公开(公告)号：CN118031925A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202311789482.9

申请日：2023-12-25

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 胡终须 ,  杜江潮 ,  申燕超 ,  刘飞

IPC: G01C19/5691 ,  G01C19/5776 ,  G01C25/00

Abstract: 本发明公开一种用于电容式硅微谐振陀螺的时分复用和过采样测控电路，该电路包括前置放大器单元、模数转换单元、反相器、数字控制单元、数模转换单元、滤波器单元和模拟开关单元，模数转换单元包括驱动通道模数转换器和检测通道模数转换器，数模转换单元包括驱动通道数模转换器和检测通道数模转换器，滤波器单元包括驱动通道滤波器和检测通道滤波器，模拟开关单元包括驱动通道模拟开关和检测通道模拟开关，数字控制单元通过反相器控制模拟开关单元的切换，驱动通道模拟开关控制陀螺的第一驱动电极连接驱动通道滤波器或控制陀螺的第一驱动电极接地，检测通道模拟开关控制陀螺的第二驱动电极连接检测通道滤波器或控制陀螺的第二驱动电极接地。

公开(公告)号：CN117686003A

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN202311567308.X

申请日：2023-11-22

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 申燕超 ,  严浩 ,  杨星辉 ,  王汝弢 ,  张菁华 ,  刘飞 ,  王永胜 ,  姚远

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明提供一种数字输出陀螺仪相频特性测试方法及系统，方法包括：利用角振动台产生基准角振动运动并同时输出相关的模拟基准角速度信号；将陀螺仪设置在角振动台上；将角振动台输出的模拟基准角速度信号转换为方波信号；根据所述方波信号下降沿记录角振动台基准信号零相位时间t11、t12……；在接收到陀螺仪输出的角速度信号时记录每一帧数据接收时间，并取接收到的角速度信号绝对值最小值对应时间为陀螺仪输出信号的零相位时间t31、t32……；基于所述基准信号零相位时间和陀螺仪输出信号的零相位时间解算相位延迟信号。本发明不会引入额外延时误差，且同步系统设计简单，同时保证了数字输出陀螺仪相频特性的精确测量。

公开(公告)号：CN114322973B

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202210019844.5

申请日：2022-01-10

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 马高印 ,  申燕超 ,  姚远 ,  周红芳 ,  刘飞 ,  张菁华 ,  王汝弢 ,  杨星辉 ,  梁文华

IPC: G01C19/5776 ,  G01C25/00

Abstract: 本发明提供了一种MEMS哥氏力陀螺ASIC最优控制参数获取方法，包括：生成初始配置TXT文件；将初始配置TXT文件中的内容写入测试单片机初始化配置函数Cntrl_Ini中；根据初始化配置函数Cntrl_Ini或OTP内部ASIC控制参数进行控制参数的初始化；进行陀螺性能测试试验；判断当前ASIC控制参数是否是最优控制参数，若否，则调整ASIC控制参数重新生成初始配置TXT文件，返回执行将初始配置TXT文件中的内容写入测试单片机初始化配置函数Cntrl_Ini中，直至当前ASIC控制参数为最优控制参数；若是，则将当前ASIC控制参数写入ASIC的OTP中，完成MEMS哥氏力陀螺ASIC最优控制参数的获取。本发明能够在不烧写OTP的前提下，反复尝试不同的陀螺控制参数以获取最优控制参数，实现了ASIC控制参数的灵活、多次配置。

公开(公告)号：CN115389783A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202210995699.4

申请日：2022-08-18

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 尚克军 ,  姚远 ,  刘飞 ,  张菁华 ,  李陈征 ,  杨亚杰 ,  盛洁 ,  申燕超 ,  王汝弢 ,  王永胜

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明提供了一种基于ARM的加速度计非线性补偿电路及补偿方法，该补偿电路包括ARM芯片、标准离心输出模块、载波发生模块以及依次连接的信号处理模块、A/D转换模块、解调滤波模块和非线性补偿模块，载波发生模块与加速度计的输入端连接，信号处理模块与加速度计的输出端连接，非线性补偿模块与标准离心输出模块连接，ARM芯片分别与载波发生模块、A/D转换模块以及非线性补偿模块连接，ARM芯片中包含多种补偿算法。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中补偿算法单一、补偿效果较差且无法实时在线补偿的技术问题。

公开(公告)号：CN114994362A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210620692.4

申请日：2022-06-02

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 尚克军 ,  杨亚杰 ,  刘飞 ,  张菁华 ,  盛洁 ,  姚远 ,  李陈征 ,  王登顺 ,  王汝弢 ,  王永胜

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01P21/00

Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。

公开(公告)号：CN112697122A

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN202011437330.9

申请日：2020-12-10

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 杨星辉 ,  刘飞 ,  王永胜 ,  申燕超 ,  梁文华

