公开(公告)号：CN120065800A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202411939394.7

申请日：2024-12-26

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 严浩 ,  张菁华 ,  申燕超 ,  王汝弢

IPC: G05B19/042 ,  G01L1/16 ,  G01L9/00 ,  H03L7/08 ,  H03G3/30 ,  H03M1/12 ,  H03M1/66

Abstract: 本发明提供一种谐振式压力传感器数字测控电路，包括传感器芯体、第一芯片单元、第二芯片单元、第三芯片单元和第四芯片单元，其中：第一芯片单元包括自动增益控制模块AGC、锁相环控制模块PLL、SPI以及I2S，其中，AGC包括依次连接的幅值解算模块、控制器1和幅值控制开关S2，PLL包括依次连接的相位解算模块、控制器2、相位控制开关S1和DDS；传感器芯体分别与第二芯片单元和第三芯片单元连接，第一芯片单元运行嵌入式控制软件，实现对芯体的扫频控制和AGC锁相驱动控制，通过数字运算得到控制信号，第一芯片单元控制第三芯片单元生成模拟信号，作为传感器芯体的输入。该方案实现了谐振频率的锁定和输出。

公开(公告)号：CN119584840A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411529599.8

申请日：2024-10-30

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 盛洁 ,  苏翼 ,  张菁华 ,  王永胜 ,  唐琼 ,  王汝弢

IPC: H10N30/06 ,  H10N30/082 ,  H10N30/87 ,  H10N30/85

Abstract: 本发明提供一种用于石英器件的加工方法及石英器件，加工方法包括：步骤1、石英晶片准备；步骤2、根据所需要获得的石英器件确定需要被去除的区域，并采用激光改性石英晶片上需要被去除的区域；步骤3、在步骤2所得石英晶片的上下表面均制备一层金属膜层；步骤4、金属膜层图形化，确定石英结构图形，该图形与步骤2中激光改性图形大致一致，将需要被去除的区域暴露出来；步骤5、在图形化后的金属膜层表面制备第二层掩膜图形，用于确定电极图形；步骤6、采用化学溶液去除需要被去除的区域；步骤7、腐蚀金属膜层，将第二层掩膜上电极图形转移至金属膜层上；步骤8、去除第二层掩膜。本发明提高了石英结构加工精度及效率。

公开(公告)号：CN115865096B

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202211356551.2

申请日：2022-11-01

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 尚克军 ,  姚远 ,  刘飞 ,  张菁华 ,  李陈征 ,  杨亚杰 ,  盛洁 ,  申燕超 ,  王汝弢 ,  王永胜

IPC: H03M3/00

Abstract: 本发明提供了一种分立式Sigma‑delta电路，该电路包括FPGA芯片、高速开关、载波发生模块以及依次连接的电荷转移模块、前置放大电路、A/D转换单元和解调滤波单元，FPGA芯片分别与高速开关、A/D转换单元和解调滤波单元连接，高速开关分别与载波发生模块、前置放大电路和电荷转移模块连接，载波发生模块与MEMS加速度计的输入端连接，电荷转移模块与MEMS加速度计的输出端连接。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中流片开发周期长、改造难度大并受模拟器件适配影响导致误差较大的技术问题。

公开(公告)号：CN117686003A

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN202311567308.X

申请日：2023-11-22

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 申燕超 ,  严浩 ,  杨星辉 ,  王汝弢 ,  张菁华 ,  刘飞 ,  王永胜 ,  姚远

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明提供一种数字输出陀螺仪相频特性测试方法及系统，方法包括：利用角振动台产生基准角振动运动并同时输出相关的模拟基准角速度信号；将陀螺仪设置在角振动台上；将角振动台输出的模拟基准角速度信号转换为方波信号；根据所述方波信号下降沿记录角振动台基准信号零相位时间t11、t12……；在接收到陀螺仪输出的角速度信号时记录每一帧数据接收时间，并取接收到的角速度信号绝对值最小值对应时间为陀螺仪输出信号的零相位时间t31、t32……；基于所述基准信号零相位时间和陀螺仪输出信号的零相位时间解算相位延迟信号。本发明不会引入额外延时误差，且同步系统设计简单，同时保证了数字输出陀螺仪相频特性的精确测量。

公开(公告)号：CN114322973B

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202210019844.5

申请日：2022-01-10

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 马高印 ,  申燕超 ,  姚远 ,  周红芳 ,  刘飞 ,  张菁华 ,  王汝弢 ,  杨星辉 ,  梁文华

