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公开(公告)号：CN103871811B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201410087769.1
申请日：2010-01-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室（8）和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空（1Pa～3000Pa）时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光（17）中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流（11、13）进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。
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公开(公告)号：CN104040676B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201280065865.5
申请日：2012-12-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/24 , H01J37/1478 , H01J37/21 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明提供一种带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法。本发明的带电粒子线装置(100)的控制装置(50)，在每次使一次电子线(4)对样品(15)的表面进行1行份的扫描线的扫描时，经由倾斜线圈(11、12)使一次带子线(4)的照射轴左倾斜、无倾斜、或者右倾斜。并且，在变更了该照射轴时，经由焦点调整线圈(14)按照照射轴的倾斜状态来调整一次电子线(4)的焦点位置，获取1行份的扫描线的样品(15)的表面的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、或者右倾斜观察图像，将到此时为止获取到的与扫描线相关的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、和右倾斜观察图像同时显示在相同的显示装置(31)中。由此，能够大致同时获取并大致同时显示对焦了的无倾斜观察图像和对焦了的倾斜观察图像。
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公开(公告)号：CN102262997B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201110122317.9
申请日：2011-05-12
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01N23/04 , G01N23/22
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/057 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804
Abstract: 本发明涉及同时电子检测。本发明提供用以检测穿过样品的电子的多个检测器。所述检测器优选地在电子穿过棱镜之后检测所述电子，其中所述棱镜根据电子的能量分离电子。随后由不同检测器检测处于不同能量范围内的电子，其中优选地至少其中一个检测器测量所述电子在穿过样品时所损失的能量。本发明的一个实施例提供对于核心损失电子的EELS，而且同时提供来自低损失电子的亮视场STEM信号。
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公开(公告)号：CN102468104B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201110354511.X
申请日：2011-11-10
Applicant: FEI公司
Inventor： A.亨斯特拉
IPC: H01J37/05 , H01J37/153 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/0453 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/31713
Abstract: 本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴，且因此使用具有难以制造的形式的部件，根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是，本发明者发现，倘若电极（114,116,120,122）中的一些形成为120°/60°/120°/60°，很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远，示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散，而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此，且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。
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公开(公告)号：CN104952679A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510132049.7
申请日：2015-03-25
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/30 , G01N23/22 , G01N21/63
CPC classification number: H01J37/261 , G01N21/6458 , G01N23/225 , G01N2223/418 , G01N2223/427 , G02B21/0016 , H01J37/06 , H01J37/1472 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/226 , H01J2237/2446 , H01J2237/2447 , H01J2237/2448 , H01J2237/24507 , H01J2237/2602
Abstract: 用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104364877B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201380029956.8
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20285 , H01J2237/22 , H01J2237/2801 , H01J2237/2809
Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。
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公开(公告)号：CN102072913B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201010529590.9
申请日：2010-08-09
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/225 , G01N23/22
CPC classification number: G01N23/2252 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/256 , H01J37/28 , H01J2237/226 , H01J2237/2442 , H01J2237/24465 , H01J2237/2448
Abstract: 本发明提供一种检测方法、粒子束系统和制造方法。该检测方法包括：将粒子束聚焦到样品上；操作位于样品附近的至少一个探测器；将由至少一个探测器产生的探测信号分配到不同的强度区间；基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的电子相关的至少一个第一信号分量；以及基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的X射线相关的至少一个第二信号分量。根据本发明，可通过样品发出的电子和X射线二者获得与样品相关的信息。
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公开(公告)号：CN101964294B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201010504226.7
申请日：2010-07-15
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/28 , G01N23/225
CPC classification number: H01J37/30 , H01J37/28 , H01J37/3178 , H01J2237/0044 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/3174
Abstract: 本发明提供一种粒子束显微系统及其操作方法。用于清洁自身的该粒子束显微系统1包括：辐射系统，以导引电磁辐射到需要清洁的表面；以及供给系统61，以供给前驱气体到粒子束系统1的真空室11的内部。在将被清洁的表面的附近，前驱气体被激活并转变为与存在于被辐照表面的污染物反应的反应气体，从而所述污染物随后可以被泵出。
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公开(公告)号：CN104798172A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060806.3
申请日：2013-11-26
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2003 , H01J2237/2004 , H01J2237/2006 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/20235 , H01J2237/2445 , H01J2237/24455 , H01J2237/24475 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。
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公开(公告)号：CN104797923A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060710.7
申请日：2013-11-19
Applicant: 原子能和替代能源委员会
CPC classification number: G01N15/1429 , G01N15/1463 , G01N2015/1006 , G01N2015/1493 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/24571 , H01J2237/2801
Abstract: 一种用于表征颗粒的方法，包括以下步骤：利用扫描电子显微镜产生样品颗粒的至少一张图像，捕捉并处理该图像。该处理操作由以下步骤组成：对于每个所谓的可用颗粒，测量该可用颗粒的最大费雷特长度和最小费雷特宽度；由该可用颗粒的最大费雷特长度和最小费雷特宽度来限定该颗粒的几何模型；由该几何模型和该可用颗粒的最小费雷特宽度来计算该颗粒的投影面积；由该颗粒的几何模型、投影面积和最大费雷特长度来计算该颗粒的体积；基于该几何模型、该最小费雷特宽度和最大费雷特长度来计算特征颗粒尺寸；由体积和特征尺寸来计算体积形状因子。
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