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公开(公告)号：KR101534357B1
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：KR1020100027568
申请日：2010-03-26
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/68707
Abstract: 본발명은기판과의접촉에의한마모및 기판을통한약품에의한부식에의해기판을정상적으로지지할수 없게되는것을저지할수 있는기판지지장치를제공한다. 기판의이면을지지하는이면지지부를구비한지지부재와, 이지지부재에설치되고, 상기이면지지부에지지된기판의측면을둘러싸며, 기판의위치를규제하는위치규제부를포함하고, 상기이면지지부및 상기위치규제부중 하나이상은, 기재와, 이기재를피복하며, 그마모및 화학적침식중 하나이상을저지하기위한보호막을포함하는기판지시장치를구성한다. 이기판지지장치는, 예컨대상기지지부재를지지하는기체와, 상기기체에대하여지지부재를이동시키기위한구동기구를더 포함하고, 기판반송장치로서구성된다. 또한상기지지부재는, 예컨대기판을가열또는냉각하기위한온도조정판으로서구성된다.
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公开(公告)号：KR101528894B1
公开(公告)日：2015-06-15
申请号：KR1020100029764
申请日：2010-04-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/07
Abstract: 마모량감소, 오염방지, 얼라인먼트정밀도향상또는이탈방지의기능을구비한기판보지부재, 기판반송암 및기판반송장치를제공한다. 기판반송장치의기판반송암에장착되어, 기판의주연부를재치하여기판을보지하는기판보지부재(4)로서, 기판의이면에접촉하여기판을보지하는이면보지부(5)와, 기판의단면(端面)에접촉하는단면접촉부(6)를가진다. 단면접촉부(6)는, R 형상을가지며기판의단면에접촉하여기판의이탈을규제하는 R 형상부(8)와, R 형상부(8)의상방측에설치되어차양형상으로형성된오버행부(81)를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140085311A
公开(公告)日：2014-07-07
申请号：KR1020130156196
申请日：2013-12-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67766 , H01L21/68
Abstract: The present invention provides a technology for carrying substrates out from transfer containers even when the height of the substrates is escaped from a predetermined position, and rapidly operating a device. A substrate transfer method comprises a process of mounting the transfer containers on load ports; a process of acquiring information on the height of the substrates in the transfer containers on the load ports using elevating type substrate detection parts for optically detecting the height of the substrates in the transfer containers carried to the load ports; a process of calculating the height of a substrate transfer tool at a time when the substrate transfer tool receives the substrates from the transfer containers based on the height of the substrate transfer tool on a coordinate managed by the substrate detection parts and the information acquired by the substrate detection parts when the substrate transfer tool is positioned at a height preset on the coordinate, managed by the substrate transfer tool; and a process of carrying the substrates out from the transfer containers based on the height.
Abstract translation: 本发明提供了一种用于将基板从传送容器输送的技术，即使当基板的高度从预定位置逸出并且快速操作设备时。 基板转印方法包括将转印容器安装在装载口上的过程; 使用升降型基板检测部件来获取关于装载口上的转印容器中的基板的高度的信息的处理，用于光学地检测运送到装载口的转印容器中的基板的高度; 基板转印工具在基板转印工具从基板检测部件管理的坐标上基于基板转印工具的高度接收基板的转印工具的高度计算过程， 当基板传送工具位于由基板传送工具管理的坐标上预设的高度时的基板检测部件; 以及基于高度将基板从转印容器移出的处理。
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公开(公告)号：KR1020100117021A
公开(公告)日：2010-11-02
申请号：KR1020100029764
申请日：2010-04-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J11/0095 , B25J15/009 , H01L21/68707 , H01L21/68735 , H01L21/6875 , Y10S414/141
Abstract: PURPOSE: A substrate supporting unit, a substrate transferring arm, and a substrate transferring unit are provided to reduce the abrasion of the substrate supporting unit and the contamination of a substrate by including a cross-section contact part with an R-shaped part and an overhang part. CONSTITUTION: A rear side supporting unit(5) supports a substrate by being in contact with the rear side of the substrate. A cross-section contact part is in contact with the cross-section of the substrate. An R-shaped part(8) is formed into an R-shape and is in contact with the cross-section of the substrate in order to prevent the substrate from being escaped. An overhang part(81) is installed over the R-shaped part.
