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公开(公告)号：KR101554594B1
公开(公告)日：2015-09-22
申请号：KR1020130148855
申请日：2013-12-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
Abstract: 본발명은하전입자빔을방출하는하전입자소스, 상기하전입자소스쪽에구비되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는빔 스폿인하전입자빔 프로브를형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군, 상기하전입자소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기하전입자소스로부터방출된하전입자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버, 상기하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기, 및관찰또는가공하려는시료를지지하며, 상기시료를이동할수 있는시료스테이지를포함하는하전입자빔 프로브형성장치및 이를이용하여시료를관찰또는가공하는방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020150064311A
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：KR1020130148855
申请日：2013-12-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
Abstract: 본발명은하전입자빔을방출하는하전입자소스, 상기하전입자소스쪽에구비되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는빔 스폿인하전입자빔 프로브를형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군, 상기하전입자소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기하전입자소스로부터방출된하전입자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버, 상기하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기, 및관찰또는가공하려는시료를지지하며, 상기시료를이동할수 있는시료스테이지를포함하는하전입자빔 프로브형성장치및 이를이용하여시료를관찰또는가공하는방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于形成带电粒子束探针的装置和一种通过使用该装置来监测或处理样品的方法。 它包括一个聚焦透镜接地，它包括一个发射一个电荷粒子束的电荷粒子源，至少一个中间聚焦透镜，形成在电荷粒子源中，并通过电场或磁场聚焦电荷粒子束; 透镜，其被用作要形成于样品的最终聚焦透镜，并形成作为聚焦在样品上的束斑的电荷粒子束;真空室，其包括电荷粒子源和聚焦透镜组，并且具有孔径， 从充电粒子源发射的电荷粒子束通过物镜的路径，至少一个控制电荷粒子束的照射方向并改变其的照射方向的偏转器，以及支持待监测或处理的样品的样品台， 可以移动样品。
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公开(公告)号：KR101413287B1
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：KR1020130080447
申请日：2013-07-09
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26 , H01J37/147 , H01J37/22
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/08 , H01J2237/06341 , H01J2237/0656 , H01J2237/0802 , H01J2237/223 , H01J2237/24542
Abstract: The present invention relates to a particle beam emission image acquisition apparatus which comprises a microchannel plate for receiving a particle beam emitted from a particle beam source and emitting a secondary electron; a fluorescent screen for receiving the secondary electron generated in the microchannel plate and converting the same into an optical signal; an image acquisition device for acquiring optical data emitted from the fluorescent screen; and an image process device for comprising a slow frequency pass filter of a spatial region and treating and imaging data obtained from the image acquisition device, and to a method for acquiring a particle beam emission image using the same.
Abstract translation: 本发明涉及一种粒子束发射图像获取装置，其包括：微通道板，用于接收从粒子束源发射的粒子束并发射二次电子; 用于接收在微通道板中产生的二次电子并将其转换为光信号的荧光屏; 用于获取从荧光屏发射的光学数据的图像获取装置; 以及图像处理装置，用于包括空间区域的慢速频谱滤波器以及从图像获取装置获得的数据的处理和成像，以及使用该方法获得粒子束发射图像的方法。
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公开(公告)号：KR102231035B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020190118073
申请日：2019-09-25
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 본발명은지연에너지분석기에관한것으로, 입사되는하전입자빔을굴절시키는정전렌즈, 상기정전렌즈에서굴절된하전입자빔의초점이내부에만들어지고, 내부에전위를발생시켜입사된하전입자빔의에너지를감소시키며, 내부에발생된전위보다에너지가큰 하전입자만통과시키는지연전극, 및상기지연전극을통과한하전입자가도달되어하전입자빔의에너지분포를측정하는수집기를포함하여빔과전극의충돌을최소화시켰으며, 이를통해내구성과측정의신뢰성을향상시키는효과가있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101744482B1
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：KR1020150169681
申请日：2015-12-01
Applicant: 한국표준과학연구원
Inventor： 조복래
IPC: H01J37/073 , H01J37/295
Abstract: 본발명은방출하는전자빔의전류밀도가높은전계방사형전자총(field emission electron gun)에요구되는초고진공을유지하면서동시에표유자계(stray magnetic field) 유입을방지할수 있는연강(mild steel)을전자총챔버의재질로사용하여비투자율값이큰 뮤-메탈(Mu-metal)이나퍼멀로이(permalloy)로별도의자기장차폐막을만들지않고도안정된고휘도성능을구현하는초고진공전자총및 이를포함하는전자현미경에관한것으로, 본발명의연강재질의초고진공진공챔버를구비한전계방사형전자총은스테인레스강에비해초고진공유지에서차이가없으며비투자율값이큰 연강을챔버로사용하여뮤-메탈이나퍼몰로이등 전자빔발생부를둘러싸는추가적인구성을설치하지않고도표유자계의유입을방지할수 있어서제조가용이할뿐 아니라복잡한구성을채택하지않아경제적이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有高电流密度的发射电子束的场发射电子枪和一种能够在保持超高真空的同时防止杂散磁场流入的软钢， 使用质量Uijae比率更好的透气性值Mu金属涉及具有实现高亮度稳定的性能，而无需创建一个单独的磁场，屏蔽膜和该超高真空电子枪的电子显微镜，包括：（Mu金属）或坡莫合金（坡莫合金）， 具有超高真空，本发明的低碳钢材料制成的真空室中的场致发射型电子枪，有在超高真空无差别保持与不锈钢相比具有大的相对磁导率值的软钢到腔室Mu金属或peomol罗伊如电子束产生围绕 不仅易于制造，而且也不采用复杂的结构，因为它可以在不安装额外配置的情况下防止石墨磁系统的流动。
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公开(公告)号：KR101735696B1
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：KR1020150101358
申请日：2015-07-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하며, 상기시료를미세하게수평이동할수 있는시료스캐너; 및상기시료스캐너하부에구비되며상기시료및 시료스캐너를함께수평이동할수 있는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101725137B1
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：KR1020150117737
申请日：2015-08-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
Abstract: 본발명은전자, 이온, 중성입자등 입자광축을따라집속되는입자빔이입사하는틈(aperture)을일면에구비하고, 그대향면에광이투과하는탈착형시료홀더를구비하여, 입자빔과광으로시료를관측또는분석할수 있는입자및 광학장치용진공시료실에관한것으로, 전자현미경또는집속이온빔관찰장비의시료실에시료가출입할경우에도시료실내부진공을유지하여관찰시간을단축하고, 광원이나광학경통을시료실내부에삽입하지않고외부에서광학영상을획득할수 있는시료실및 그시료실을구비한광-전자융합현미경을구현한다.
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公开(公告)号：KR101725506B1
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：KR1020150102133
申请日：2015-07-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2608
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170027314A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020160150962
申请日：2016-11-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01T1/20 , H01J37/22
Abstract: 본발명은 STEM 영상관찰을위해검출감도와신호대 잡음비가뛰어난복수개의고리형형광검출기(scintillation detector)를이용하여산란여부및 회절각분포에따른영상을고해상도로빠르게획득할수 있는형광검출기에관한것으로, 명시야영상과암시야영상을분리관찰하고전자검출에의해발생된광신호의색상을달리하여광 가이드를통해혼합광을전송한뒤 광분리부로분리하는것이가능하여분해능을높일수 있다. 또한, 후방산란전자영상검출기를좌우대칭또는사방대칭형의형광검출기로하여 3차원영상을획득할수 있는검출기및 이러한검출기능을가지는전자현미경을제공한다.
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