IPC: G01C19/5776 ,  G01C25/00

Abstract: 本发明提供了一种MEMS哥氏力陀螺ASIC最优控制参数获取方法，包括：生成初始配置TXT文件；将初始配置TXT文件中的内容写入测试单片机初始化配置函数Cntrl_Ini中；根据初始化配置函数Cntrl_Ini或OTP内部ASIC控制参数进行控制参数的初始化；进行陀螺性能测试试验；判断当前ASIC控制参数是否是最优控制参数，若否，则调整ASIC控制参数重新生成初始配置TXT文件，返回执行将初始配置TXT文件中的内容写入测试单片机初始化配置函数Cntrl_Ini中，直至当前ASIC控制参数为最优控制参数；若是，则将当前ASIC控制参数写入ASIC的OTP中，完成MEMS哥氏力陀螺ASIC最优控制参数的获取。本发明能够在不烧写OTP的前提下，反复尝试不同的陀螺控制参数以获取最优控制参数，实现了ASIC控制参数的灵活、多次配置。

公开(公告)号：CN115523911A

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202211163447.1

申请日：2022-09-23

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 严浩 ,  王汝弢 ,  申燕超 ,  姚远 ,  杜江潮 ,  杨亚杰 ,  李陈征

IPC: G01C19/5614 ,  G01C25/00

Abstract: 本发明提供一种用于石英音叉陀螺温度自适应补偿方法及系统。包括：获取零位全温测试数据和标度因数全温测试数；设计零位自适应温度补偿模型和标度因数自适应补偿模型；根据零位温度补偿模型使用自适应温度分段方法获取多个零位温度补偿参数；根据标度因数自适应补偿模型获取多个标度因数补偿参数；根据零位温度补偿参数将实时陀螺角速率信号经过零位补偿算法进行零位温度补偿，然后再根据标度因数补偿参数进行标度因数温度补偿并输出。与现有技术相比，本发明的技术方案能够解决现有技术中石英音叉陀螺温度补偿存在的补偿精度有限的技术问题。

公开(公告)号：CN115389783A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202210995699.4

申请日：2022-08-18

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 尚克军 ,  姚远 ,  刘飞 ,  张菁华 ,  李陈征 ,  杨亚杰 ,  盛洁 ,  申燕超 ,  王汝弢 ,  王永胜

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明提供了一种基于ARM的加速度计非线性补偿电路及补偿方法，该补偿电路包括ARM芯片、标准离心输出模块、载波发生模块以及依次连接的信号处理模块、A/D转换模块、解调滤波模块和非线性补偿模块，载波发生模块与加速度计的输入端连接，信号处理模块与加速度计的输出端连接，非线性补偿模块与标准离心输出模块连接，ARM芯片分别与载波发生模块、A/D转换模块以及非线性补偿模块连接，ARM芯片中包含多种补偿算法。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中补偿算法单一、补偿效果较差且无法实时在线补偿的技术问题。

公开(公告)号：CN114994362A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210620692.4

申请日：2022-06-02

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 尚克军 ,  杨亚杰 ,  刘飞 ,  张菁华 ,  盛洁 ,  姚远 ,  李陈征 ,  王登顺 ,  王汝弢 ,  王永胜

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01P21/00

Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。

公开(公告)号：CN112648990B

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202011449556.0

申请日：2020-12-11

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 刘韧 ,  王汝弢 ,  梁文华

IPC: G01C19/5621

Abstract: 本发明提供了一种石英音叉敏感结构在片测试装置与方法，所述装置利用凸起的测试位为石英音叉芯片通电后的振动提供空间，同时通过真空吸附和弹簧压杆实现了对石英音叉芯片的双重固定，使石英音叉芯片放置在测试位上时更加稳定，且在探针对石英音叉芯片施压和卸压过程中，石英音叉芯片固定不移动，从而避免了探针头部与石英音叉芯片的测试部位接触划伤；通过真空吸附模块和探针模块的配合，完全模拟了石英音叉陀螺加工过程中的贴片、键线和测试等工艺，能够精确反馈石英音叉芯片的加工质量，便于后续石英音叉芯片参数影响的进一步研究。本发明的装置能够自动在片测试并判断石英音叉芯片电学性能质量好坏，实现了石英音叉芯片自动化在片测试的突破。

公开(公告)号：CN111964691B

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202010678991.4

申请日：2020-07-15

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 车一卓 ,  苏翼 ,  王汝弢 ,  王永胜 ,  盛洁

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明公开了一种MEMS惯性器件敏感结构频率测试装置及方法，包括电动XY轴移动台(4)、承片台(2)、压电陶瓷(3)，所述压电陶瓷(3)刚性连接在承片台(2)下方，承片台(2)固定在电动XY轴移动台(4)上。通过信号发生器和功放装置驱动压电陶瓷(3)振动，按照wafer基片敏感结构上的顺序使多普勒测量仪对准其中一支敏感结构的驱动端位置，获得扫频周期内驱动端振动幅值最大点，所对应的频率即为该敏感结构的驱动谐振频率。本发明效率高、成本低。