公开(公告)号：CN111341634A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201911308786.2

申请日：2019-12-18

Applicant: ICT集成电路测试股份有限公司

Inventor： 温克勒·迪特尔 ,  杰辛斯基·托马斯

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/15

Abstract: 一种带电粒子束装置，所述带电粒子束装置包括：带电粒子源，所述带电粒子源被配置为发射带电粒子束；可移动台，所述可移动台包括具有至少第一孔径阵列和第二孔径阵列的孔径阵列组件，所述可移动台被配置为使所述孔径阵列组件与所述带电粒子束对准，并且至少一个孔径阵列包括屏蔽管，所述屏蔽管耦接到所述可移动台。

公开(公告)号：CN108463869B

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201680078107.5

申请日：2016-01-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 薮修平

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/21

Abstract: 本发明的目的在于在改变了光学条件的情况下也抑制光轴偏移，在本发明的一个实施方式中，具有：带电粒子源(1)，其释放出照射到样本(14)的带电粒子束(4)；聚焦透镜系统，其包括至少一个将带电粒子束(4)以预定的缩小率聚焦的聚焦透镜(7、8)；偏转器(5、6)，其位于上述聚焦透镜系统中最下游的聚焦透镜(8)与带电粒子源(1)之间，使带电粒子源(1)的虚拟位置移动；以及控制单元(20、21、22)，其控制偏转器(5、6)以及上述聚焦透镜系统，控制单元(20、21、22)控制偏转器(5、6)使带电粒子源(1)的虚拟位置移动到抑制由上述聚焦透镜系统的缩小率的变化引起的、上述聚焦透镜系统的下游的带电粒子束(4)的中心轨道的偏移的位置(36)。

公开(公告)号：CN109920713A

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201910179100.8

申请日：2019-03-08

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 张明亮 ,  杨富华 ,  李兆峰 ,  王晓东

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/09 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 一种无掩膜按需掺杂的离子注入设备及方法，离子注入设备包括离子注入室，其包括离子源；离子引出组件；单离子释放组件，包括单离子束结构、离子阱和束线挡板；单离子检测组件，包括纳米孔光阑和单离子探测器；以及注入定位组件，包括样品台和成像单元，其中：离子源电离产生的离子由离子引出组件导出，经单离子束结构形成微束，然后通过离子阱选定待注入离子并进行逐个释放，形成单离子束；单离子束通过纳米孔光阑后注入样品，根据单离子探测器对离子数量的检测来控制束线挡板；样品台上固定带特征定位标记的样品，对样品台进行移动时，成像单元对特征定位标记进行成像定位，而使纳米孔光阑对准待注入位置，实现注入离子数量和位置的精确控制。

公开(公告)号：CN105206491B

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201510495691.1

申请日：2015-05-29

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D·蔡德勒 ,  T·凯门 ,  C·里德塞尔 ,  R·伦克

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 一种粒子束系统，包括粒子源；具有下游形成粒子束的多个开口(353)的第一多孔板(351)；具有由粒子束穿透的多个开口(361)的第二多孔板(359)；具有由还穿透第一和第二多孔板的开口的全部粒子穿透的开口(365)的孔板(363)；具有由粒子束穿透的多个开口(357)并且具有针对束分别提供偶极场或四极场的多个场发生器(372)的第三多孔板(355)；以及将电势馈送至多孔板和孔板的控制器(369)，从而第二多孔板中的第二开口分别作为透镜作用在粒子束(3)上并将可调节激励馈送至场发生器。

公开(公告)号：CN107094371A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201580067666.1

申请日：2015-12-28

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 伯·范德伯格 ,  爱德华·艾伊斯勒

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1475 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31701

