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公开(公告)号：CN103688333B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201280019242.4
申请日：2012-02-17
Applicant: 应用材料以色列公司 , 卡尔蔡司SMT有限公司
CPC classification number: H01J37/21 , H01J37/06 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J2237/0453 , H01J2237/049 , H01J2237/063 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/2817
Abstract: 带电粒子束聚焦设备（200）包括带电粒子束发生器（202），所述带电粒子束发生器（202）被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置（217）上，从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器（31），所述成像检测器（31）被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器（32）分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像，且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。
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公开(公告)号：CN105874097A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201580003277.2
申请日：2015-12-04
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够对在较大范围飞散的反射电子稳定地进行捕捉的电子束蒸发源及具有该电子束蒸发源的真空蒸镀装置。该电子束蒸发源具有蒸发材料保持部、电子枪和磁路部。所述蒸发材料保持部具有能够保持第1蒸发材料的第1保持区域。所述电子枪与所述第1保持区域在所述第1轴方向排列配置，能够对所述第1保持区域射出电子束。所述磁路部具有：磁性板，其由软磁性材料构成；和反射电子偏转部件，其能够使所述电子束由第1蒸发材料反射后的反射电子向所述磁性板偏转，该磁路部与所述电子枪隔着所述第1保持区域而在第1轴方向排列配置。
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公开(公告)号：CN102915903B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201210274665.2
申请日：2012-08-03
Applicant: 气体产品与化学公司
Abstract: 本文描述了通过电子附着去除部件表面上金属氧化物的方法和装置。一个实施方案中，提供了一种场发射装置，其中电子附着于至少一部分还原气体，形成带负电的原子离子，这些离子去除金属氧化物，该场发射装置包括：阴极，所述阴极包括导电材料并包括至少一个或多个具有成角度边缘或大曲率表面的突起，其中阴极被介电材料围绕，介电材料则被导电阳极围绕，其中阴极和阳极各自连接电压源，且阴极和阳极之间的介电材料被极化，增强电场强度并在阴极顶点累积电子以促进电子从阴极的场发射。
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公开(公告)号：CN102468104B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201110354511.X
申请日：2011-11-10
Applicant: FEI公司
Inventor： A.亨斯特拉
IPC: H01J37/05 , H01J37/153 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/0453 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/31713
Abstract: 本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴，且因此使用具有难以制造的形式的部件，根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是，本发明者发现，倘若电极（114,116,120,122）中的一些形成为120°/60°/120°/60°，很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远，示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散，而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此，且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。
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公开(公告)号：CN104952679A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510132049.7
申请日：2015-03-25
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/30 , G01N23/22 , G01N21/63
CPC classification number: H01J37/261 , G01N21/6458 , G01N23/225 , G01N2223/418 , G01N2223/427 , G02B21/0016 , H01J37/06 , H01J37/1472 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/226 , H01J2237/2446 , H01J2237/2447 , H01J2237/2448 , H01J2237/24507 , H01J2237/2602
Abstract: 用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103688333A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201280019242.4
申请日：2012-02-17
Applicant: 应用材料以色列公司 , 卡尔蔡司SMT有限公司
CPC classification number: H01J37/21 , H01J37/06 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J2237/0453 , H01J2237/049 , H01J2237/063 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/2817
Abstract: 带电粒子束聚焦设备（200）包括带电粒子束发生器（202），所述带电粒子束发生器（202）被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置（217）上，从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器（31），所述成像检测器（31）被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器（32）分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像，且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。
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公开(公告)号：CN101414129B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200810166465.9
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN101414126B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN200810166461.0
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN101657875B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200880011889.6
申请日：2008-04-23
Applicant: 株式会社克莱斯泰克
IPC: H01J1/312 , H01J3/14 , H01J37/305 , H01L21/027 , H01J37/073
CPC classification number: H01J37/073 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/312 , H01J37/06 , H01J37/3174 , H01J2201/312 , H01J2237/0635
Abstract: 本发明的面辐射型电子源具有：平面状的第一电极；与第一电极相对设置的平面状的第二电极；设置在第一电极和第二电极之间的电子通过层；以及对第二电极和第一电极施加电压的电源部。电子通过层中，隔开规定的间隔而设置多个量子细线，并从第二电极的表面辐射电子，量子细线在从第一电极朝向第二电极的第一方向上延伸。量子细线由硅构成，同时在第一方向上以规定间隔形成多个粗细度细的部分。
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公开(公告)号：CN101414535A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810166458.9
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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