滤色片的制造方法、固体摄像器件和摄像机

    公开(公告)号:CN1637618A

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN200410104463.9

    申请日:2004-12-27

    CPC classification number: G02B5/201

    Abstract: 一种滤色片的制造方法,包括:涂敷形成负性颜料彩色光阻剂的工序;在上述负性颜料彩色光阻剂的上部涂敷形成氧透过防止膜的工序;从上述氧透过防止膜的上方对规定区域进行曝光的工序;以及,利用显影液至少除去上述规定区域外的上述负性颜料彩色光阻剂和上述氧透过防止膜、并在上述规定区域形成由上述负性颜料彩色光阻剂构成的滤色片的工序。

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