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    주기적 구동계의 이상 검지 장치, 주기적 구동계를 갖는 처리 장치, 주기적 구동계의 이상 검지 방법 및 컴퓨터 프로그램
    33.
    发明公开
    주기적 구동계의 이상 검지 장치, 주기적 구동계를 갖는 처리 장치, 주기적 구동계의 이상 검지 방법 및 컴퓨터 프로그램 审中-实审
    定期驱动系统的异常检测装置，包括定期驱动系统的处理装置，定期驱动系统的异常检测方法和计算机程序

    公开(公告)号：KR1020130065621A

    公开(公告)日：2013-06-19

    申请号：KR1020120142233

    申请日：2012-12-07

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 모리야츠요시 ,  데라사와노부토시 ,  가타오카유키 ,  야타베마사히로 ,  아라키시로

    IPC: H01L21/66 ,  H01L21/203

    CPC classification number: H04R29/00

    Abstract: PURPOSE: An error detecting device of a periodic driving system, a processing device including the periodic driving system, an error detecting method of the periodic driving system, and a computer program are provided to understand a difference between an error situation and a normal situation sufficiently regardless of deterministic or probabilistic values, thereby detecting the error of the periodic driving system accurately. CONSTITUTION: A data acquisition unit(31) acquires time series data from a data logger. A condition setting unit(32) sets a condition for detecting an error. A translational error operation unit(33) calculates a translational error from the time series data. A probability distribution output unit(34) calculates the probability distribution of the translation error. A histogram preparation unit(35) prepares the histogram of the probability distribution. An error determination unit(36) determines the error of a periodic driving system by comparing the prepared histogram with a normal sound model histogram and an error sound model histogram. [Reference numerals] (1) Non-contact microphone sensor; (11) Data logger; (12) Control unit; (13) Main memory unit; (14) External memory unit; (2) Free amp; (21) Operation unit; (22) Display unit; (23) Carrier unit; (24) Normal noise screening unit; (300) Rotation driving system; (31) Data acquisition unit; (32) Condition setting unit; (33) Translational error operation unit; (34) Probability distribution output unit; (35) Histogram preparation unit; (36) Error determination unit; (37) Rotation determination unit; (38) Disturbance noise determination unit; (39) Display process unit; (41) Collection time series data; (42) Embedded vector data; (43) Nearest vector data; (44) First translational error data; (45) Second translational error data; (46) Probability distribution data; (47) Histogram data; (51) Program group; (52) Normal sound model data; (53) Error sound model data; (54) Disturbance noise model data; (55) Error sound determination data; (56) Inspection condition data

    Abstract translation: 目的：提供周期性驱动系统的误差检测装置，包括周期性驱动系统的处理装置，周期性驱动系统的误差检测方法和计算机程序，以充分了解错误情况与正常情况之间的差异 无论确定性或概率值如何，从而准确地检测周期性驱动系统的误差。 构成：数据采集单元（31）从数据记录器获取时间序列数据。 条件设定部（32）设定检测错误的条件。 平移误差运算单元（33）从时间序列数据计算平移误差。 概率分布输出单元（34）计算平移误差的概率分布。 直方图准备单元（35）准备概率分布的直方图。 误差确定单元（36）通过将准备的直方图与正常声音模型直方图和误差声音模型直方图进行比较来确定周期性驾驶系统的误差。 （附图标记）（1）非接触式麦克风传感器; （11）数据记录器; （12）控制单元; （13）主存单元; （14）外部存储单元; （2）自由放大器 （21）操作单元; （22）显示单元; （23）承运单位; （24）正常噪声检测单位; （300）旋转驱动系统; （31）数据采集单元; （32）条件设定单位; （33）平移误差运算单元; （34）概率分布输出单位; （35）直方图制作单位; （36）错误判定单元; （37）旋转确定单元; （38）干扰噪声判定单元; （39）显示过程单位; （41）收集时间序列数据; （42）嵌入矢量数据; （43）最近的矢量数据; （44）第一翻译误差数据; （45）第二平移误差数据; （46）概率分布数据; （47）直方图数据; （51）方案组; （52）正常声音模型数据; （53）声音模型数据误差; （54）干扰噪声模型数据; （55）错误声音确定数据; （56）检验条件数据

    구성부품의 세정 방법 및 기억 매체
    34.
    发明授权
    구성부품의 세정 방법 및 기억 매체 失效
    组件清洁方法和存储介质

    公开(公告)号：KR101204175B1

    公开(公告)日：2012-11-22

    申请号：KR1020090126241

    申请日：2009-12-17

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 모리야츠요시 ,  시미즈아키타카

    IPC: H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/304

    CPC classification number: H01L21/02057 ,  H01J37/32862 ,  Y10S438/905 ,  Y10S438/906

    Abstract: A method for cleaning a component in a substrate processing apparatus including a processing chamber, foreign materials being attached to the component, at least a part of the component being exposed inside the processing chamber, and the substrate processing apparatus being adapted to load and unload a foreign material adsorbing member into and from the processing chamber. The method includes loading the foreign material adsorbing member into the processing chamber; generating a plasma nearer the component than the foreign material adsorbing member; extinguishing the plasma; and unloading the foreign material adsorbing member from the processing chamber, wherein the generation and the extinguishment of the plasma are repeated alternately and the foreign material adsorbing member has a positive potential at least during the extinguishment of the plasma.

