公开(公告)号：WO1988002926A1

公开(公告)日：1988-04-21

申请号：PCT/US1987002255

申请日：1987-09-08

Applicant: HUGHES AIRCRAFT COMPANY

Inventor： HUGHES AIRCRAFT COMPANY ,  KNAUER, Wolfgang

IPC: H01J49/26

CPC classification number: H01J49/282 ,  H01J27/026 ,  H01J37/05 ,  H01J37/305 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/057

Abstract: An apparatus (10) for producing a beam (14) of ionized clusters, having a cluster source (12) and an ionizer (18), includes an electrostatic mass separator (26) which permits only those clusters having a mass greater than a selected value to pass. Unclustered ions and clusters of smaller size are reflected and do not reach the substrate target. The mass separator (26) has a retarding field electrode (30) and an entrance electrode (28), both in the form of grids (32) with the grid openings aligned. Use of a second electrostatic mass separator (26) allows selection of a narrow range of cluster masses for acceleration against the substrate.

公开(公告)号：WO1986007188A1

公开(公告)日：1986-12-04

申请号：PCT/GB1986000298

申请日：1986-05-30

Applicant: TURNER, David, Warren

IPC: H01J37/05

CPC classification number: B82Y15/00 ,  H01J37/05 ,  H01J49/46

Abstract: A device for providing an energy filtered charged particle image particularly an electron image in the form of an electron energy analyser which acts as a band-pass filter whilst maintaining the spatial integrity of the electron image in a uniform magnetic field. It embodies new electron optical properties wherein image electrons injected parallel to the magnetic field are guided, using crossed electrostatic and magnetic fields, to a low-pass electron mirror (4) and then through a high-pass retardation filter (6). Non-uniform electrostatic deflection fields are used to compensate for the energy-dependent dispersion of the crossed fields whereby it is possible to correct for image distortion resulting from such dispersion.

Abstract translation: 用于提供能量过滤的带电粒子图像的装置，特别是电子能量分析器形式的电子图像，其作为带通滤光器，同时保持电子图像在均匀磁场中的空间完整性。 它体现了新的电子光学性质，其中平行于磁场注入的图像电子使用交叉的静电场和磁场被引导到低通电子反射镜（4），然后通过高通滤波器（6）。 使用非均匀的静电偏转场来补偿交叉场的能量相关色散，由此可以校正由这种色散引起的图像失真。

公开(公告)号：CZ20010483A3

公开(公告)日：2001-09-12

申请号：CZ20010483

申请日：2001-02-07

Applicant: LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH

Inventor： ROSE HARALD

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/05 ,  H01J49/46 ,  H01J49/48

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J49/48

公开(公告)号：KR1020170101191A

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：KR1020177013752

申请日：2015-12-28

Applicant: 액셀리스 테크놀러지스, 인크.

Inventor： 밴더버그,보 ,  아이즈너,에드워드

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/1475 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31701

Abstract: 이온주입시스템은질량분석과각도보정을위해질량분석기를사용한다. 이온소스는빔 경로를따라이온빔을생성한다. 질량분석기는이온빔의질량분석및 각도보정을수행하는이온소스의하류에위치한다. 개구조립체내의분해개구부는질량분석기의하류및 빔경로를따라위치한다. 상기분해개구부는선택된질량분해능및 상기이온빔의빔 포락선에따른크기및 형상을갖는다. 각도측정시스템은분해개구부의하류에위치하고이온빔의입사각값을얻는다. 제어시스템은각도측정시스템으로부터의이온빔의입사각값에따라질량분석기에대한자기장조정을도출한다.

Abstract translation: 离子注入系统使用质谱仪进行质量分析和角度校正。 离子源沿着光束路径产生离子束。 质谱仪位于离子源的下游，以执行离子束的质量分析和角度校正。 孔组件中的分裂开口位于质量分析器的下游并且沿着光束路径。 根据离子束的束包络，分解开口具有选择的质量分辨率和尺寸和形状。 角度测量系统位于分解开口的下游并获得离子束的入射角度值。 控制系统根据来自角度测量系统的离子束的入射角导出用于质谱仪的磁场调节。

公开(公告)号：KR101653725B1

公开(公告)日：2016-09-02

申请号：KR1020117001930

申请日：2009-06-23

Applicant: 액셀리스 테크놀러지스, 인크.

