MEMS加速度计标度因数批量化测试装置及方法

    公开(公告)号:CN119827798A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202411943489.6

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计标度因数批量化测试装置及方法,装置包括离心机和多个测试工装,离心机具有离心机圆盘,多个测试工装沿离心机圆盘的周向均匀间隔设置在圆盘面上,其中,每两个对称测试工装为一组,测试工装包括:固定底板、测试电路转接工装、加速度计固定装置和测试电路板,固定底板固定设置在圆盘上,测试电路转接工装为两个,对称间隔固定在固定底板上,测试电路板固定设置在两个转接工装上,加速度计通过加速度计固定装置设置在测试电路板上并与测试电路板电气联结。本发明通过使用特定的批量测试工装和计算方法,同时完成多只加速度计的标度因数对称性测试。

    基于ARM的MEMS器件标度因数补偿系统

    公开(公告)号:CN117949012A

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202311828547.6

    申请日:2023-12-27

    Abstract: 本发明提供一种基于ARM的MEMS器件标度因数补偿系统,该系统包括ARM芯片、A/D转换模块、标度因数补偿模块和标准信息输出模块,其中,所述ARM芯片控制所述A/D转换模块采集MEMS器件未补偿前输出的传感器信息,并将该传感器信息采集进入ARM芯片,所述A/D转换模块将传感器信息转换之后输出至所述标度因数补偿模块,所述标准信息输出模块输出加速度/角速率标准信息至所述标度因数补偿模块,所述标度因数补偿模块根据其输入进行标度因数补偿。该技术方案可以根据不同的MEMS器件类型修正其标度因数误差,使得在MEMS器件规定的工作温度范围内标度因数能够满足要求的误差范围。

    惯性仪表震荡元件多模态及Q值测试方法及系统

    公开(公告)号:CN116448141A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202211163273.9

    申请日:2022-09-23

    Abstract: 本发明提供一种惯性仪表震荡元件多模态及Q值测试方法及系统,包括:输出白噪声至测试电路以激励震荡元件,并采集对应的输出信号;对输出信号进行FFT处理;当提取到谐振频率信息时,则输出频率为谐振频率的正弦信号至测试电路以激励使震荡元件使其发生谐振;在谐振状态达到稳定后撤掉正弦信号;采集撤掉正弦信号后输出的自由衰减信号;根据自由衰减信号获取Q值;切换测试通道,重复步骤,测试另一模态的Q值。该技术方案通过非扫频方法及自动化测试,先测谐振频率再测Q值,可有效减少测试时间,快速对表头性能进行初步评价和筛选。

    振梁结构及振梁加速度计敏感结构

    公开(公告)号:CN112730892A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011438663.3

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明涉及机械技术领域,公开了一种振梁结构及振梁加速度计敏感结构。其中,该振梁结构包括两个连接单元、两个锁能单元、两个驻波节点和两个叉指,两个所述叉指并联连接在两个所述驻波节点之间,每个锁能单元一端与一个所述驻波节点未连接两个所述叉指的一端连接,另一端与一个所述连接单元连接。由此,可以通过驻波节点与锁能单元配合实现双叉指振动能量的内聚,提高振梁Q值,提高加速度计快速启动特性。并且,锁能单元对对称性要求低,降低了振梁加工难度,提高了成品率,降低了加工成本。此外,振梁在总长度、厚度不变的情况下降低了振梁Z向刚度,提高了加速度计标度因数。

    一种分立式Sigma-delta电路
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115865096B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202211356551.2

    申请日:2022-11-01

    Abstract: 本发明提供了一种分立式Sigma‑delta电路,该电路包括FPGA芯片、高速开关、载波发生模块以及依次连接的电荷转移模块、前置放大电路、A/D转换单元和解调滤波单元,FPGA芯片分别与高速开关、A/D转换单元和解调滤波单元连接,高速开关分别与载波发生模块、前置放大电路和电荷转移模块连接,载波发生模块与MEMS加速度计的输入端连接,电荷转移模块与MEMS加速度计的输出端连接。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中流片开发周期长、改造难度大并受模拟器件适配影响导致误差较大的技术问题。

    用于石英音叉陀螺温度自适应补偿方法及系统

    公开(公告)号:CN115523911A

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202211163447.1

    申请日:2022-09-23

    Abstract: 本发明提供一种用于石英音叉陀螺温度自适应补偿方法及系统。包括:获取零位全温测试数据和标度因数全温测试数;设计零位自适应温度补偿模型和标度因数自适应补偿模型;根据零位温度补偿模型使用自适应温度分段方法获取多个零位温度补偿参数;根据标度因数自适应补偿模型获取多个标度因数补偿参数;根据零位温度补偿参数将实时陀螺角速率信号经过零位补偿算法进行零位温度补偿,然后再根据标度因数补偿参数进行标度因数温度补偿并输出。与现有技术相比,本发明的技术方案能够解决现有技术中石英音叉陀螺温度补偿存在的补偿精度有限的技术问题。

    一种基于ARM的加速度计非线性补偿电路及补偿方法

    公开(公告)号:CN115389783A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202210995699.4

    申请日:2022-08-18

    Abstract: 本发明提供了一种基于ARM的加速度计非线性补偿电路及补偿方法,该补偿电路包括ARM芯片、标准离心输出模块、载波发生模块以及依次连接的信号处理模块、A/D转换模块、解调滤波模块和非线性补偿模块,载波发生模块与加速度计的输入端连接,信号处理模块与加速度计的输出端连接,非线性补偿模块与标准离心输出模块连接,ARM芯片分别与载波发生模块、A/D转换模块以及非线性补偿模块连接,ARM芯片中包含多种补偿算法。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中补偿算法单一、补偿效果较差且无法实时在线补偿的技术问题。

    Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计

    公开(公告)号:CN114994362A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210620692.4

    申请日:2022-06-02

    Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计,包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组,加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构,任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板,第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接,第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接,第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接,第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接,第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。

    敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计

    公开(公告)号:CN113791241A

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202110913158.8

    申请日:2021-08-10

    Abstract: 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计,该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环,应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔,振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置,振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件,摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件,第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘,第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。

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