Abstract translation: 目的：提供基板支撑单元，基板转印臂和基板转印单元，以通过将截面接触部分包括R形部分和/或基板支撑单元的横截面接触部分来减少基板支撑单元的磨损和基板的污染 突出部分。 构成：后侧支撑单元（5）通过与基板的后侧接触来支撑基板。 横截面接触部分与衬底的横截面接触。 R形部分（8）形成为R形并且与衬底的横截面接触以防止衬底逸出。 突出部分（81）安装在R形部分上。
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公开(公告)号：KR100701578B1
公开(公告)日：2007-04-02
申请号：KR1020010004660
申请日：2001-01-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 키타노준이치 , 마츠야마유지 , 키타노타카히로 , 카타노타카유키 , 마츠이히데후미 , 스즈키요 , 야마시타마사미 , 아오야마토루 , 이와키히로유키 , 시무라사토루 , 데구치마사토시 , 요시하라코우스케 , 이이다나루아키
IPC: H01L21/30
CPC classification number: H01L21/67178 , G03F7/70991 , H01L21/67017 , H01L21/6715 , H01L21/67161 , H01L21/67184 , H01L21/67742 , H01L21/67778 , Y10T29/41
Abstract: 도포현상 처리시스템에 있어서 경계판에 의해 나누어진 각 영역, 즉 카세트 스테이션, 처리 스테이션 및 인터페이스부의 상부에 각 영역 내로 불활성 기체를 공급하는 기체 공급부를 각각 설치한다. 상기 각 영역의 하부에는 각 영역 내의 분위기를 배기하기 위한 배기관을 설치한다. 각 기체 공급장치로 산소 등의 불순물이나 미립자를 포함하지 않는 불활성 기체를 각 영역 내로 공급하고 각 영역 내의 분위기를 배기관으로 배기함으로써 각 영역 내의 분위기를 청정한 상태로 유지한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR200485625Y1
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：KR2020130010095
申请日：2013-12-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , B25J15/00
Abstract: 본발명은기판유지아암에부착되는기판유지부재의교환에요하는시간의단축, 작업자간차이의시정및 교환에요하는비용을억제할수 있는기판유지부재를제공하는것을목적으로한다. 기판유지아암(11)의일부를구성하는프레임부(100)에부착되는기판유지부재(12)는, 프레임부에부착되는토대부(20)와, 토대부(20) 상에부착되는가이드부(30)를구비하고, 토대부(20)와가이드부(30)는서로감합하는토대부와가이드부에형성된위치결정오목부(22)와위치결정볼록부(32)를통해착탈가능하게연결된다.
Abstract translation: 发明内容本发明的目的在于提供一种基板保持部件，该基板保持部件能够缩短更换安装在基板保持臂上的基板保持部件所需的时间，并且能够修正并替换作业人员之间的差异。 附接到构成基板保持臂11的一部分的框架部分100的基板保持构件12包括附接到框架部分的带齿部分20和引导部分 脚趾部分20和引导部分30通过形成在引导部分中的定位凹槽22和定位凸部32可拆卸地连接 。
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公开(公告)号：KR1020150098570A
公开(公告)日：2015-08-28
申请号：KR1020150020278
申请日：2015-02-10
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , H01L21/66
CPC classification number: G05B19/4189 , G05B2219/45031 , H01L21/67766 , H01L21/681 , H01L21/68707 , Y02P90/28 , H01L21/67742 , H01L21/67739 , H01L22/30
Abstract: 본 발명은 기판 유지구에 기판이 유지되었을 때의 기판 유지구에 대한 기판의 위치 편차의 보정을 가능하게 하는 것을 과제로 한다.
기판 처리 장치는, 기판(W)을 배치할 수 있는 제1 저장소 및 제2 저장소(14B, 1420)와, 기판을 유지하는 기판 유지구(137)를 가지며, 적어도 제1 저장소와 제2 저장소의 사이에서 기판을 반송할 수 있는 기판 반송 장치(13)와, 기판 유지구에 유지된 기판의 위치를 검출하는 기판 위치 측정부(1413)를 포함하고, 기판 위치 측정부는, 기판 반송 장치(13)로부터 독립된 위치이며, 또한, 기판 반송 장치의 기판 유지구에 의해 유지된 기판을 반입하는 것이 가능한 위치에 설치되어 있다.Abstract translation: 本发明的目的是当衬底被衬底保持器保持时，能够使衬底相对于衬底保持器进行位置偏移校正。 一种基板处理装置，包括：第一存储部和第二存储部（14B，1420），能够配置基板（W） 保持基板的基板保持器（137） 在至少所述第一存储器和所述第二存储器之间传送所述衬底的衬底传送装置（13）; 以及基板位置检测单元（1413），其检测由所述基板保持器保持的所述基板的位置。 基板位置检测单元设置在与基板输送装置（13）无关的位置。 此外，基板位置检测单元安装在能够转印由基板输送装置的基板保持器保持的基板的位置。
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公开(公告)号：KR1020130074751A
公开(公告)日：2013-07-04
申请号：KR1020120149585
申请日：2012-12-20
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , B25J13/00
CPC classification number: G06F17/00 , B25J13/085 , H01L21/67288 , H01L21/68707
Abstract: PURPOSE: A transfer device and a transfer method are provided to detect errors in a transfer process by moving a driven unit mounting a transferred component by the rotary power of a motor. CONSTITUTION: A driving unit (30) moves a driven unit (20) connected to a belt in a preset direction. The driving unit includes a driven side pulley which rotates by corresponding to the movement of the belt. A transfer monitoring unit (40) detects the transfer state of the driven unit. An I/F unit (50) outputs the transfer state detected by the transfer monitoring unit. A control unit (10) controls the driving unit based on a transfer condition inputted through the I/F unit. [Reference numerals] (10) Control unit; (100,110) Transfer device; (20) Driven unit; (21) Transfer arm; (30) Driving unit; (31x) X axis driving unit; (31y) Y axis driving unit; (31z) Z axis driving unit; (31θ) Rotation driving unit of a θ direction; (40) Transfer monitoring unit; (41) Transfer state detection unit; (42) Transfer state analysis unit; (50) I/F unit; (51) Input unit; (52) Output unit; (53) Display unit
