公开(公告)号：CN102473577B

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201080031156.6

申请日：2010-07-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大泷智久 ,  安岛雅彦 ,  伊东佑博 ,  大沼满 ,  小町章

IPC: H01J37/16 ,  F16F15/04 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  F16F15/04 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/0216

Abstract: 本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。

公开(公告)号：CN104584182A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380043429.2

申请日：2013-08-09

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 今村伸 ,  大岛卓 ,  小濑洋一 ,  平根贤一

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

Abstract: 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中，闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率，与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且，闪烁器(7)由用组成式(Ln1－xCex)3M5O12表示的Y－Al－O系陶瓷烧结体形成，其中，Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素，M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。

公开(公告)号：CN104584181A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380040935.6

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/00 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种试样观察方法，其在试样上照射一次带电粒子线，检测由上述照射得到的二次带电粒子信号，并观察上述试样，该试样观察方法的特征在于，使在保持为真空状态的带电粒子光学镜筒内产生的上述一次带电粒子线透过或通过隔膜，该隔膜以使载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，检测通过向置于大气压或比大气压稍低的负压状态的规定的气体环境的上述试样照射上述一次带电粒子线而得到的透过带电粒子线。

公开(公告)号：CN104541355A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201380041387.9

申请日：2013-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  许斐麻美 ,  河西晋佐 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/04 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 以往的带电粒子线装置均为专用于大气压下或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而被制造的装置，不存在能够使用通常的高真空型带电粒子显微镜而简便地进行大气压或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在以往的方法中，无法相对于载置于上述的氛围下的试样的相同的位置同时地进行基于带电粒子线与光的观察。因此，在本发明中，具备：将一次带电粒子线照射至试样的带电粒子光学镜筒、对带电粒子光学镜筒的内部进行抽真空的真空泵、配置为对载置有试样的空间与带电粒子光学镜筒进行隔离并供一次带电粒子线透射或者通过的能够装卸的隔膜、以及相对于隔膜以及试样配置于带电粒子光学镜筒的相反的一侧并在带电粒子光学镜筒的光轴的延长线上具有光轴的至少一部分的光学显微镜。

公开(公告)号：CN103261879B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201180045250.1

申请日：2011-09-16

Applicant: 安托莱特公司

Inventor： 珍·伯尼

IPC: G01N23/225 ,  H01J37/22

CPC classification number: G21K1/00 ,  G01N23/2254 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/06333 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/30472

Abstract: 一种产生阴极发光图像的方法，其包括以下步骤：产生强度可调节的带电粒子束；在样品上聚焦所述带电粒子束；瞬时选通由所述样品发出的阴极发光，从而提供时间选通阴极发光；针对样品上不同带电粒子束位置测量时间选通阴极发光用以产生阴极发光图像，对阴极发光图像去卷积，以改进所述阴极发光图像的分辨率。本发明还提供了实施该方法的装置。

公开(公告)号：CN104412193A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201380033768.2

申请日：2013-04-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 桃井康行 ,  羽根田茂 ,  坂本直树 ,  柴原匡 ,  田之口亮斗

IPC: G05D3/12 ,  G02B21/26 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  G02B21/06 ,  G02B21/26 ,  G05B19/402 ,  G05D3/12 ,  H01J37/28 ,  H01J37/292 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20264

Abstract: 本发明的目的为提供一种除了能够实现高精度的定位，还具有高速度稳定性的载物台装置以及具备了该载物台装置的光学式显微镜或扫描电子显微镜等试样观察装置。本发明的载物台装置以及试样观察装置为了将使用表示按照每个预定时间的指令电压值的标准波形数据驱动载物台机构时的变位或速度的第一时刻变化响应和载物台机构的速度成为恒定时的变位或速度的第二时刻变化响应之间的差设为零，而修正标准波形数据的指令电压值或指令电压值的输出定时，作为对载物台机构的驱动部输出的驱动波形数据。

公开(公告)号：CN104380427A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201380025282.4

申请日：2013-04-02

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 姜辛容 ,  韩立群

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/10 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J37/22 ,  H01J37/10 ,  H01J37/147

Abstract: 一个实施例涉及一种用于高分辨率电子束成像的设备。所述设备包含经配置以限制入射电子束中的电子的能量扩散的能量过滤器。所述能量过滤器可使用消像散维恩(Wien)过滤器及过滤器孔口而形成。另一实施例涉及一种形成用于高分辨率电子束设备的入射电子束的方法。另一实施例涉及一种包含弯曲导电电极的消像散维恩过滤器。另一实施例涉及一种包含一对磁轭及多极偏转器的消像散维恩过滤器。本发明还揭示其它实施例、方面及特征。

公开(公告)号：CN104335321A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201380029172.5

申请日：2013-05-30

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 幸山和弘 ,  赤津昌弘

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供一种能够进行基于减速法的截面样品的良好的观察的样品保持件。该样品保持件具有：样品装载部(17)，其将第1固定部件(121)、作为观察用样品的截面样品(7)和第2固定部件(122)以各自紧贴的状态进行装载，并且被插入电子显微镜的电子光学镜筒的内部；和电压导入单元，其对样品装载部导入电压，样品装载部具有：定位部，其将第1固定部件、截面样品和第2固定部件定位在装载位置上，定位部(201)将与截面样品的观察面(401)分别相邻配置的第1固定部件的第1平面(402A)以及第2固定部件的第2平面(402B)定位在相对于观察面平行且距观察面等距离的位置上。

公开(公告)号：CN104321856A

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201380026325.0

申请日：2013-03-26

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 红·萧 ,  江锡满

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/304

CPC classification number: G01N23/2251 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一个实施例涉及一种在目标微观金属特征中检测埋藏缺陷的方法。成像设备经配置以用着陆能量撞击带电粒子使得所述带电粒子平均到达所述目标微观金属特征内的一深度。此外，所述成像设备经配置以滤出二次电子且检测背向散射电子。接着，操作所述成像设备以收集归因于所述带电粒子的撞击而从所述目标微观金属特征发射的所述背向散射电子。比较所述目标微观金属特征的背向散射电子BSE图像与参考微观金属特征的所述BSE图像，以检测所述埋藏缺陷并对所述埋藏缺陷进行分类。本发明还揭示其它实施例、方面及特征。

公开(公告)号：CN104282515A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410323934.9

申请日：2014-07-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J.A.诺特四世 ,  A.格罗霍尔斯基 ,  R.康纳斯 ,  M.D.迪马纳 ,  R.希尔

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0807

Abstract: 本公开涉及带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统包括惰性气体场离子束源、带电粒子束柱和壳体，壳体限定第一真空区域和第二真空区域。惰性气体场离子束源布置在第一真空区域内。第一机械真空泵功能上附接至第一真空区域，离子吸气泵附接至带电粒子束柱，气体供应器附接至第一真空区域，构造成给惰性气体场离子束源供应惰性气体。