励磁电流；以及照射控制装置(5)，该照射控制装置(5)控制扫描电源(4)，照射控制装置(5)包括扫描电磁铁指令值学习生成器(37)，该扫描电磁铁指令值学习生成器(37)对预扫描的结果进行评价，在评价的结果不满足规定的条件的情况下，更新励磁电流的指令值(Ik)，来执行预扫描，将评价的结果满足规定的条件的励磁电流的指令值(Ik)输出到扫描电源(4)，该预扫描是基于由扫描电源(4)输出的励磁电流的指令值(Ik)的、一系列的照射动作。

公开(公告)号：CN104364878A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380030519.8

申请日：2013-05-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大西崇 ,  渡边俊一 ,  金田实

IPC: H01J37/248 ,  H01J37/067 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J27/024 ,  H01J29/485 ,  H01J37/026 ,  H01J37/067 ,  H01J37/073 ,  H01J37/16 ,  H01J37/241 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/16

Abstract: 本发明的带电粒子束产生装置具备：带电粒子源；沿着来自带电粒子源的带电粒子的照射方向配置的多个第一电极；配置在第一电极之间的多个绝缘部件；以及设置在多个第一电极周围的壳体。壳体由绝缘性的固体材料形成，壳体具备配置在接近多个第一电极的位置上的多个第二电极。多个第二电极中的至少一个第二电极与多个第一电极中的至少一个第一电极电连接，多个第二电极中的各个第二电极成为与接近的第一电极的电位相同的电位。

公开(公告)号：CN104303256A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201280070115.7

申请日：2012-12-19

Applicant: 安特卫普大学

Inventor： J·费尔贝克 ,  G·范腾德罗

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J3/02 ,  H01J3/021 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/256 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/06383 ,  H01J2237/2614

Abstract: 描述了用于将轨道角动量施加到沿着带电粒子束发生装置中的波束轴(104)传播的带电粒子波的设备(100)。该设备包括：支撑元件(106)，该支撑元件具有适配于透射沿着波束轴(104)传播的带电离子波的目标区域(108)；以及，感应装置(112)，该感应装置用于沿着具有位于所述目标区域(108)的自由端部分的细长轮廓感应磁通，并且该感应装置(112)适配于在所述细长轮廓中提供磁通，以便感应带电离子波在透射经过所述目标区域(108)时的相位相对于波束轴的角梯度。还公开了相应的方法以及其在电子显微术中的使用。

公开(公告)号：CN102810441A

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201110146810.4

申请日：2011-06-01

Applicant: 岛津分析技术研发(上海)有限公司

Inventor： 穆辉 ,  蒋公羽 ,  丁力 ,  李建良 ,  孙文剑

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H05K3/107 ,  B05D3/002 ,  B05D5/12 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/046 ,  C23C14/34 ,  C23C18/1806 ,  H01J37/04 ,  H01J49/063 ,  H01J49/421 ,  H05K1/119 ,  H05K3/0014 ,  H05K3/14

Abstract: 本发明提出一种离子光学器件的制备方法，其使用适于磨削加工工艺的硬质材料制作一个基底，该基底至少包含一个平面表面，并包含至少一层绝缘材料。接着，在平面表面上切割出一个或多个直线形沟槽，以在被直线形沟槽分离的平面表面形成多个分立的离子光学电极区域。然后，在平面表面以外的其他基底表面及基底内部导通孔内制作金属引线，以提供各离子光学电极上所需要的电压。使用硬度高的材料配合高精度的机械加工，可以获得较高的精度以及期望的分立电极轮廓。

公开(公告)号：CN102668013A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201080052970.6

申请日：2010-11-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 岩谷彻 ,  高堀荣 ,  大泷智久 ,  波多野治彦

IPC: H01J37/143 ,  H01J37/04 ,  H01J37/141 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/143 ,  H01J37/04 ,  H01J37/141 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。