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    BELEUCHTUNGSINTENSITÄTS-KORREKTURVORRICHTUNG ZUR VORGABE EINER BELEUCHTUNGSINTENSITÄT ÜBER EIN BELEUCHTUNGSFELD EINER LITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE
    1.
    发明申请
    BELEUCHTUNGSINTENSITÄTS-KORREKTURVORRICHTUNG ZUR VORGABE EINER BELEUCHTUNGSINTENSITÄT ÜBER EIN BELEUCHTUNGSFELD EINER LITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE 审中-公开

    公开(公告)号：WO2019096604A1

    公开(公告)日：2019-05-23

    申请号：PCT/EP2018/080140

    申请日：2018-11-05

    Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH ,  ASML NETHERLANDS B.V.

    Inventor： VAN GORKOM, Ramon ,  ENDRES, Martin

    IPC: G03F7/20

    Abstract: Eine Beleuchtungsintensitäts-Korrekturvorrichtung (24) dient zur Vorgabe einer Beleuchtungsintensität über ein Beleuchtungsfeld (18) einer lithografischen Projektionsbelichtungsanlage. Die Korrekturvorrichtung (24) hat eine Mehrzahl von nebeneinander angeordneten, stabförmigen Einzelblenden (27). Ein Verlagerungsantrieb dient zur Verlagerung mindestens einiger der Einzelblenden (27) zumindest längs ihrer jeweiligen Stabachse (28). Freie Enden der Einzelblenden (27) sind mit Hilfe des Verlagerungsantriebes (29) individuell zur Vorgabe einer längs einer Korrekturdimension (x) quer zu den Stabachsen (28) wirkenden Intensitätskorrektur einer Beleuchtung des Beleuchtungsfeldes (18) in eine vorgegebene Verlagerungsposition verlagerbar. Die Einzelblenden (27) gehören zu mindestens drei Abstands-Blendengruppen (I bis IV) und haben jeweils einen anderen Abstand (a I bis a IV ) zu einer Blenden-Referenzebene (16). Letztere ist aufgespannt von einer Stab-Referenzachse (y) parallel zu den Stabachsen (28) und einer Korrektur-Referenzachse (x) längs der Korrekturdimension und gibt eine Anordnungsebene für das Beleuchtungsfeld (18) vor. Es resultiert eine Korrekturvorrichtung mit verbesserter Korrekturgenauigkeit.

    ACTUATION MECHANISM, OPTICAL APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICES
    3.
    发明申请
    ACTUATION MECHANISM, OPTICAL APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICES 审中-公开
    执行机构，光学装置，光刻设备和制造装置的方法

    公开(公告)号：WO2014060170A1

    公开(公告)日：2014-04-24

    申请号：PCT/EP2013/069301

    申请日：2013-09-17

    Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.

    Inventor： VAN SCHOOT, Jan ,  HOL, Sven ,  BUIS, Edwin ,  REKKERS, Erik ,  DE VRIES, Gosse ,  BOTMA, Hako ,  VAN DAM, Marinus ,  VAN GORKOM, Ramon

    IPC: G03F7/20 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08

    CPC classification number: G03F7/70091 ,  G01C9/06 ,  G01C2009/066 ,  G02B7/1821 ,  G03F7/70116 ,  H01F7/0231 ,  H01F7/206 ,  H01H2051/2218 ,  H02K41/00

    Abstract: An actuator (300) to displace, for example a mirror, provides movement with at least two degrees of freedom by varying the currents in two electromagnets (370, 372, 376, 378). A moving part includes a permanent magnet (362) with a magnetic face constrained to move over a working area lying substantially in a first plane perpendicular to a direction of magnetization of the magnet. The electromagnets have pole faces (380, 382) lying substantially in a second plane closely parallel to the first plane, each pole face substantially filling a quadrant of the area traversed by the face of the moving magnet. An optical position sensor (390) may direct a beam of radiation (398) at the moving magnet through a central space between the electromagnets. The sizes of facets in a pupil mirror device may be made smaller in a peripheral region, but larger in a central region, thereby relaxing focusing requirements.

    Abstract translation: 用于移位例如反射镜的致动器（300）通过改变两个电磁体（370,372,376,378）中的电流来提供具有至少两个自由度的运动。 移动部件包括永磁体（362），其具有被限制在基本垂直于磁体的磁化方向的第一平面中的工作区域上移动的磁性面。 电磁体具有基本上位于与第一平面紧密平行的第二平面中的极面（380,382），每个极面基本上填充由移动磁体的表面穿过的区域的象限。 光学位置传感器（390）可以通过电磁体之间的中心空间来引导移动磁体处的辐射束（398）。 瞳孔镜装置中的小平面的尺寸可以在外围区域中较小，但在中心区域较大，从而放松聚焦要求。

    ACTUATION MECHANISM, OPTICAL APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICES
    7.
    发明公开
    ACTUATION MECHANISM, OPTICAL APPARATUS, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICES 审中-公开
    控制机制的光学设备，光刻设备和方法的设备生产

    公开(公告)号：EP2906994A1

    公开(公告)日：2015-08-19

    申请号：EP13770854.1

    申请日：2013-09-17

    Applicant: ASML Netherlands B.V.

    Inventor： VAN SCHOOT, Jan ,  HOL, Sven ,  BUIS, Edwin ,  REKKERS, Erik ,  DE VRIES, Gosse ,  BOTMA, Hako ,  VAN DAM, Marinus ,  VAN GORKOM, Ramon

    IPC: G03F7/20 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08

    Abstract: An actuator to displace, for example a mirror, provides movement with at least two degrees of freedom by varying the currents in two electromagnets. A moving part includes a permanent magnet with a magnetic face constrained to move over a working area lying substantially in a first plane perpendicular to a direction of magnetization of the magnet. The electromagnets have pole faces lying substantially in a second plane closely parallel to the first plane, each pole face substantially filling a quadrant of the area traversed by the face of the moving magnet. An optical position sensor may direct a beam of radiation at the moving magnet through a central space between the electromagnets. The sizes of facets in a pupil mirror device may be made smaller in a peripheral region, but larger in a central region, thereby relaxing focusing requirements.

    Abstract translation: 的致动器以替换，对于实施例的反射镜，通过在两个电磁体不同的电流提供具有至少两个自由度的运动。 移动部分包括具有约束移动超过在第一基本上位于同一平面的工作区域的磁面的永久磁铁在垂直于磁体的磁化方向。 电磁铁具有极面在第二平面中基本上位于密切平行于所述第一平面中，每个极面基本上填充通过移动磁铁的面横穿的区域的一个象限。 光学位置传感器可以通过电磁体之间的中央空间直接在移动磁体的辐射束。 在光瞳反射镜装置刻面的尺寸可以在中央区域制成在外围区域中较小，但较大的，从而缓和聚焦的要求。

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