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公开(公告)号:KR100590052B1
公开(公告)日:2006-06-19
申请号:KR1020040104923
申请日:2004-12-13
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07F7/02
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 새로운 실리콘 착화합물 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 실리콘에 디알킬아미노기가 배위된 착화합물은 열적으로 안정하고 공기 중에서도 안정하며 휘발성이 높고 CVD에 의한 박막 형성시 탄소나 할로겐 오염을 일으키지 않아 양질의 실리콘 또는 실리콘 산화물 박막을 제조하는데 유리하게 이용될 수 있다.
Si(O
t Bu)
2 (OCR
1 R
2 CH
2 NR
3
2 )
2
상기 식에서, R
1 , R
2 및 R
3 는 각각 독립적으로 C
1 -C
4 선형 또는 분지형 알킬이다.Abstract translation: 本发明涉及到的是,根据本发明,二烷基氨基配位与新的硅配合物的化合物的硅配位化合物和由下式表示的方法(1)它是其中热稳定的空气,并通过CVD法在高挥发性的薄膜形成稳定 它不会导致碳或卤素污染,并且可以有利地用于生产高质量的硅或氧化硅薄膜。
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公开(公告)号:KR100584199B1
公开(公告)日:2006-05-29
申请号:KR1020040009482
申请日:2004-02-13
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07F7/28
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 티타늄 질화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 티타늄 질화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 티타늄 질화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.
상기 식에서,
2개의 R은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이고,
4개의 R'은 각각 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 알킬실릴기이다.-
公开(公告)号:KR1020060015063A
公开(公告)日:2006-02-16
申请号:KR1020040063890
申请日:2004-08-13
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C01G27/02
Abstract: 본 발명은 아래 화학식 1로 나타낸 하프늄 선구 물질 Hf(mp)
4 [tetrakis(3-methyl-3-pentoxy)hafnium(IV), 테트라키스(3-메틸-3-펜톡시)하프늄(IV)]를 하프늄의 원료 화합물로 사용하여 원자층 침착법 (atomic layer deposition, ALD)으로 하프늄 산화물 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로, 1) Hf(mp)
4 를 하프늄 원으로 ALD 반응기에 공급하여 기질 위에 하프늄 함유 화학종을 흡착시키는 단계, 2) 반응하지 않은 하프늄 원 및 반응 부산물을 반응기로부터 제거하는 제1 정화 단계, 3) 반응기에 산소 원을 공급하여 하프늄 함유 화학종이 흡착한 기질 위에 산소 화학종을 흡착시켜 반응을 일으키는 단계, 4) 반응하지 않은 산소 원과 반응 부산물을 반응기로부터 제거하는 제2 정화 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따르면 기존의 원자층 침착법에 비해 더 온화한 공정 조건에서 품질이 좋은 하프늄 산화물 박막을 얻을 수 있다.-
64.
公开(公告)号:KR100532030B1
公开(公告)日:2005-12-01
申请号:KR1020030067950
申请日:2003-09-30
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시한 신규의 팔라듐 아미노알콕사이드 화합물에 관한 것으로, 본 발명에 따른 팔라듐 선구 물질은 상온에서 고체 상태로 존재하며 외부 환원제 없이 나노 크기의 팔라듐 촉매를 제조하는 데 유용하게 사용할 수 있다.
상기 식에서,
m은 1 내지 3의 정수이고,
R 및 R'은 각각 독립적으로 플루오르를 포함하거나 포함하지 않는 C
1 -C
4 의
선형 또는 분지형 알킬 기이다.-
65.
公开(公告)号:KR100523987B1
公开(公告)日:2005-10-26
申请号:KR1020030057134
申请日:2003-08-19
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C23C16/00
Abstract: 본 발명은 직접 액체 주입 금속 유기물 화학 증착법에 의해 티탄산바륨스트론튬 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 바륨, 스트론튬 및 티타늄의 원료로서 Ba(thd)
2 (tmeea), Sr(thd)
2 (tmeea) 및 Ti(thd)
2 (O
i Pr)
2 {thd = 2,2,6,6-테트라메틸헵탄디오네이트, tmeea = 트리스[2-(2-메톡시에톡시)에틸]아민, O
i Pr = 이소프로폭시} 각각을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 본 발명의 방법에 의하면, 고품위의 화학량론적 티탄산바륨스트론튬 박막을 보다 온화한 조건에서 제조할 수 있다.-
公开(公告)号:KR1020050081300A
公开(公告)日:2005-08-19
申请号:KR1020040009482
申请日:2004-02-13
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07F7/28
CPC classification number: C07F7/28 , C23C16/34 , C23C16/45525
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 티타늄 질화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 티타늄 질화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 티타늄 질화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.
상기 식에서,
2개의 R은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이고,
4개의 R'은 각각 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 알킬실릴기이다.-
公开(公告)号:KR1020050071770A
公开(公告)日:2005-07-08
申请号:KR1020040000080
申请日:2004-01-02
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07C215/08
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1 로 표시되는 전자 주개로 기능화된 아미노알코올 화합물 및 이를 공기 분위기의 수용액 중에서 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기능화된 아미노알코올 화합물은 금속과 결합되어 안정하고 휘발성이 향상된 금속 알콕사이드 착화합물을 제공하며, 이를 이용하여 질이 좋은 금속 또는 금속 산화물 박막을 제조할 수 있다.