Inventor： 리딩,제오프리 ,  파레이,마르빈 ,  반데르베르그,보 ,  스믹,테어도르 ,  사카세,타카오

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1523 ,  H01J2237/153 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/31705

Abstract: 가공물(228) 내로이온주입동안이온비임(210)을자기적으로필터링하기위한시스템(200) 및방법이제공되며, 이온이이온소스(212)로부터방출되어이온비임을형성하도록이온소스로부터이온을가속한다. 이온비임은질량분석기(214)에의해질량분석되고, 이온이선택된다. 이어서이온비임이질량분석되면, 이온비임은감속기(242)를경유하여감속되고, 이온비임이감속의하류부에서추가로자기적으로필터링된다. 자기필터링은 4극성자기에너지필터(250)에의해제공되고, 자기장은원하지않는이온및 고속중성입자(264)를선택적으로필터링하도록감속기로부터나오는이온비임내의이온을차단하기위해형성된다.

公开(公告)号：KR101633978B1

公开(公告)日：2016-06-28

申请号：KR1020140075947

申请日：2014-06-20

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 오가와타카시 ,  조복래 ,  안상정 ,  박인용 ,  한철수

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/21 ,  G01N23/225 ,  H01J49/44

CPC classification number: H01J37/05 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/12 ,  H01J37/21 ,  H01J49/44 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1516 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24485

Abstract: 본발명은모노크로메이터및 이를구비한하전입자빔장치에관한것으로, 보다상세하게는저비용으로광축을일치시키는모노크로메이터(monochromator, MC) 및이를구비한하전입자빔장치에관한것이다. 이를위하여이미터에서방출된하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제1정전렌즈; 및중심축이제1정전렌즈의중심축과동축으로배치되고, 제1정전렌즈와특정이격거리만큼이격되며, 제1정전렌즈에서출사되는하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제2정전렌즈;를포함하고, 하전입자빔은정전렌즈의중심축에서특정오프셋만큼벗어난축외궤도를통과하도록구성되며, 하전입자빔의에너지폭이감축되는모노크로메이터가제공될수 있다. 이에따르면모노크로메이터를통과한후에도좋은하전입자빔프로파일을얻을수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR1020160030839A

公开(公告)日：2016-03-21

申请号：KR1020150111348

申请日：2015-08-07

Applicant: 스미도모쥬기가이 이온 테크놀로지 가부시키가이샤

Inventor： 와타나베가즈히로 ,  다카하시유우지 ,  우에노유스케

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/244 ,  H01J37/304 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/304 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/24514

Abstract: 이온주입장치의생산성의저하를회피하면서, 에너지정밀도의향상을실현한다. 이온주입장치의에너지분석슬릿(28)은, 주어진주입조건하에서행해지는주입처리에사용되는표준슬릿개구(110)와, 표준슬릿개구(110)보다높은에너지정밀도를가지고, 고주파선형가속기의가속파라미터를조정하기위하여사용되는고정밀도슬릿개구(112)를전환가능하게구성되어있다. 가속파라미터는, 고주파선형가속기에공급되는이온중 적어도일부가목표에너지로가속되도록, 또한, 빔계측부에의하여계측되는빔전류량이목표빔전류량에상당하도록, 주어진주입조건에관하여결정된다.

Abstract translation: 本发明是为了在避免离子注入装置的生产劣化的同时实现能量精度的提高。 离子注入装置的能量分析狭缝（28）包括用于在给定植入条件下执行的植入过程的标准狭缝开口（110）和与精确切割开口（110）相比具有更高能量精度的高精度狭缝开口（112） 标准狭缝开口（110），用于调节高频直线加速器的加速度参数。 基于给定的植入条件来确定加速度参数，以加速提供给具有目标能量的高频线性加速器的至少一部分离子，并且还允许由束测量部分测量的束电流对应于目标束电流 。

公开(公告)号：KR1020150003248A

公开(公告)日：2015-01-08

申请号：KR1020147030709

申请日：2013-04-02

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 지앙신롱 ,  한리쿤

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/10 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534