    분체형상 소스 공급계의 세정 방법, 기억 매체, 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법
    35.
    发明授权
    분체형상 소스 공급계의 세정 방법, 기억 매체, 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법 有权
    清洁粉源供应系统，储存介质，基板处理系统和基板处理方法

    公开(公告)号：KR101176708B1

    公开(公告)日：2012-08-23

    申请号：KR1020097020555

    申请日：2008-03-26

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 모리야츠요시 ,  하세가와도시오 ,  야마사키히데아키

    IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/302 ,  H01L21/205

    CPC classification number: C23C16/4402

    Abstract: 성막 처리시에 용기내나 도입관내로부터 파티클이 유출하는 것을 방지할 수 있는 분체상 소스 공급계의 세정 방법을 제공한다. 기판 처리 시스템(10)은 분체형상 소스 공급계(12)와 성막 처리 장치(11)를 구비한다. 분체형상 소스 공급계(12)는 분체형상 소스(13)(텅스텐 카르보닐)를 수용하는 앰플(14)과, 해당 앰플(14)내에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급 장치(16)와, 앰플(14) 및 성막 처리 장치(11)를 접속하는 분체형상 소스 도입관(17)과, 해당 분체형상 소스 도입관(17)으로부터 분기하는 퍼지관(19)과, 분체상 소스 도입관(17)을 개폐하는 개폐 밸브(22)를 갖는다. 성막 처리에 앞서, 개폐밸브(22)가 닫히고 또한 퍼지관(19)내를 배기할 때에, 캐리어 가스 공급 장치(16)가, 캐리어 가스에 의해서 파티클에 작용하는 점성력이 성막 처리시에 있어서의 캐리어 가스에 의해서 파티클에 작용하는 점성력보다도 커지도록 캐리어 가스를 공급한다.

    정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및, 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 기록매체
    36.
    发明授权
    정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및, 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 기록매체 有权
    信息处理器，信息处理方法和具有程序的计算机可读记录介质

    公开(公告)号：KR101150791B1

    公开(公告)日：2012-06-13

    申请号：KR1020107005444

    申请日：2008-09-09

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 가와무라카즈히로 ,  모리야츠요시 ,  우메하라야스토시

    IPC: H01L21/02

    CPC classification number: G05B23/024 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

    Abstract: (과제) 종래의 정보 처리 장치에 있어서는, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터로부터, 반도체 프로세스의 상태를 정밀도 좋게 검지할 수 없다는 과제가 있었다.
    (해결 수단) 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제1 정보를 접수하는 제1 입력 접수부(101)와, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제2 정보를 접수하는 제2 입력 접수부(102)와, 제1 정보의 소정의 기간 내의 정보를, 창함수를 이용하여 취출하여, 창 취득 정보를 얻는 창함수 처리부(103)와, 창함수 처리부(107)가 취출한 창 취득 정보와, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 상관 산출부(109)와, 상관 산출부(109)의 산출 결과에 따른 정보를 출력하는 출력부(111)를 구비했다.

    플라즈마 처리장치, 챔버내 부품 및 챔버내 부품의 수명 검출 방법
    37.
    发明授权
    플라즈마 처리장치, 챔버내 부품 및 챔버내 부품의 수명 검출 방법 有权
    等离子体工艺装置，室内组件和检测其寿命的方法

    公开(公告)号：KR101124795B1

    公开(公告)日：2012-03-23

    申请号：KR1020090016236

    申请日：2009-02-26

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 나카야마히로유키 ,  모리야츠요시

    IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/66

    Abstract: 본 발명은 챔버내 부품의 수명을 정확하게 검지하고, 수명에 도달하지 않은 부품을 교환하는 것에 의한 낭비 및 수명이 경과한 부품을 계속 사용함에 의한 트러블의 발생을 방지할 수 있는 챔버내 부품을 제공한다. 본 발명에 의하면, 플라즈마 처리장치에 적용되는 포커스링(26) 등의 챔버내 부품이고, 구성 재료와는 다른 원소, 예를 들면 스칸듐(Sc)으로 이루어지는 수명 검출용 원소층(51, 52)이 매설되어 있는 것을 설치한 기판 처리장치(10)를 이용하여 웨이퍼(W)에 대하여 RIE처리를 실행하고, 처리 가스중의 발광 스펙트럼을 플라즈마 발광 분광기(46)에 의해 감시하고, 수명 검출용 원소층(51, 52)에 기인하는 스펙트럼을 검출함으로써 포커스링(26)등의 챔버내 부품의 수명을 검지한다.

    기밀 모듈 및 상기 기밀 모듈의 배기 방법
    40.
    发明授权
    기밀 모듈 및 상기 기밀 모듈의 배기 방법 有权
    空气模块及其排气方法

    公开(公告)号：KR101019843B1

    公开(公告)日：2011-03-04

    申请号：KR1020080061741

    申请日：2008-06-27

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 모리야츠요시

    IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H01L21/50

    CPC classification number: H01L21/67201

    Abstract: 본 발명은 처리량을 저하시키지 않고, 기판의 주면(主面)에 형성된 패턴이 붕괴되는 것을 방지할 수 있는 기밀 모듈을 제공한다.
    기판 처리 시스템의 로드록 모듈(5)은 이송탑재 아암(31)과, 챔버(32)와, 로드록 모듈 배기계(34)를 가지며, 챔버(32) 내에는, 챔버(32) 내에 반입된 웨이퍼(W)의 주면과 대향하도록 판형상 부재(36)가 배치되고, 웨이퍼(W)의 주면의 바로 위에는 웨이퍼(W) 및 판형상 부재(36)에 의해, 챔버(32)의 나머지 부분으로부터 분리된 배기 유로가 구획형성되며, 해당 배기 유로의 단면적은 챔버(32)의 나머지 부분의 단면적보다 작다.

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