Abstract: 离子注入系统(110)使用质量分析器(126)来进行质量分析和角度校正。离子源沿束路径产生离子束(124)。质量分析器放置在离子源的下游，所述质量分析器对离子束执行质量分析和角度校正。位于孔径组件(133)内的分辨孔径(134)位于质量分析器部件的下游并位于束路径上。分辨孔径具有根据所选择的质量分辨率以及离子束的束包络的尺寸和形状。角度测量系统(156)位于分辨孔径的下游并获得离子束的入射角值。控制系统(154)根据来自角度测量系统的离子束的入射角值导出针对质量分析器的磁场调整。

公开(公告)号：CN107026065A

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201610705341.8

申请日：2016-08-23

Applicant: FEI 公司

Inventor： B.塞达 ,  L.图马 ,  A.亨斯特拉

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/09

Abstract: 本发明涉及具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜。一种产生用于在带电粒子显微镜中使用的带电粒子的经校正射束的方法，包括以下步骤：– 提供带电粒子的非单能输入射束；– 将所述输入射束传递经过光学模块，所述光学模块包括以下的串联布置：·像散矫正器，从而产生具有特定单能线聚焦方向的经像散补偿、能量色散的中间射束；·射束选择器，包括狭缝，所述狭缝被旋转取向以便将狭缝的方向与所述线聚焦方向匹配，从而产生包括所述中间射束的能量辨别部分的输出射束。

公开(公告)号：CN103620693B

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：CN201280028667.1

申请日：2012-04-26

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： M·J-J·威兰 ,  A·H·V·范费恩 ,  S·W·H·K·施藤布里克 ,  A·范邓布罗姆

IPC: G21K1/087 ,  H01J37/317 ,  G03F7/20 ,  H01J29/46 ,  H01J37/09

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子系统，例如，多束光刻系统，该带电粒子系统包括用于操纵一条或多条带电粒子束的操纵器装置，其中，操纵器装置在平面基板的平面中包括至少一个通孔，用于使至少一条带电粒子束从中穿过。每个通孔都被设置有电极，所述电极按照沿着所述通孔的周边的第一部分的第一组多个第一电极和沿着所述周边的第二部分的第二组多个第一电极布置。电子控制电路被布置用于根据沿着通孔的周边的第一和第二电极的位置向这些电极提供电压差。

公开(公告)号：CN103198994B

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201310083609.5

申请日：2013-03-17

Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

Inventor： 牛牧童 ,  吴东昌 ,  张锦平 ,  黄凯 ,  张燚 ,  董晓鸣 ,  曾雄辉 ,  徐科

IPC: H01J37/09

Abstract: 本发明提供了透射电子显微镜物镜光阑，包括光阑板、与光阑板连接的螺纹杆，以及和螺纹杆连接的手柄，所述物镜光阑沿着光阑板的轴线具有一系列C形开孔。本发明的优点在于：光阑C形开孔中心的挡板可以阻挡透射电子束参与透射电镜高分辨成像，提高图像的信噪比和分辨率，且光阑板上设置了一系列不同尺寸规格的C型光阑开孔，通过选择规格合适的光阑开孔，可对参与高分辨成像的衍射电子束信号进行筛选，优化图像。

公开(公告)号：CN105531793A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201480047309.4

申请日：2014-05-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 松本弘昭 ,  佐藤岳志 ,  谷口佳史 ,  原田研

IPC: H01J37/295 ,  G01N23/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/10 ,  G01N23/20058 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/04 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/153 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。

公开(公告)号：CN103456589B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201210177109.3

申请日：2012-05-31

Applicant: 睿励科学仪器(上海)有限公司

Inventor： 李家铮

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/147

Abstract: 本发明的目的是提供一种利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备。根据本发明的光阑，包括光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔；多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透镜。本发明的优点在于：能够使得电子束以最优剖面轮廓通过光阑板，从而能够获得质量较好的图像；对光阑进行切换时，只需通过调整加在多极透镜上的电压，即可调整电子束的大小，因此光阑的切换更加快速且方便，在实践中仅需零点几秒即可完成光阑的切换，极大地提高了光阑的切换效率；并且，根据本发明的光阑比通常采用的使用步进式马达调整的光阑结构更加简单，且造价更便宜。