Abstract translation: 目的：提供一种传送装置和传送方法，用于通过利用电动机的旋转动力移动安装传送部件的从动部件来检测传送过程中的错误。 构成：驱动单元（30）沿着预设方向移动连接到皮带的从动单元（20）。 驱动单元包括由带子的运动而旋转的从动侧皮带轮。 传送监视单元（40）检测从动单元的传送状态。 I / F单元（50）输出由传送监视单元检测的传送状态。 控制单元（10）基于通过I / F单元输入的传送条件来控制驱动单元。 （附图标记）（10）控制单元; （100,110）传输设备; （20）驱动单元; （21）转臂 （30）驾驶单位; （31x）X轴驱动单元; （31y）Y轴驱动单元; （31z）Z轴驱动单元; （31＆thgr）旋转驱动单元 方向; （40）转运监控单位; （41）传送状态检测单元; （42）转移状态分析单位; （50）I / F单位; （51）输入单元; （52）输出单元; （53）显示单元
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公开(公告)号：KR1020120106586A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：KR1020120025434
申请日：2012-03-13
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , B25J15/06
CPC classification number: H01L21/6838 , B25J15/0616 , B25J15/0683
Abstract: PURPOSE: A substrate holding device is provided to stably hold a substrate by elastically deforming an O ring interposed between an outer groove formed in a pad body and an inner groove formed in a pad holding member. CONSTITUTION: A transfer arm body(30) has a suction path. A pad body(40) includes an absorbing unit with an absorbing surface and a suction hole, and a cylindrical mounting unit. A pad holding member includes an insertion hole and a connection path and is fixed to the transfer arm body. An O ring is elastically deformed and is interposed between an arced outer groove(46) formed in the mounting unit and an arced inner groove(55) formed in the insertion hole of the pad holding member.
Abstract translation: 目的：提供一种基板保持装置，通过弹性变形形成在垫体的外槽之间的O形环和形成在垫保持构件中的内槽的弹性变形来稳定地保持基板。 构成：传送臂体（30）具有吸引路径。 垫体（40）包括具有吸收表面和吸入孔的吸收单元和圆柱形安装单元。 垫保持构件包括插入孔和连接路径，并且固定到传送臂主体。 O形环弹性变形，并且插入在形成在安装单元中的弧形外槽（46）和形成在垫保持构件的插入孔中的弧形内槽（55）之间。
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公开(公告)号：KR100887320B1
公开(公告)日：2009-03-06
申请号：KR1020020001963
申请日：2002-01-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 이이다나루아키
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/67706 , H01L21/67017 , Y10S414/135 , Y10S414/139
Abstract: 본 발명은 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것으로서, 기판처리장치에 있어서 기판반송수단의 승강기구(73, 74) 작동시에 발생하는 파티클이 반송중에 기판에 미치는 영향을 경감시키기 위하여, 승강기구의 외장체를 이루는 케이싱(7)내에 슬리트형의 구멍부(75)를 가지는 칸막이벽(72)을 설치하고, 제 1 실(D1)과 제 2 실(D2)로 구분한다. 웨이퍼를 보유유지하는 반송부본체(6)는 봉형의 지지부재(41)로 고정되어 있고, 해당하는 지지부재는 단부를 가이드축(73)에 지지되어 있다. 제 1 실(D1)에는 가이드축(73)과 지지부재(41)를 승강시키는 구동기구(74)가 설치되어 있고, 지지부재(41)는 가이드축(73)을 따라서 상하로 승강한다. 제 2 실(D2)에는 팬(76)이 설치되어 있고, 바닥면에는 배기구(77)가 형성되어 있다. 팬(76)을 가동시키면 칸막이벽(72)의 구멍부(75)를 통하여 제 1 실(D1)내의 환경이 흡인되고, 상기 반송부본체(6)의 승강시에 발생하는 파티클이 제 2 실(D2)을 경유하여 배기구(77)에서 배출되는 기술을 제공한다.
Abstract translation: 到本发明，是涉及一种基板处理装置和基板处理方法的过程中可能发生的输送过程中，以减轻在所述基板上的颗粒的效果，操作该基板传送的提升机构（73，74）中的装置是指，解除球 具有狭缝状的孔部75的隔壁72设置在构成外装体的壳体7内，并被划分为第一室D1和第二室D2。 保持和保持晶片的转印部分主体6由棒状支撑部件41固定，并且支撑部件的端部由导向轴73支撑。 在第一室D1中设置有用于使支撑部件41上下移动的引导轴73和驱动机构74，支撑部件41沿着引导轴73上下移动。 在第二腔室D2内设置风扇76，在其下面形成排气口77。 风扇76，以在可动和在第一腔室（D1）的环境穿过分隔壁72，输送单元体的提升过程中产生的第二腔室的颗粒的孔部75被吸入（6） （D2）到排气口（77）。
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