公开(公告)号：KR1019990066685A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017564

申请日：1998-05-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오 ,  신도나오키 ,  야마구치가즈야

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은, 반송척의 세정 및 건조처리를 높은 효율로서 양호하게 행하는 반송척의 세정장치 및 세정방법을 제공한다.
본 발명은 복수의 피처리기판을 세운 상태에서, 소정 간격으로 나란하게 파지하기 위한 한쌍의 아암부재를 가진 반송척을 세정·건조처리하기 위한 반송척의 세정장치에 있어서, 상기 한쌍의 아암부재 중에서 적어도 한쪽이 출입하도록 상부 개구를 가지는 처리탱크와, 이 처리탱크 내에서 세정액을 토출하도록 설치된 세정노즐과, 상기 처리탱크 내에서 건조용 가스를 분사하도록 설치된 가스노즐과, 상기 반송척이 상기 상부 개구를 통하여 상기 처리탱크 내로 출입하도록, 상기 처리탱크를 상하로 이동시키는 승강수단을 구비한다.

公开(公告)号：KR100170421B1

公开(公告)日：1999-03-30

申请号：KR1019930006453

申请日：1993-04-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 시라이시히로후미 ,  혼다요시유키

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명의 스핀 드라이어는 복수의 웨이퍼를 둘러 쌓인 케이싱체와, 케이싱체 중에서 복수의 웨이퍼를 유지하여 모우터에 의하여 회전되는 로터와, 로터의 회전축에 대하여 웨이퍼면이 실질적으로 직교하도록 또한 면 대 면의 자세로 되도록 웨이퍼의 각각을 유지하는 상하클램프바를 가진다. 하클램프바는 회전축부재의 각각에 연결고정 되어 있고, 기판세트시에 기판하부를 유지하는 것이며, 상클램프는 한편의 회전축부재에 대하여 기도가능하게 축고정된 그 기초부와, 전도상태인 때에 다른 쪽의 회전축 부재에 계합로크 되도록 한 선단부를 가진다. 상클램프바를 미끄럼운동 시키는 미끄럼 운동기구와, 상 클램프바의 선단부를 다른쪽의 회전축부재에 계합하는 로크기구와, 상클램프바의 선단부를 다른쪽의 회전축 부재로부터 해제하는 언로크기구를 가진다.

公开(公告)号：KR100170391B1

公开(公告)日：1999-03-30

申请号：KR1019900008899

申请日：1990-06-16

Applicant: 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 마쓰무라키미하루 ,  노무라마사후미 ,  카미카와히로지 ,  나가타쥰이치

IPC: H01L21/18

Abstract: 내용 없음.

公开(公告)号：KR100165559B1

公开(公告)日：1999-02-18

申请号：KR1019920015418

申请日：1992-08-26

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 다나카히로시 ,  니시미쓰오 ,  미조구치류이치 ,  가미카와유우지

IPC: H01L21/68

Abstract: 반도체 웨이퍼를 반송하는 회전반송아암이 밀폐용기내에 배열설치된다. 용기에는 개폐가능한 개구부가 형성되고, 이것을 통하여 반송아암이 용기바깥으로 뻗어나오는 것이 가능하게 되어있다. 반송아암의 선단에는 포크가 배열설치된다. 포크에는 여러 개의 웨이퍼를 간격을 두고 배치하는 여러 개의 유지홈이 형성된다. 용기의 상부에는 포크용 크리너가 배열설치된다. 크리너는 변환아암의 선단에 부착된 세정노즐 및 건조노즐(s)을 구비한다. 변환아암은 작동위치와 후퇴위치 사이에서 선회가 가능하게 되어있다. 변환아암은 작동위치와 후퇴위치와의 사이에서 선회가능하도록 되어 있다. 변환아암 또는 포크를 따라서 세정노즐 및 건조노즐을 이동가능하게 되어 있다. 세정 및 건조시, 포크에 대하여 세정노즐로부터 순수한 물이 분출되며 건조노즐로부터 질소가 분출된다.