IPC: G01C19/5621

Abstract: 本发明涉及石英音叉陀螺仪降噪技术领域，公开了一种基于数字带阻滤波的降噪方法、系统及石英音叉陀螺。该方法用于石英音叉陀螺，其中，该方法包括：确定石英音叉陀螺的频差点频率和带阻滤波宽度；根据频差点频率和带阻滤波宽度确定二阶带阻滤波器的滤波参数；利用二阶带阻滤波器根据滤波参数对石英音叉陀螺的原始输出进行滤波降噪，得到石英音叉陀螺降噪后的输出。由此，可以很好的消除陀螺在振动环境下的高频噪声，从而提高陀螺的测量精度。

公开(公告)号：CN109781097B

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN201711128909.5

申请日：2017-11-15

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郭中洋 ,  刘飞 ,  盛洁 ,  苏翼 ,  夏春晓 ,  王登顺 ,  刘凯 ,  崔健 ,  林梦娜

IPC: G01C21/16 ,  B81B7/02 ,  B81B7/00

Abstract: 本发明属于定位导航授时(PNT)领域，具体涉及一种集成化微PNT单元；包括中心微时钟模块和外侧微惯性模块；中心微时钟模块的锚点位于中心，锚点的外部分布有若干圆环，圆环与圆环之间均匀分布有径向短梁，外电极分布在最外围，工作时，通过静电力作用和闭环反馈实现稳定控制，对外提供稳定的频率信息；微惯性模块的环形锚点位于中心，圆环位于外侧，圆环与环形锚点之间均匀分布有组合梁，圆环的内、外侧均匀分布有平面外电极和平面内电极、圆环上下表面分布有离面电极，实现X、Y、Z三轴向加速度输入和X、Y、Z三轴向角运动输入的敏感。本发明整体可通过MEMS平面工艺实现，不涉及微观层面的多层堆叠和精密组装，实现工艺较为简单。

公开(公告)号：CN106908626B

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201510979830.8

申请日：2015-12-23

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郭中洋 ,  杨军 ,  刘飞 ,  孙刚 ,  盛洁 ,  胡兴雷 ,  窦茂莲 ,  林梦娜 ,  夏春晓

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域，具体公开一种电容式微加速度计敏感结构。它包括上极板、中间摆片微结构和下极板；上极板、中间摆片微结构、下极板之间两两通过键合层连接；中间摆片微结构包括边框和包围在边框内的弹性减薄梁、质量块；弹性减薄梁的上下表面各设有位置交错凹形槽，凹形槽的底部与弹性减薄梁中性面平齐；凹形槽内设有电极引线，电极引线包括上凹形槽电极和下凹形槽电极；上凹形槽电极与质量块上表面电极连通，下凹形槽电极和质量块下表面电极连通；质量块的末端上下表面各设有止挡凸台，用于限制质量块在强振动或大冲击作用下的位移。本发明最大限度屏蔽受力及温度变形对敏感结构的影响，实现误差抑制，获取更高性能。

公开(公告)号：CN109781086A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201711129755.1

申请日：2017-11-15

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郭中洋 ,  刘飞 ,  盛洁 ,  苏翼 ,  夏春晓 ,  王登顺 ,  窦茂莲 ,  刘凯

IPC: G01C19/5684

Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域，具体涉及一种环形微机电陀螺敏感结构；该结构包括外环、锚接点、组合梁、驱动电极组、检测电极组和调谐电极组；锚接点位于中心，外环通过多个组合梁与锚接点连接，外环与锚接点同心，外环的上、下底面悬空设置，驱动电极组和检测电极组交替均布设置在外环外侧，调谐电极组均布设置在外环内侧；工作时，外环在驱动电极组静电力作用下保持驱动模态振型，当外界有角速率作用时，通过哥式力耦合，激发检测模态振型，检测电极组通过检测电容间隙的变化实现外界输入的感测，调谐电极组实现驱动和检测模态的频率匹配。本发明采用中心单点支撑对称结构，锚点在驱动和检测模态的振形节点位置，大幅降低支撑损耗，获取高Q值。

公开(公告)号：CN105712283B

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201410720844.3

申请日：2014-12-02

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 杨军 ,  郭中洋 ,  刘飞 ,  王登顺 ,  盛洁 ,  胡兴雷 ,  窦茂莲

IPC: B81B7/00

Abstract: 本发明属于封装领域,具体涉及种LCC封装应力释放结构。种LCC封装应力释放结构,包括与芯片外形匹配的应力释放结构,应力释放结构上设置锚点和支撑点,锚点和支撑点之间通过连接梁连接。本发明的效果是:1)在不改变原有LCC壳体材料、增大工艺成本的前提下,通过应力释放结构能够有效降低因材料热膨胀系数不匹配导致的热应力。2)在不显著增大体积的前提下,通过位于LCC壳体内部的应力释放结构能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入,降低机械应力、防护芯片,提升系统的力学环境适应性。