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公开(公告)号：CN115267254A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210866064.4
申请日：2022-07-22
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/125 , H03F3/70
Abstract: 本发明提供了一种敏感结构初始电容测量电路及初始电容测量方法，该敏感结构包括固定结构梳齿和可动质量梳齿，测量电路包括测试探针、载波发生电路、电荷放大电路、解调电路和滤波输出电路，测试探针包括输入探针和输出探针，输入探针和输出探针分别与固定结构梳齿和可动质量梳齿连接，载波发生电路的输出端分别与输入探针和解调电路的输入端连接，电荷放大电路的输入端与输出探针连接，解调电路的输入端还与电荷放大电路的输出端连接，滤波输出电路的输入端与解调电路的输出端连接。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中敏感结构中测方案操作过程复杂、检测设备昂贵、不能满足大批量检测需求的技术问题。
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公开(公告)号：CN111707250A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010493576.1
申请日：2020-06-03
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5621 , F16F15/04 , F16F15/02
Abstract: 本发明涉及一种石英音叉陀螺减振装置，石英音叉(103)、组合梁(301)、膜状结构(302)以及管壳(303)。组合梁(301)包含四个呈空间S形分布弹性梁(311)，外侧与膜状结构(302)固定，内侧与石英音叉中心锚点(104)相连，膜状结构(302)的下部为用于提供稳定封闭环境的管壳(303)。膜状结构(302)整体呈长方形，在与驱动叉指(105)和所述检测叉指(106)对应处开有豁口(320)。在不增大体积的条件下，能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入，抑制应力。
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公开(公告)号：CN111189472A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201811362982.3
申请日：2018-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明属于陀螺标定补偿技术，具体为一种MEMS陀螺组合标定方法，标定刻度系数误差和非正交误差，采用顺时针和逆时针旋转用来抵消地球自转和陀螺零偏，估计陀螺的零偏，确定不同两个静态位置MEMS陀螺输出，建立模型，采用最小二乘拟合出计算出陀螺常值零位。本方法能够实现对误差参数的标定，只要一个直角垂面，就能完成MEMS陀螺组合主要误差参数，包括陀螺常值零偏、刻度系数误差和非正交误差的标定。
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公开(公告)号：CN119986043A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202411959667.4
申请日：2024-12-30
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计测控与补偿电路，所述电路包括ARM芯片、载波发生模块、电荷放大器、前置放大器、A/D转换模块、解调滤波模块以及综合补偿模块；其中，利用ARM芯片控制载波发生模块，生成满足要求的数字合成正弦波；载波发生模块作用于MEMS加速度计上，加速度计敏感到的加速度信息被调制在载波发生模块中产生的正弦载波上，信号经过电荷放大器转换为电压信号，再经过前置放大变成强信号，该强信号被ARM芯片控制的A/D转换模块转换为数字信号，数字信号经过解调滤波模块后，经过综合补偿模块，得到最终的加速度输出。该方案可以根据不同的加速度计表头补偿各类误差，使得加速度计能够在一定的量程范围内稳定输出。
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公开(公告)号：CN117949012A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311828547.6
申请日：2023-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种基于ARM的MEMS器件标度因数补偿系统，该系统包括ARM芯片、A/D转换模块、标度因数补偿模块和标准信息输出模块，其中，所述ARM芯片控制所述A/D转换模块采集MEMS器件未补偿前输出的传感器信息，并将该传感器信息采集进入ARM芯片，所述A/D转换模块将传感器信息转换之后输出至所述标度因数补偿模块，所述标准信息输出模块输出加速度/角速率标准信息至所述标度因数补偿模块，所述标度因数补偿模块根据其输入进行标度因数补偿。该技术方案可以根据不同的MEMS器件类型修正其标度因数误差，使得在MEMS器件规定的工作温度范围内标度因数能够满足要求的误差范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116448141A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202211163273.9
