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公开(公告)号：KR101529607B1
公开(公告)日：2015-06-19
申请号：KR1020130139831
申请日：2013-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은캔틸레버와대물렌즈사이에반사판인스크린을삽입하여광학빔을대물렌즈로직접확인하는방법으로광학빔정렬을용이하게하기위한탐침현미경, 이를이용한탐침현미경의광학빔정렬방법, 기록매체및 탐침현미경의광학빔자동정렬시스템에관한것이다. 이를위하여캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나의정밀한측정을위하여, 캔틸레버의상부면종단에설정되고, 광학빔이입사되는목표위치; 목표위치가포함된캔틸레버를확대하여표시하는확대수단; 확대수단에의해확대표시된캔틸레버를영상으로표시하는영상표시부; 및캔틸레버의연직상부에구비되고, 광학빔의반사광에의해광학빔의입사위치가영상표시부에의해영상으로표시되도록구성되는스크린;을포함하고, 스크린의영상에캔틸레버의영상이오버랩되도록하고, 스크린에서반사되는광학빔의반사광에의한입사위치을이용하여, 광학빔을목표위치에정렬하는것을특징으로하는탐침현미경이제공될수 있다. 이에따르면, 캔틸레버의상부면에정밀한광학빔을정밀하게정렬하여탐침현미경의정밀도를향상시키고, 분석결과의오차가최소화되는효과가있다.
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32.发明公开이온빔을 이용한 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해제조되는 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ 나노니들탐침 有权用于制造SPM纳米级探针的方法和使用离子束和SPM NANNEEDLE探针和CD-SPM纳米级探针的关键尺寸SPM纳米级探针的方法
公开(公告)号：KR1020060045876A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：KR1020050036631
申请日：2005-05-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 이온빔, 특히 집속된 이온빔(focused ion beam)을 이용하여 SPM(scanning probe microscope)의 나노니들 탐침(nanoneedle probe)을 제조하는 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁(tip)에 부착되는 나노니들의 지향 방향을 용이하게 조절할 수 있고 탐침의 팁에 부착되는 나노니들을 지향 방향으로 용이하게 펼(straightening) 수 있는 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명은 또한 이온빔, 특히 집속된 이온빔을 이용하여 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침(critical dimension SPM nanoneedle probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁에 부착되는 나노니들 선단부의 일정 부분을 SPM 탐침의 팀에 부착되어 뻗어 나온 나노니들의 원래 방향과는 다른 임의의 방향으로 특정 각도만큼 휨으로써 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명에 따른 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁을 이온빔이 조사되는 방향으로 향하도록 위치시키는 단계와, 상기 나노니들이 부착된 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시키는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 포함한다.-
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公开(公告)号：KR101727729B1
公开(公告)日：2017-04-17
申请号：KR1020150162389
申请日：2015-11-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
Abstract: 본발명은기판(100); 상기기판(100)의상면테두리에결합되는다수의지지보(200); 상기다수의지지보(200)의상면에결합되며, 상면중앙에진공홈(310)(310)이형성되는제1플레이트(300); 상기제1플레이트(300)의진공홈(310) 근처에위치하는공기를흡입하는공기흡입포트(400); 상기제1플레이트(300)의상면을덮으며, 상면에상기진공홈(310)과연통되어어퍼쳐가진공흡착되는다수의진공흡착홀(510)이격자형으로배열형성되는제2플레이트(500);를포함하는것을특징으로하는진공척(1000)에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170027089A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020150123568
申请日：2015-09-01
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01T1/20 , H01J37/22
Abstract: 본발명은 STEM 영상관찰을위해검출감도와신호대 잡음비가뛰어난복수개의고리형형광검출기(scintillation detector)를이용하여산란여부및 회절각분포에따른영상을고해상도로빠르게획득할수 있는형광검출기에관한것으로, 명시야영상과암시야영상을분리관찰하고전자검출에의해발생된광신호의색상을달리하여광 가이드를통해혼합광을전송한뒤 광분리부로분리하는것이가능하여분해능을높일수 있다. 또한, 후방산란전자영상검출기를좌우대칭또는사방대칭형의형광검출기로하여 3차원영상을획득할수 있는검출기및 이러한검출기능을가지는전자현미경을제공한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160087130A
公开(公告)日：2016-07-21
申请号：KR1020150005723
申请日：2015-01-13
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G12B5/00
CPC classification number: G12B5/00
