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    WORKPIECE TRANSPORT AND POSITIONING APPARATUS
    121.
    发明申请
    WORKPIECE TRANSPORT AND POSITIONING APPARATUS 审中-公开
    工作运输和定位设备

    公开(公告)号：WO2015070222A1

    公开(公告)日：2015-05-14

    申请号：PCT/US2014/065030

    申请日：2014-11-11

    Applicant: HOWARD HUGHES MEDICAL INSTITUTE

    Inventor： PRICE, John, H. ,  BOCK, Dravida

    IPC: H01J37/20

    CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/185 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/26

    Abstract: An automated workpiece processing apparatus including a processing section including a processing module configured for processing a workpiece at a process location, a transport module including a first shuttle stage, a second shuttle stage independent of the first stage, and an end effector connected to at least one of the first and second stages, the end effector being configured to hold and transport the workpiece into and out of the processing module, and having a range of motion, defined by a combination of the first and second stage, extending from a workpiece holding station outside the processing module to the processing location inside the processing module so the end effector defines a processing stage of the processing module, and an automated loading and transport section including a load port module through which workpieces are loaded into the automated loading and transport section, and being communicably connected to the transport module.

    Abstract translation: 一种自动化工件处理装置，包括处理部分，其包括处理模块，所述处理模块被配置为在处理位置处理工件;传输模块，包括第一穿梭台，独立于所述第一阶段的第二梭动台，以及至少连接至少 第一和第二阶段中的一个，末端执行器被构造成保持和运送工件进出处理模块，并且具有由第一和第二阶段的组合限定的运动范围，该范围从工件夹持 处理模块外部的处理站内的处理位置，使得末端执行器限定处理模块的处理阶段，以及自动装载和传送部分，其包括装载端口模块，通过该装载端口模块将工件装载到自动装载和传送部分中 并且可传输地连接到传送模块。

    IN-VACUUM HIGH SPEED PRE-CHILL AND POST-HEAT STATIONS
    123.
    发明申请
    IN-VACUUM HIGH SPEED PRE-CHILL AND POST-HEAT STATIONS 审中-公开
    真空高速预冷和后加热站

    公开(公告)号：WO2014022844A2

    公开(公告)日：2014-02-06

    申请号：PCT/US2013/053567

    申请日：2013-10-02

    Applicant: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. ,  LEE, William ,  REYNOLDS, William ,  STONE, Stanley

    Inventor： LEE, William ,  REYNOLDS, William ,  STONE, Stanley

    IPC: H01J37/317

    CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31705 ,  H01L21/02002 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766

    Abstract: An ion implantation system provides ions to a workpiece positioned in a vacuum environment of a process chamber on a cooled chuck. A pre-chill station within the process chamber has a chilled workpiece support configured to cool the workpiece to a first temperature, and a post-heat station within the process chamber, has a heated workpiece support configured to heat the workpiece to a second temperature. The first temperature is lower than a process temperature, and the second temperature is greater than an external temperature. A workpiece transfer arm is further configured to concurrently transfer two or more workpieces between two or more of the chuck, a load lock chamber, the pre-chill station, and the post-heat station.

    Abstract translation: 离子注入系统向位于冷却卡盘上的处理室的真空环境中的工件提供离子。 处理室内的预冷站具有构造成将工件冷却到第一温度的冷冻工件支撑件，并且处理室内的后加热站具有被配置为将工件加热到第二温度的加热工件支撑件。 第一温度低于处理温度，第二温度大于外部温度。 工件传送臂还被构造成在卡盘，加载锁定室，预冷站和后加热站之间的两个或更多个之间同时传送两个或更多个工件。

    SAMPLE BLOCK HOLDER
    124.
    发明申请
    SAMPLE BLOCK HOLDER 审中-公开
    样品块支架

    公开(公告)号：WO2013063208A1

    公开(公告)日：2013-05-02

    申请号：PCT/US2012/061823

    申请日：2012-10-25

    Applicant: FEI COMPANY

    Inventor： BARRETT, Matthew ,  SMITH, Michael, D. ,  GERYK, Michal ,  SCAGNETTI, Paul ,  TOVEY, Richard

    IPC: G01N1/36 ,  G01N23/225

    CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N2223/307 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2826

    Abstract: A sample holder assembly includes a sample tray, a base plate, a stage mount, and a calibration standard mounted onto the stage mount. Three mating structures on the bottom of the base plate mate with corresponding structures on a stage mount that is attached to the sample stage of the SEM. An optional contacting conductor provides electrical contact between the stage mount and the base plate so that charge generated on the sample by the electron beam can leave the sample through the sample conductive layer to the sample tray, to the base plate, to the stage mount, and through the grounded stage.

