신규의 텅스텐 아미노아미드 할로겐 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
    43.
    发明授权
    신규의 텅스텐 아미노아미드 할로겐 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 有权
    新型钨酸铵化合物,其制备方法及使用其形成薄膜的方法

    公开(公告)号:KR101306811B1

    公开(公告)日:2013-09-10

    申请号:KR1020120049229

    申请日:2012-05-09

    CPC classification number: C07F11/00 C23C16/18 C23C16/45553

    Abstract: PURPOSE: A novel tungsten aminoamide halogen compound is provided to have thermal stability and high volatility, thereby simply manufacturing a thin film containing high quality tungsten. CONSTITUTION: A tungsten compound is denoted by chemical formula 1. A method for preparing the tungsten compound of chemical formula 1 comprises the step of making a compound of chemical formula 2 react with a compound of chemical formula 3. A thin film containing tungsten is grown by chemical vapor deposition (CVD) or atomic layer deposition (ALD) using the tungsten compound.

    Abstract translation: 目的:提供新的钨氨基酰胺卤素化合物以具有热稳定性和高挥发性,从而简单地制造含有高质量钨的薄膜。 构成:化学式1表示钨化合物。化学式1的钨化合物的制备方法包括使化学式2的化合物与化学式3的化合物反应的步骤。生长含钨的薄膜 通过使用钨化合物的化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)。

    신규의 텅스텐 아미노알콕사이드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
    44.
    发明授权
    신규의 텅스텐 아미노알콕사이드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 有权
    新型硝基烷氧基化合物,其制备方法和使用其形成薄膜的方法

    公开(公告)号:KR101306810B1

    公开(公告)日:2013-09-10

    申请号:KR1020120049225

    申请日:2012-05-09

    CPC classification number: C07F11/00 C23C16/18 C23C16/45553

    Abstract: PURPOSE: A novel tungsten aminoalkoxide compound is provided to have thermal stability and high volatility, thereby easily producing a thin film containing high quality tungsten. CONSTITUTION: A tungsten compound is denoted by chemical formula 1. A method for preparing the tungsten compound of chemical formula 1 comprises the step of reacting a compound of chemical formula 2 with a compound of chemical formula 3. A thin film containing tungsten is grown by chemical vapor deposition (CVD) or atomic layer deposition (ALD) using the tungsten compound.

    Abstract translation: 目的:提供新的钨氨基烷氧基化合物以具有热稳定性和高挥发性,从而容易地生产含有高质量钨的薄膜。 构成:化学式1表示钨化合物。化学式1的钨化合物的制备方法包括使化学式2的化合物与化学式3的化合物反应的步骤。含有钨的薄膜通过 化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)。

    비활성기체를 첨가한 초임계 암모니아 내에서의 Ⅲ족 질화물 단결정의 성장
    45.
    发明公开
    비활성기체를 첨가한 초임계 암모니아 내에서의 Ⅲ족 질화물 단결정의 성장 审中-实审
    使用惰性气体的III类氮化物单晶的热成型方法

    公开(公告)号:KR1020130090151A

    公开(公告)日:2013-08-13

    申请号:KR1020120011260

    申请日:2012-02-03

    CPC classification number: Y02P20/544 C30B29/38 C01B21/00 C30B7/10

    Abstract: PURPOSE: A method for growing a III group nitride single crystal in supercritical ammonia by adding an inert gas is provided to improve purity and quality by preventing impurities from being inputted to the III group nitride single crystal. CONSTITUTION: A III group nitride seed crystal is inputted to a pressure container (10). A mineralizing agent is inputted to the pressure container. The pressure container is sealed (12). An inert gas and a solvent with nitrogen are inputted to the pressure container (14). A III group nitride single crystal is grown by heating the pressure container (18). [Reference numerals] (10) III group containing material, a III group nitride seed crystal, and mineralizing agent are inputted to a pressure container; (12) Pressure container is sealed; (14) Inert gas and a solvent with nitrogen are inputted; (16) Pressure container is heated; (18) III group nitride crystal is grown