Abstract: 본발명은상면에서로폭방향으로일정간격이격되게형성되는한 쌍의함입홈(110) 및상기한 쌍의함입홈(110) 사이에수용홈(120)이형성되는베이스프레임(100); 상기함입홈(110)에함입되는가이드레일(200); 상기가이드레일(200)을따라길이방향으로슬라이딩가능하게설치되는가이드덮개(300);상기가이드덮개(300)의상면에결합되는이송테이블(400); 및상기수용홈(120)에설치되어상기이송테이블(400)을길이방향으로이송시키는이송유니트(500);를포함하는것을특징으로하는리니어스테이지(1000)에관한것이다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种线性平台，其能够防止可滑动地连接到导轨上的传送台，导轨通过引导罩在长度方向上以一定角度沿扭曲状态移动，防止导轨与 具有沿长度方向一定角度的扭曲状态的基架。 根据本发明，线状平台（1000）包括：基座框架（100），其具有在其宽度方向上在其上表面上彼此间隔开的一对凹槽（110）和容纳槽（ 120）形成在所述一对凹槽（110）之间; 插入凹槽（110）中的导轨（200）; 导向罩（300），其可沿导轨（200）沿其纵向方向滑动; 转接台（400），其连接到导向罩（300）的上表面; 以及转移单元（500），其安装在所述容纳槽（120）中并沿其长度方向传送所述转印台（400）。
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公开(公告)号：KR101633978B1
公开(公告)日：2016-06-28
申请号：KR1020140075947
申请日：2014-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/21 , G01N23/225 , H01J49/44
CPC classification number: H01J37/05 , G01N23/2251 , H01J37/12 , H01J37/21 , H01J49/44 , H01J2237/057 , H01J2237/1516 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485
Abstract: 본발명은모노크로메이터및 이를구비한하전입자빔장치에관한것으로, 보다상세하게는저비용으로광축을일치시키는모노크로메이터(monochromator, MC) 및이를구비한하전입자빔장치에관한것이다. 이를위하여이미터에서방출된하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제1정전렌즈; 및중심축이제1정전렌즈의중심축과동축으로배치되고, 제1정전렌즈와특정이격거리만큼이격되며, 제1정전렌즈에서출사되는하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제2정전렌즈;를포함하고, 하전입자빔은정전렌즈의중심축에서특정오프셋만큼벗어난축외궤도를통과하도록구성되며, 하전입자빔의에너지폭이감축되는모노크로메이터가제공될수 있다. 이에따르면모노크로메이터를통과한후에도좋은하전입자빔프로파일을얻을수 있는효과가있다.
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38.发明授权
公开(公告)号：KR101623256B1
公开(公告)日：2016-05-23
申请号：KR1020140075944
申请日：2014-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/244 , G01N23/225 , H01J37/08 , H01J37/06
Abstract: 본발명은저탄소강재질의초고진공진공챔버및 외부전자기장에민감한초고진공하전입자빔분석장비관한것으로서, 보다상세하게는탄소함량이적은저탄소강(mild steels) 진공챔버를사용하여자기장을차폐하며, 동시에초고진공, 극고진공환경을유지시켜물질, 디바이스등의분석을수행할수 있는하전입자빔분석장비에관한것이다. 이를위하여중공의기둥형태로구성되고, 일측이개방되는용기; 및용기의개방된일측이밀폐될수 있도록결합되는커버;를포함하고, 용기의내부에는하전입자빔분석장치가수용되며, 용기는저탄소강재질로구성되고, 용기의내부는 1x10torr 이하의초고진공으로이용되는것을특징으로하는저탄소강재질의초고진공진공챔버를제공할수 있다. 이에따르면초고진공진공환경과자기차폐를동시에달성할수 있는저렴한가격의진공챔버를구현할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020160056363A
公开(公告)日：2016-05-20
申请号：KR1020140155478
申请日：2014-11-10
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/20 , H01J49/027 , H01J2231/50047
Abstract: 본발명은전자빔또는이온빔과같은하전입자빔기반의측정및 가공장치의특성을파악할수 있도록가상하전입자원위치, 크기, 각전류밀도등을측정하고평가하는평가플랫폼장치및 하전입자빔시스템평가방법에관한것이다. 이를위하여하전입자소스에서방출되는하전입자빔이통과하는챔버; 챔버내에구비되고, 하전입자빔의경로에위치되어하전입자빔의크기를제한하는애퍼처; 및챔버일측에구비되고, 하전입자빔의경로에위치되어애퍼처를통과한하전입자빔의이미지가맺히는스크린;을포함하고, 스크린에맺히는하전입자빔의이미지를토대로하전입자빔시스템및 하전입자소스중 적어도하나의평가를수행하는것을특징으로하는하전입자빔시스템평가플랫폼장치가제공될수 있다. 이에따르면하전입자빔시스템에서소스및 시스템의정밀한평가가하나의플랫폼장치에서가능해지는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量和评估虚拟带电粒子源的位置，尺寸和角度电流密度的评估平台装置，以便基于诸如电子束或电子束的带电粒子束来理解测量和处理装置的特性 离子束和用于评估带电粒子束系统的方法。 根据本发明的评估平台装置包括：从带电粒子源排出的带电粒子束通过的室; 设置在所述室中的孔，并定位在带电粒子束的路径中以限制带电粒子束的尺寸; 以及设置在所述室的一侧并且位于所述带电粒子束的路径中的屏幕，以显示通过所述孔的带电粒子束的图像。 评估平台装置基于显示在屏幕上的带电粒子束的图像，从带电粒子束系统和带电粒子源中评估至少一个。 因此，带电粒子束系统和带电粒子源的精确评估可以由一个平台装置执行。
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公开(公告)号：KR101615513B1
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：KR1020140073413
申请日：2014-06-17
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 조사각도를조절하기위한장치및 방법에관한것으로서, 하전입자빔을방출하는하전입자빔 소스; 상기하전입자빔 소스와하기경통사이를연결하며, 센터링과오링의결합에의해이루어지는각도조절장치; 및상기각도조절장치와연결되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하며, 하전입자빔 프로브를형성시키는집속렌즈군을포함하는경통부;를포함하는하전입자빔 조사각조절장치에관한것이다.
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