상기 식에서,
R
1 은 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기, 또는 Y(CH
2 )
m CH(R
* )-(여기에서, Y는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알콕시기 또는 디(C
1 -C
4 알킬)아민이고, R
* 는 수소, 또는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기이며, m은 1 내지 3의 정수이다) 이고,
R
2 는 수소, 또는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기이며,
R'는 서로 같거나 상이하며, 플루오르를 포함하거나 포함하지 않는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기 또는 알킬실릴기이다.-
68.
公开(公告)号:KR1020050035606A
公开(公告)日:2005-04-19
申请号:KR1020030071028
申请日:2003-10-13
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C07F15/045 , B82Y40/00 , C07F1/08
Abstract: 본 발명은 구리 및 니켈 금속 나노선 또는 나노막대를 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 자체 열분해가 가능한 아미노알콕시 금속 착화합물로부터 나노크기의 기공을 가지는 물질을 주형체로 사용하여 구리 및 니켈 금속 나노선 또는 나노막대를 제조할 수 있다.
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69.
公开(公告)号:KR1020050031706A
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:KR1020030067950
申请日:2003-09-30
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: B01J37/088 , B01J23/44 , B82Y30/00
Abstract: Provided are a palladium aminoalkoxide compound in a solid state at room temperature and a process for preparation of palladium nano-catalyst using the same without external reduction agent to exhibit extremely high volatility and thermal stability and high catalytic activity in organic synthesis applications. The palladium(II) aminoalkoxide compound or hydrate thereof represented by following formula 1, wherein m is an integer of 1 to 3; R and R' include fluorine or not and are linear or branched alkyl groups having C1-C4. The compound is prepared reacting any one of bis(acetonitril)dihalogenated palladium(II) compound and alkali metal salt of aminoalkoxide, or halogenated palladium(II) compound and alkali metal salt of aminoalkoxide. The process for preparing palladium nano-particles comprises thermally decomposing the palladim(II) aminoalkoxide compound or hydrate thereof at 100 to 300 deg.C under an organic compound containing an electron donor element.
Abstract translation: 提供在室温下为固态的钯氨基烷氧化物化合物和使用其而没有外部还原剂的钯纳米催化剂的制备方法,在有机合成应用中表现出非常高的挥发性和热稳定性以及高催化活性。 由下式1表示的其中m为1至3的整数的氨基醇化合物(II)或其水合物; R和R'包括不是氟,并且是具有C 1 -C 4的直链或支链烷基。 制备化合物,使二(乙腈)二卤化钯(II)化合物和氨基烷氧化物的碱金属盐或卤化钯(II)化合物和氨基烷氧化物的碱金属盐中的任何一种反应制备。 制备钯纳米颗粒的方法包括在含有电子给体元素的有机化合物下在100至300℃下热分解帕拉米德(II)氨基烷氧基化合物或其水合物。
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公开(公告)号:KR1020040085982A
公开(公告)日:2004-10-08
申请号:KR1020030020858
申请日:2003-04-02
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: B01J23/74 , B01J23/755 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/166 , C01B2202/36 , D01F9/12 , Y02P20/544 , B82B3/00 , C01B32/05
Abstract: PURPOSE: Provided is a method for producing carbon nanotubes at low temperature and low costs in a large quantity through liquid-state reaction by treating liquid hydrocarbon materials as carbon sources under supercritical condition. CONSTITUTION: Carbon nanotubes are produced by the following steps of: (i) putting a mixture of 80-99.999wt.% of hydrocarbon materials, one or more of mixtures selected from saturated hydrocarbon, unsaturated carbon, aromatic hydrocarbon and derivatives thereof, and 0.001-20wt.% of nucleus materials in a high pressure vessel, wherein the nucleus materials are nano-sized metal particles or metal oxides enabling formation of seeds, and the metals are one or more of mixtures selected from transition metals comprising Co, Ni and Fe, precious metals(Pt, Pd), alkali metals and alkali earth metals; (ii) applying pressure of 1-400atm. and 200-800deg.C of temperature to liquid hydrocarbon materials for 1-600min to be in equilibrium between liquid state and vapor state; (iii) cooling reactants(supercritical fluid) at a rate of 0.01-50deg.C/min which is the same as a heating rate; (iv) separating carbon nanotubes from reactants. The resultant carbon nanotubes are applied to field emitters, nano-composites and nano devices.
Abstract translation: 目的:提供一种通过在超临界条件下处理液态烃材料作为碳源,通过液态反应在低温低成本生产碳纳米管的方法。 构成:碳纳米管通过以下步骤制备:(i)将80-99.999重量%的烃材料,一种或多种选自饱和烃,不饱和碳,芳族烃及其衍生物的混合物和0.001 -20重量%的核材料在高压容器中,其中核材料是能够形成种子的纳米尺寸金属颗粒或金属氧化物,并且金属是一种或多种选自包含Co,Ni和Fe的过渡金属的混合物 ,贵金属(Pt,Pd),碱金属和碱土金属; (ii)施加1-400atm的压力。 和200-800℃的温度对液态烃材料1-600min处于液态和蒸汽状态之间的平衡状态; (iii)以与加热速度相同的0.01-50℃/分钟的速度冷却反应物(超临界流体); (iv)从反应物中分离碳纳米管。 所得碳纳米管应用于场发射体,纳米复合材料和纳米器件。
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