带电粒子装置
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104350575A

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201380027656.6

    申请日:2013-04-22

    CPC classification number: H01J37/10 H01J37/09 H01J37/18 H01J37/26 H01J2237/103

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种通过有效地配置差动排气节流阀(111)与物侧限制光阑(110),从而保持照射电流的较大的动态范围并且具有高差动排气能力的带电粒子装置。本发明的特征在于,带电粒子束装置(100)的在内部具有光学系统的镜筒具有第1真空度的第1空间(106)以及比第1真空度更高真空度的第2空间(105),物侧限制光阑(110)配置于第2空间(105)。

    对带电粒子设备中的样品成像的方法

    公开(公告)号:CN104241066A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410245642.8

    申请日:2014-06-05

    Applicant: FEI公司

    Abstract: 本发明公开了一种对带电粒子设备中的样品成像的方法。本发明涉及配备有离子束柱(102)和电子束柱(101)的双束设备,电子束柱包含静电浸没透镜(116)。当倾斜样品(104)时,静电浸没场失真并且失去绕电子光轴的对称。结果倾斜引入有害影响,诸如横向色像差和束位移。另外在样品的非倾斜位置中检测二次电子或后向散射电子的柱内检测器(141)将在当倾斜样品时归因于失去浸没场对称而表现出这些电子的混合。本发明示出如何通过关于最靠近样品的接地电极对平台进行偏置来消除或至少减少这些缺点。

    带电粒子装置
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103597571B

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201280027699.X

    申请日:2012-05-31

    Abstract: 本发明提供一种带电粒子装置,其具有筒形的镜筒(10)、设于该镜筒内部的带电粒子线光学系统、设于该镜筒的试料台(103)、以及支承所述镜筒的支承装置(211、212)。所述支承装置具有在沿所述镜筒的轴线方向设定的多个支承点对所述镜筒进行简支的简支构造,所述镜筒的支承点被设定在如下位置:将所述镜筒视为两端为自由端的梁时的、与梁的振动的波节的位置对应的位置。由此,能够不增加镜筒自身的重量,使镜筒高刚性化,使作用于镜筒的振动降低。

    电子束描绘装置以及电子束描绘方法

    公开(公告)号:CN103257529A

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201310051135.6

    申请日:2013-02-16

    CPC classification number: H01J37/3007 H01J37/09 H01J2237/12 H01J2237/31776

    Abstract: 本发明涉及电子束描绘装置以及电子束描绘方法。电子束描绘装置(100)具备承载试样(216)的XY工作台(105)、配置有射出电子束(200)的电子枪(201)和具备在电子束(200)的轴向上排列的电极的电磁透镜(202、204、207、210)的电子镜筒(102)。在XY工作台(105)与电子镜筒(102)之间,设有遮挡电子束(200)向试样(216)照射而产生的反射电子或者2次电子的屏蔽板(211)。在屏蔽板(211)的正上方,配置有改变电子束(200)的焦点位置的静电透镜(210),对静电透镜(210)始终从电压供给单元(135)施加负的电压。

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