申请日：2022-09-23
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供一种惯性仪表震荡元件多模态及Q值测试方法及系统，包括：输出白噪声至测试电路以激励震荡元件，并采集对应的输出信号；对输出信号进行FFT处理；当提取到谐振频率信息时，则输出频率为谐振频率的正弦信号至测试电路以激励使震荡元件使其发生谐振；在谐振状态达到稳定后撤掉正弦信号；采集撤掉正弦信号后输出的自由衰减信号；根据自由衰减信号获取Q值；切换测试通道，重复步骤，测试另一模态的Q值。该技术方案通过非扫频方法及自动化测试，先测谐振频率再测Q值，可有效减少测试时间，快速对表头性能进行初步评价和筛选。
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公开(公告)号：CN112697120B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202011431601.X
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明提供了一种石英音叉陀螺仪开关解调电路，该电路包括：石英音叉传感器；驱动检测电路，驱动检测电路与石英音叉传感器连接，驱动检测电路用于根据电荷信号输出驱动检测信号；幅值控制电路；驱动信号电路；参考信号电路，参考信号电路与驱动检测电路连接，参考信号电路用于根据驱动检测信号生成解调参考信号；角速度检测电路；解调器，解调器分别与角速度检测电路和参考信号电路连接，解调器用于根据解调参考信号、角速度载波信号和角速度载波反相信号生成角速度解调信号；滤波电路。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中石英音叉陀螺仪开关解调电路输出的角速度信号存在额外误差且额外误差随环境温度发生变化的技术问题。
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公开(公告)号：CN111707250B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202010493576.1
申请日：2020-06-03
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5621 , F16F15/04 , F16F15/02
Abstract: 本发明涉及一种石英音叉陀螺减振装置，石英音叉(103)、组合梁(301)、膜状结构(302)以及管壳(303)。组合梁(301)包含四个呈空间S形分布弹性梁(311)，外侧与膜状结构(302)固定，内侧与石英音叉中心锚点(104)相连，膜状结构(303)。膜状结构(302)整体呈长方形，在与驱动叉指(105)和所述检测叉指(106)对应处开有豁口(320)。在不增大体积的条件下，能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入，抑制应力。(302)的下部为用于提供稳定封闭环境的管壳
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公开(公告)号：CN112658457B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202011435358.9
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种带有减振功能的MEMS器件热压键合方法及工装，该方法包括：1)将载带支撑板固定在工装底板上；2)将载带放置在载带支撑板上；3)将载带压板放置在载带上；4)将载带金属腿压板放置在载带压板上以对载带的金属腿整形；5)取出整形后的载带；6)将传感器敏感结构固定在工装底板上；7)在传感器敏感结构上进行植球；8)对金球进行墩压；9)对准整形后的载带与顶部平整的金球；10)进行热压键合；11)分离工装底板和载带支撑板；12)对热压键合后的载带和传感器敏感结构组件进行外观检查和电气检查。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中带有减振功能的MEMS低应力贴片方法存在制备工艺复杂且制备精度和可靠性低的技术问题。
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公开(公告)号：CN110482483B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN201910724030.X
申请日：2019-08-07
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供了一种用于MEMS器件的敏感结构贴片系统及方法，该系统包括管壳定位装置、撞针式点胶装置、自动贴片装置和配重单元，管壳定位装置用于定位安装MEMS器件的管壳，撞针式点胶装置用于向MEMS器件的管壳施加设定量的贴片胶，自动贴片装置包括敏感结构拾取单元、图像采集单元和控制单元，图像采集单元用于采集敏感结构的图片，控制单元根据敏感结构的图片控制敏感结构拾取单元拾取敏感结构并将敏感结构放置在管壳设定位置，配重单元用于向放置在管壳上的敏感结构施加设定压力以实现敏感结构与管壳的紧密贴合。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中敏感结构贴片精度差、效率低及点胶胶量一致性差的技术问题。
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