    Abstract translation: 目的:提供通过添加惰性气体在超临界氨中生长III族氮化物单晶的方法,以通过防止杂质输入到III族氮化物单晶中来提高纯度和质量。 构成:将III族氮化物晶种输入到压力容器(10)。 将矿化剂输入到压力容器。 将压力容器密封(12)。 将惰性气体和具有氮气的溶剂输入到压力容器(14)。 通过加压压力容器(18)生长III族氮化物单晶。 (10)含III族的材料,III族氮化物晶种和矿化剂输入到压力容器中; (12)压力容器密封; (14)输入惰性气体和具有氮气的溶剂; (16)加压压力容器; (18)III族氮化物晶体生长

    그래핀 기반 소자에 응용 할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법
    47.
    发明授权
    그래핀 기반 소자에 응용 할 수 있는 패턴된 그래핀의 제조방법 有权
    适用于基于石墨的设备的图案的制备

    公开(公告)号:KR101174670B1

    公开(公告)日:2012-08-17

    申请号:KR1020110045313

    申请日:2011-05-13

    CPC classification number: H01L21/0273 H01L21/0274 H01L29/786 H01L29/78606

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a patterned graphene applied to a graphene based device is provided to manufacture a single-multilayered graphene with a desirable pattern by using a patterned metal catalyst layer. CONSTITUTION: A substrate is prepared. A mask is fixed to the substrate. A patterned metal catalyst layer is formed on the substrate. A graphene layer is grown on the metal catalyst layer. The grown graphene layer is transferred to the insulation layer.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于制造施加到基于石墨烯的器件的图案化石墨烯的方法,以通过使用图案化的金属催化剂层制造具有所需图案的单层多层石墨烯。 构成:制备底物。 掩模固定在基板上。 在基板上形成图案化的金属催化剂层。 在金属催化剂层上生长石墨烯层。 生长的石墨烯层被转移到绝缘层。

    전구체를 이용한 CIS 박막의 제조방법
    48.
    发明授权
    전구체를 이용한 CIS 박막의 제조방법 有权
    使用前置体的CIS薄膜的制造方法

    公开(公告)号:KR101124226B1

    公开(公告)日:2012-03-27

    申请号:KR1020110013259

    申请日:2011-02-15

    CPC classification number: Y02E10/50 H01L31/0445 H01L31/0216

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a CIS thin film is provided to mass-produce a CuInSe2 photoactive layer with a solution process. CONSTITUTION: A CuInSe2 nano particle is made by using copper amino alkoxide, indium amino alkoxide and selenium powder. A coating layer is formed by coating a molybdenum film of a glass substrate with coating solutions including CuInSe2 nano particles. A CuInSe2 thin film is formed by thermally processing the glass substrate with the coating layer between 300 and 600 degrees centigrade.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于制造CIS薄膜的方法,以大量生产具有溶液工艺的CuInSe 2光敏层。 构成:使用铜氨基醇盐,铟氨基醇盐和硒粉制成CuInSe2纳米颗粒。 通过用包括CuInSe 2纳米颗粒的涂布溶液涂覆玻璃基板的钼膜来形成涂层。 CuInSe 2薄膜是通过在300〜600摄氏度的涂层之间热处理玻璃基板而形成的。

    신규의 스트론튬 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법
    50.
    发明授权
    신규의 스트론튬 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법 失效
    新型锶氨基 - 醇盐络合物及其制备方法

    公开(公告)号:KR101039442B1

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:KR1020080106983

    申请日:2008-10-30

    Abstract: 본 발명은 신규의 스트론튬 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 하기 화학식 1로 표시되는 스트론튬 아미노 알콕사이드 화합물에 관한 것으로 스트론튬을 포함하는 화합물을 형성하기 위한 전구체로서 열적으로 안정하고 휘발성이 증가된 신규한 스트론튬 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조방법에 관한 것이다.
    [화학식 1]
    Sr[OA-NR
    1 R
    2 ]
    2
    상기 식에서 A는 할로겐으로 치환되거나 치환되지 않은 선형 또는 분지형의 (C2-C10)알킬렌기이고; R
    1 및 R
    2 는 서로 독립적으로 할로겐, 산소, 질소로 치환되거나 치환되지 않은 선형 또는 분지형의 (C1-C7)알킬기이다.
    스트론튬 아미노알콕사이드, 전구체, 스트론튬 산화물, 박막, MOCVD

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