温度环境适应性增强的石英振梁加速度计

    公开(公告)号:CN119757795A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411943580.8

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 本发明提供一种温度环境适应性增强的石英振梁加速度计,其中,敏感结构的TO封装不采用常规金属连接的方式固定安装到加速度计壳体,而是通过环形胶体固定到壳体内壁,可以降低外部环境温度变化的影响,提高加速度计的温度性能;电路与敏感结构表头之间安装隔热挡板,可以有效降低电路启动温升导致的敏感结构双梁间的温度梯度,减少加速度计启动时间。

    一种用于石英器件的加工方法及石英器件

    公开(公告)号:CN119584840A

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202411529599.8

    申请日:2024-10-30

    Abstract: 本发明提供一种用于石英器件的加工方法及石英器件,加工方法包括:步骤1、石英晶片准备;步骤2、根据所需要获得的石英器件确定需要被去除的区域,并采用激光改性石英晶片上需要被去除的区域;步骤3、在步骤2所得石英晶片的上下表面均制备一层金属膜层;步骤4、金属膜层图形化,确定石英结构图形,该图形与步骤2中激光改性图形大致一致,将需要被去除的区域暴露出来;步骤5、在图形化后的金属膜层表面制备第二层掩膜图形,用于确定电极图形;步骤6、采用化学溶液去除需要被去除的区域;步骤7、腐蚀金属膜层,将第二层掩膜上电极图形转移至金属膜层上;步骤8、去除第二层掩膜。本发明提高了石英结构加工精度及效率。

    一种分立式Sigma-delta电路
    44.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115865096B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202211356551.2

    申请日:2022-11-01

    Abstract: 本发明提供了一种分立式Sigma‑delta电路,该电路包括FPGA芯片、高速开关、载波发生模块以及依次连接的电荷转移模块、前置放大电路、A/D转换单元和解调滤波单元,FPGA芯片分别与高速开关、A/D转换单元和解调滤波单元连接,高速开关分别与载波发生模块、前置放大电路和电荷转移模块连接,载波发生模块与MEMS加速度计的输入端连接,电荷转移模块与MEMS加速度计的输出端连接。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中流片开发周期长、改造难度大并受模拟器件适配影响导致误差较大的技术问题。

    石英谐振梁加速度计温度误差建模与补偿方法

    公开(公告)号:CN117686740A

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202311562956.6

    申请日:2023-11-22

    Abstract: 本发明提出了一种石英谐振梁加速度计的温度误差建模和补偿方法,包括在加速度计振梁驱动电路及表头内部各放置一个温度传感器,对两个温度传感器的输出求差作为温度梯度值;在全温范围内选取一系列温度点,对每个温度点上测得的零位和标度因数取均值,作为拟合目标值;使用两个温度传感器的输出值、温度梯度值、温度变化率变量,进行多项式组合、加权,结合目标值进行最小二乘拟合,获得完整的温度补偿模型系数。本发明有效解决了常规温补方法难以减小或消除的温度滞回误差、滞后误差等难题,满足实际工程中如启动速度快、零偏及标度因数全温变化量小、强温度环境适应性等严苛应用要求。

    数字输出陀螺仪相频特性测试方法及系统

    公开(公告)号:CN117686003A

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202311567308.X

    申请日:2023-11-22

    Abstract: 本发明提供一种数字输出陀螺仪相频特性测试方法及系统,方法包括:利用角振动台产生基准角振动运动并同时输出相关的模拟基准角速度信号;将陀螺仪设置在角振动台上;将角振动台输出的模拟基准角速度信号转换为方波信号;根据所述方波信号下降沿记录角振动台基准信号零相位时间t11、t12……;在接收到陀螺仪输出的角速度信号时记录每一帧数据接收时间,并取接收到的角速度信号绝对值最小值对应时间为陀螺仪输出信号的零相位时间t31、t32……;基于所述基准信号零相位时间和陀螺仪输出信号的零相位时间解算相位延迟信号。本发明不会引入额外延时误差,且同步系统设计简单,同时保证了数字输出陀螺仪相频特性的精确测量。

    一种MEMS哥氏力陀螺ASIC最优控制参数获取方法

    公开(公告)号:CN114322973B

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202210019844.5

    申请日:2022-01-10

    Abstract: 本发明提供了一种MEMS哥氏力陀螺ASIC最优控制参数获取方法,包括:生成初始配置TXT文件;将初始配置TXT文件中的内容写入测试单片机初始化配置函数Cntrl_Ini中;根据初始化配置函数Cntrl_Ini或OTP内部ASIC控制参数进行控制参数的初始化;进行陀螺性能测试试验;判断当前ASIC控制参数是否是最优控制参数,若否,则调整ASIC控制参数重新生成初始配置TXT文件,返回执行将初始配置TXT文件中的内容写入测试单片机初始化配置函数Cntrl_Ini中,直至当前ASIC控制参数为最优控制参数;若是,则将当前ASIC控制参数写入ASIC的OTP中,完成MEMS哥氏力陀螺ASIC最优控制参数的获取。本发明能够在不烧写OTP的前提下,反复尝试不同的陀螺控制参数以获取最优控制参数,实现了ASIC控制参数的灵活、多次配置。

    一种基于ARM的加速度计非线性补偿电路及补偿方法

    公开(公告)号:CN115389783A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202210995699.4

    申请日:2022-08-18

    Abstract: 本发明提供了一种基于ARM的加速度计非线性补偿电路及补偿方法,该补偿电路包括ARM芯片、标准离心输出模块、载波发生模块以及依次连接的信号处理模块、A/D转换模块、解调滤波模块和非线性补偿模块,载波发生模块与加速度计的输入端连接,信号处理模块与加速度计的输出端连接,非线性补偿模块与标准离心输出模块连接,ARM芯片分别与载波发生模块、A/D转换模块以及非线性补偿模块连接,ARM芯片中包含多种补偿算法。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中补偿算法单一、补偿效果较差且无法实时在线补偿的技术问题。

    Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计

    公开(公告)号:CN114994362A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210620692.4

    申请日:2022-06-02

    Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计,包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组,加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构,任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板,第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接,第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接,第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接,第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接,第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。

    石英音叉陀螺温度补偿方法、系统及石英音叉陀螺

    公开(公告)号:CN112697121A

    公开(公告)日:2021-04-23

    申请号:CN202011434307.4

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明涉及温度补偿技术领域,公开了一种石英音叉陀螺温度补偿方法、系统及石英音叉陀螺。其中,该方法包括:对石英音叉陀螺的自动增益控制信号和零位信号进行采集;根据采集的自动增益控制信号对采集的零位信号进行温度补偿,得到补偿后的零位信号。由此,可以避免现有温度传感器补偿模式误差而引入的额外补偿误差,以达到更好的补偿效果;并且,可以将原来电路的测温部分去掉,减小了陀螺电路的尺寸。

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