    Abstract translation: 样品架组件包括样品托盘，基板，载物台和安装在载物台上的校准标准品。 底板底部的三个配合结构与安装在扫描电镜样品台上的台架上的相应结构配合。 可选的接触导体提供台架和基板之间的电接触，使得通过电子束在样品上产生的电荷可以使样品通过样品导电层到样品托盘，到基板，到载物台， 并通过接地阶段。

    電子分光器を有する透過型電子顕微鏡装置，試料ホルダ，試料台及びスペクトル像の取得方法
    126.
    发明申请
    電子分光器を有する透過型電子顕微鏡装置，試料ホルダ，試料台及びスペクトル像の取得方法 审中-公开
    包含电子光谱仪，样品座，样品阶段和采集光谱图像的传输电子显微镜装置

    公开(公告)号：WO2009157358A1

    公开(公告)日：2009-12-30

    申请号：PCT/JP2009/061062

    申请日：2009-06-11

    Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ ,  寺田 尚平 ,  谷口 佳史

    Inventor： 寺田 尚平 ,  谷口 佳史

    IPC: H01J37/20 ,  G01N23/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26

    CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

    Abstract: 　本発明の透過電子顕微鏡装置（１）は、電子銃（２）と、収束レンズ（４）と、複数個の試料（１８，１９）を配置する複数個の試料台（２０，２１）と、試料台（２０，２１）を移動する試料移動制御装置（２２）と、試料（１８，１９）を透過した電子線（３）を結像する結像レンズ（７）と、結像された電子線（３）の有するエネルギー量により電子線（３）を分光し、エネルギー分散軸及びエネルギー分散軸と直交する方向とで収束位置を異ならせたスペクトル像を取得する電子分光器（８）と、前記スペクトル像を表示する画像表示装置（１４）とを備える。 これにより、複数個の試料から同時にスペクトル像を取得し、スペクトル像より抽出された電子エネルギー損失スペクトルから、高精度のケミカルシフトを測定することが可能になった。

    Abstract translation: 透射电子显微镜装置（1）具备电子枪（2），会聚透镜（4），设置有多个试样（18,19）的多个试样台（20,21），试样运动控制装置 （22），用于移动所述样品台（20,21），用于对通过所述样品（18,19）透射的电子束（3）进行成像的成像透镜（7），用于分散所述电子束的电子分光镜（8） 3）通过成像电子束（3）的能量获取在能量色散轴和与能量色散轴正交的方向上具有不同会聚位置的光谱图像，以及用于显示光谱的图像显示单元（14） 图片。 因此，可以从多个样本同时获取光谱图像，并且可以从从光谱图像提取的电子能量损失谱中以高精度测量化学位移。

    イオン注入装置、基板クランプ機構、及びイオン注入方法
    127.
    发明申请
    イオン注入装置、基板クランプ機構、及びイオン注入方法 审中-公开
    离子植入装置，基板夹紧机构和离子植入方法

    公开(公告)号：WO2009028065A1

    公开(公告)日：2009-03-05

    申请号：PCT/JP2007/066855

    申请日：2007-08-30

    Applicant: 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  高橋 秀徳

    Inventor： 高橋 秀徳

    IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317

    CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68771

    Abstract: 【課題】バッチ式のイオン注入装置において、ディスクと基板との位置合わせを簡単に行うことが可能なイオン注入装置、基板クランプ機構、及びイオン注入方法を提供すること。 【解決手段】第１の軸Aを中心にして回動するディスク１８と、第２の軸Bを中心にしてディスク１８上で回動自在であり、錘付きホルダー５０が周囲に装着された基板Wが載せられるパッド３１と、パッド３１の周囲のディスク１８に固定された固定ピン３０と、ディスク１８の回動運動により、自身の遠心力で該ディスク１８上をスライドして、固定ピン３０と協働してホルダー５０をクランプするスライド片３２と、基板Wにイオンビーム２０を照射するイオンビーム発生部５とを有するイオン注入装置による。

    Abstract translation: 提供批量离子注入装置，衬底夹持机构和能够在盘和衬底之间进行简单对准的离子注入方法。 用于解决问题的手段离子注入装置包括围绕第一轴线（A）旋转的盘（18），可绕盘（18）的第二轴线（B）旋转的衬垫， 安装有在其周边具有加重保持器（50）的基板（W），固定在盘（18）周围的固定销（30）围绕垫（31），在盘（18）上滑动的滑动片（32） 通过盘（18）的旋转运动和与固定销（30）协作夹紧保持器（50）的离心力和离子束（20）照射衬底（W）的离子束发生器（5） ）。

    METHODS AND APPARATUS FOR PROVIDING AND PROCESSING SLICED THIN TISSUE
    128.
    发明申请
    METHODS AND APPARATUS FOR PROVIDING AND PROCESSING SLICED THIN TISSUE 审中-公开
    用于提供和处理简单薄组织的方法和装置

    公开(公告)号：WO2008066846A8

    公开(公告)日：2008-08-07

    申请号：PCT/US2007024507

    申请日：2007-11-28

    Applicant: HARVARD COLLEGE ,  HAYWORTH KENNETH ,  KASTHURI NARAYANAN ,  LICHTMAN JEFF ,  HARTWIEG ERIKA

    Inventor： HAYWORTH KENNETH ,  KASTHURI NARAYANAN ,  LICHTMAN JEFF ,  HARTWIEG ERIKA

    IPC: G01N1/06

    CPC classification number: G01N1/06 ,  G01N1/312 ,  G01N2001/066 ,  G01N2001/362 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/26 ,  Y10T83/04 ,  Y10T83/141