Abstract: 일 실시예는 고해상도 전자 빔 이미징을 위한 장치에 관한 것이다. 장치는 입사 전자 빔에서 전자들의 에너지 확산을 제한하도록 구성된 에너지 필터를 포함한다. 에너지 필터는 무수차 빈 필터 및 필터 조리개를 이용하여 형성될 수 있다. 다른 실시예는 고해상도 전자 빔 장치를 위해 입사 전자 빔을 형성하는 방법에 관한 것이다. 다른 실시예는 곡선 전도성 전극을 포함하는 무수차 빈 필터에 관한 것이다. 다른 실시예는 한 쌍의 자기 요크 및 다중극 디플렉터를 포함하는 무수차 빈 필터에 관한 것이다. 다른 실시예들, 양태들 및 피처들이 또한 개시된다.

公开(公告)号：KR1020150000399A

公开(公告)日：2015-01-02

申请号：KR1020140051488

申请日：2014-04-29

Applicant: 스미도모쥬기가이 이온 테크놀로지 가부시키가이샤

Inventor： 가바사와미츠아키 ,  니시하라다츠오 ,  와타나베가즈히로 ,  다카하시유우지 ,  야마다다츠야

IPC: H01J37/14

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/30472

Abstract: 에너지폭을 가진 빔의 고정밀도 에너지분석의 기술을 제공한다.
고에너지 정밀도의 고주파 가속식의 이온가속·수송장치는, 설정 빔에너지에 대해서 에너지폭(에너지 분포)을 가지는 고주파 가속식의 가속 시스템에 의하여 이온빔의 가속을 행한 후의 빔라인으로서, 에너지분석용 편향전자석과 가로방향 빔수렴요소를 구비한다. 이온가속·수송장치는, 또한 에너지분석용 편향전자석 및 가로방향 빔수렴요소에 의하여 에너지 분산과 빔사이즈가 적정하게 되는 위치에, 에너지폭제한슬릿과 에너지분석슬릿으로 구성되는 이중 슬릿이 설치되어 있으며, 이중 슬릿은, 에너지 분리와 에너지제한을 행하고, 빔전류량의 감소를 억제하면서, 보다 작은 에너지폭이 되도록 조정함으로써, 이온빔의 에너지폭을 축소하여, 필요 에너지 정밀도를 실현한다.

Abstract translation: 本发明提供了一种具有能量宽度的光束的高精度能量分析技术。 根据本发明，具有高能量精度的高频加速型离子加速/传递装置包括：用于能量分析的方向弯曲电磁体和在离子束加速之后作为束线的水平光束聚集元件 高频加速型加速系统，其中所述加速离子束相对于预定的束能具有能量宽度（能量分布）。 此外，离子加速/传送装置包括由能量分布和光束的尺寸通过方向弯曲电磁体调节到足够的位置处的由能量限制狭缝和能量分析狭缝组成的双缝隙，用于 能量分析和水平束集中元件。 双缝分割和限制能量，抑制光束电流量的减少，并且减小能量的宽度，从而降低离子束的能量宽度并实现所需的能量精度。

公开(公告)号：KR1020140033400A

公开(公告)日：2014-03-18

申请号：KR1020137032756

申请日：2012-04-09

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 첸치엔-후에이 ,  화이트페터 ,  반리에트마이클제이. ,  벤카타라만산카르 ,  지앙하이 ,  양헤동 ,  굽타아제이

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N23/04 ,  G06T5/50 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/05 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244

Abstract: 일 실시형태는 타겟 기판에서 사이트 위치를 검사하는 방법에 관한 것이다. 디자인 클립을 이용하여 기준 이미지로부터 생성된 윤곽이 획득된다. 사이트 위치의 타겟 이미지가 획득된다. 윤곽들이 타겟 이미지에 정렬되고, 윤곽의 픽셀들에 대하여 콘트라스트 값이 계산된다. 상기 콘트라스트 값에 역치를 적용하여 윤곽 기반 결함 얼룩을 결정한다. 다른 실시형태는 결함에 대하여 사이트 위치를 검사할 때 사용하는 윤곽을 생성하는 방법에 관한 것이다. 다른 실시형태, 양태 및 특징들이 또한 개시된다.