公开(公告)号：KR100158211B1

公开(公告)日：1999-02-18

申请号：KR1019910015595

申请日：1991-09-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 코니시노부오 ,  다카모리히데유키 ,  아키모토마사미 ,  다테야마기요히사

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/67173 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6719

Abstract: 도포장치는 단일하우징내 배열설치되고, 웨이퍼를 지지하며 또한 회전시키는 2 개의 스핀척을 구비한다.
양 스핀척 사이에는, 상기 노즐내의 굳어진 상기 도포액을 배출하기 위한 대기 트렌치가 배열설치된다.
웨이퍼는 상기 하우징외에 배열설치된 단일의 반송기구에 의하여 상기 스핀척에 대하여 공급/배열된다.
도포액공곱기구는 상기 스핀척에 지지된 웨이퍼상에 도포액을 토출하기 위한 단일 노즐을 포함한다.
상기 노즐은 이동아암에 의하여 상기 스핀척 사이에서 이동시킨다.
상기 양스핀척에 있어서의 처리 사이클은 동일 처리시간이고 또한 서로 반사이클씩 어긋나게 하여 설정된다.
상기 노즐은 상기 스핀척에 지지된 웨이퍼상에 도포액을 토출하는때 이외에는 상기 대기 트렌치상에 배치된다.

公开(公告)号：KR100167572B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019920017074

申请日：1992-09-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 아키모토마사미 ,  후지모토아키히로 ,  이와쓰하루오

IPC: H01L21/31

Abstract: 내용없음.

公开(公告)号：KR100155390B1

公开(公告)日：1998-12-01

申请号：KR1019920007844

申请日：1992-05-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 니시미쓰오

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정장치는, 세정액을 저유하는 세정탱크를 구비한 세정처리실과, 세정처리실에 피처리체를 반입/반출하는 반송수단, 이 반송수단은 피처리체의 유지부를 가지고 있다. 또, 세정장치는, 반송기구가 수납된 챔버와, 챔버의 상부에 설치되며, 반송기구의 유지부를 세정/건조하는 수단을 구비하고 있다. 이 세정/건조수단은 유지부를 향하여 세정액을 분사하는 세정노즐과, 건조기체를 분사하는 건조노즐을 가지고 있다.

公开(公告)号：KR100151159B1

公开(公告)日：1998-12-01

申请号：KR1019910020980

申请日：1991-11-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 가미가와유우지

IPC: H01L21/304

Abstract: 구동장치는, 제1 커버와, 이것을 네스팅 식으로 덮는 제2 커버와, 상기 제1 및 제2 커버를 덮는 제3 커버를 구비한다.
상기 제1 및 제2 커버를 축방향으로 상대적으로 이동시키기 위한 구동부재의 일부가 상기 제1 커버내의 제1 공간내에 배열설치된다.
상기 제1 공간에는, 질소가 공급되어 양압상태로 유지된다.
상기 제1 및 제2 커버간의 상기 제2 공간은, 그 용적변화에 따라서 내부의 공기가 공급 및 배출되어, 압력이 실질적으로 일정하게 유지된다.
상기 제3 커버와 상기 제1 및 2 커버와의 사이의 제3 공간은 배기되어, 부압상태로 유지된다.
따라서, 제1 커버내의 분위기와, 구동장치 주위의 분위기가 서로 절연(絶緣)된다.

公开(公告)号：KR100138097B1

公开(公告)日：1998-06-15

申请号：KR1019900007282

申请日：1990-05-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 이와쓰하루오 ,  사카모토야스히로 ,  이와키리준로오

IPC: H01L21/469

CPC classification number: B05B1/24 ,  B05B12/12 ,  B05C11/08

Abstract: 내용 없음

公开(公告)号：KR1019960010094A

公开(公告)日：1996-04-20

申请号：KR1019950032780

申请日：1995-09-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 후지모토아키히로 ,  사카모토야스히로

IPC: B05C5/00

CPC classification number: B05C11/08 ,  B05C11/1039

Abstract: 본 발명은, 피처리체를 얹어놓은 상태에서 회전하는 피처리체 유지수단과, 피처리체 유지수단의 바깥쪽에 배치된 고리형상 컵과, 피처리체 윗쪽에 배치되고, 피처리체 표면상에 처리액을 공급하는 처리액 공급수단과, 고리형상 컵 하부에 장착되어 있으며, 처리액을 피처리체 표면상에 공급할 때에 비산한 처리액을 폐액으로 하여 배기가스와 함께 배출하는 배출수단과, 배출수단에 연결되고, 배출수단에 의하여 배출되는 폐액 및 배기가스를 저류하는 저류수단을 구비하며, 저류수단에 있어서 폐액 및 배기가스를 분리하는 도포장치를 제공한다.