    Abstract: Methods and apparatus for providing and processing serial tissue sections. In one example, an "automatic tape collecting lathe ultramicrotome" (ATLUM) slices a block of tissue sample having various geometries into a continuous ribbon of thin tissue, or multiple thin tissue sections, and disposes the sliced thin tissue on an appropriate substrate to facilitate subsequent imaging of the sliced thin tissue. Closed-loop control of section thickness of the sliced thin tissue sections or ribbons is implemented to produce thinner sliced tissue sections or ribbons and tightly regulate thickness. Thin tissue sections or ribbons may be particularly processed/prepared to facilitate imaging with a scanning electron microscope (SEM). Collected thin tissue sections or ribbons may be used to create UltraThin Section Libraries (UTSLs) that allow for fully automated, time-efficient imaging in the SEM to faciliate expansive tissue studies.

    Abstract translation: 用于提供和处理连续组织切片的方法和装置。 在一个示例中，“自动收集车床超薄切片机”（ATLUM）将具有各种几何形状的组织样品块切割成薄组织或多个薄组织切片的连续带，并将切片的薄组织置于合适的基底上以便于 切片薄组织的随后成像。 实施切片的薄组织切片或带的切片厚度的闭环控制以产生更薄的切片的组织切片或丝带并且紧密地调节厚度。 薄组织切片或带可以特别加工/制备，以便于用扫描电子显微镜（SEM）进行成像。 收集的薄组织切片或条带可用于创建UltraThin Section Libraries（UTSL），允许在SEM中进​​行全自动化，时间有效的成像，以促进膨胀性组织研究。

    METHOD AND APPARATUS FOR IN-SITU PROBE TIP REPLACEMENT INSIDE A CHARGED PARTICLE BEAM MICROSCOPE
    129.
    发明申请
    METHOD AND APPARATUS FOR IN-SITU PROBE TIP REPLACEMENT INSIDE A CHARGED PARTICLE BEAM MICROSCOPE 审中-公开
    在充电颗粒光束显​​微镜内部的现场探针尖端替换的方法和装置

    公开(公告)号：WO2006020324A2

    公开(公告)日：2006-02-23

    申请号：PCT/US2005025745

    申请日：2005-07-21

    Applicant: MOORE THOMAS M ,  ZAYKOVA-FELDMAN LYUDMILA

    Inventor： MOORE THOMAS M ,  ZAYKOVA-FELDMAN LYUDMILA

    IPC: G21K7/00

    CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2005 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/262 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

    Abstract: We disclose a gripper and associated apparatus and methods for delivering nano-manipulator probe tips inside a vacuum chamber. The gripper includes a tube; a compression cylinder inside of and coaxial with the tube; and at least one elastic ring adjacent to the compression cylinder. There is a vacuum seal coaxial with the compression cylinder for receiving and sealing against a probe tip. An actuator is connected to the compression cylinder for compressing the elastic ring and causing it to grip the probe tip. Thus the probe tip can be gripped, transferred to a different location in the vacuum chamber, and released there. Samples attached to the probe tips will be transferred to a TEM sample holder, shown in several embodiments, that includes a bar having opposed ends; an arm attached to each opposed end of the bar; one or more slots for receiving a probe tip; and, each slot having an inner part and an outer part, where the inner part is smaller than the outer part. The TEM sample holders just described are inserted into a carrier cassette. A cassette for transferring one or more TEM sample holders comprises a platform; at least one bar extending upwardly from the platform; the bar having a groove for receiving and holding a TEM sample holder. A rotatable magazine holds one or more probe tips and selectively releases the tips. The magazine includes a cartridge having a plurality of longitudinal openings for receiving probe tips and dispensing probe tips.

    Abstract translation: 我们公开了一种夹具和相关的装置和方法，用于在真空室内输送纳米机械手探头尖端。 夹具包括管; 压缩缸内部并与管同轴; 以及与压缩圆筒相邻的至少一个弹性环。 存在与压缩筒同轴的真空密封件，用于接收和密封探针尖端。 致动器连接到压缩气缸，用于压缩弹性环并使其夹持探针尖端。 因此，探针尖端可以被夹持，转移到真空室中的不同位置，并在那里释放。 附接到探针尖端的样品将转移到TEM样品保持器，如几个实施方案中所示，其包括具有相对端的棒; 连接到杆的每个相对端的臂; 用于接收探头尖端的一个或多个狭槽; 并且每个狭槽具有内部部分和外部部分，其中内部部分小于外部部分。 刚刚描述的TEM样品架被插入到载体盒中。 用于转移一个或多个TEM样品保持器的盒子包括平台; 从平台向上延伸的至少一个杆; 该棒具有用于容纳和保持TEM样品保持器的凹槽。 一个可旋转刀库可容纳一个或多个探针尖端并选择性地释放尖端。 该盒包括具有多个用于接收探针尖端并分配探针尖端的多个纵向开口的盒。

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