公开(公告)号：KR1020120063716A

公开(公告)日：2012-06-18

申请号：KR1020100124812

申请日：2010-12-08

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 전동환 ,  김창주 ,  양창재 ,  성호근 ,  강호관 ,  신찬수 ,  박원규 ,  고철기

IPC: H01L21/20 ,  H01L33/00

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a semiconductor device for substrate reuse is provided to improve productivity of the semiconductor device by securing two thin film structures with one separation process. CONSTITUTION: A first device layer(320) is formed at one side of a substrate(300). The first device layer comprises a transparent electrode layer and a p-type electrode. A second device layer(340) is formed at the other side of the substrate. A first carrier substrate(360) is welded to the first device layer. A second carrier substrate(380) is welded to the second device layer. The first device layer and the substrate are separated and the second device layer and the second device layer are separated through a laser lift off method.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造用于衬底再利用的半导体器件的方法，以通过用一个分离工艺固定两个薄膜结构来提高半导体器件的生产率。 构成：第一器件层（320）形成在衬底（300）的一侧。 第一器件层包括透明电极层和p型电极。 第二器件层（​​340）形成在衬底的另一侧。 第一载体衬底（360）焊接到第一器件层。 第二载体衬底（380）焊接到第二器件层。 分离第一器件层和衬底，并通过激光剥离法分离第二器件层和第二器件层。

公开(公告)号：KR101105247B1

公开(公告)日：2012-01-13

申请号：KR1020100048025

申请日：2010-05-24

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 전동환 ,  최재원 ,  김민호 ,  이근우 ,  박대영 ,  유승환 ,  박원규 ,  고철기

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/054

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본 발명은 태양광이 입사되는 부분과 다른 부분에 전극이 형성되도록 하여, 효율을 증가시킬 수 있는 측면 노광형 태양전지에 관한 것이다. 본 발명에 따른 태양전지는 제1면에 외부의 빛이 입사되는 수광부가 형성되어 있고 수광부를 통해 입사된 빛으로부터 전류를 발생시키는 태양전지 셀과, 태양전지 셀의 제2면에 형성되어 있는 제1전극과, 태양전지 셀의 제2면과 대향되는 제3면에 형성되어 있는 제2전극을 구비한다. 이때, 태양전지 셀의 제1면은 태양전지 셀의 제2면 및 태양전지 셀의 제3면과 서로 다르게 되도록 한다.

公开(公告)号：KR1020110053732A

公开(公告)日：2011-05-24

申请号：KR1020090110393

申请日：2009-11-16

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 허종곤 ,  성호근 ,  박원규

IPC: H01L21/283

Abstract: PURPOSE: A method for forming an ohmic contact electrode using a dielectric thin film is provided to improve the morphology of an ohmic contact electrode surface by forming the dielectric thin film on an ohmic contact electrode. CONSTITUTION: An ohmic contact electrode(230) is formed on a semiconductor layer(220). A dielectric thin film(240) is formed on the ohmic contact electrode to prevent the morphology of the ohmic contact electrode surface from being curved in a thermal process. A contact resistance between a semiconductor layer and an ohmic contact electrode is improved by thermally processing a stack structure. A semiconductor layer, an ohmic contact electrode and a dielectric thin film are stacked on the stack structure. The dielectric thin film is removed.

Abstract translation: 目的：提供使用电介质薄膜形成欧姆接触电极的方法，以通过在欧姆接触电极上形成电介质薄膜来改善欧姆接触电极表面的形态。 构成：在半导体层（220）上形成欧姆接触电极（230）。 在欧姆接触电极上形成电介质薄膜（240），以防止欧姆接触电极表面的形态在热过程中弯曲。 通过热处理堆叠结构，提高了半导体层和欧姆接触电极之间的接触电阻。 半导体层，欧姆接触电极和电介质薄膜堆叠在堆叠结构上。 去除电介质薄膜。

公开(公告)号：KR101955935B1

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：KR1020160183009

申请日：2016-12-29

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 이인근 ,  조영대 ,  신찬수 ,  박원규 ,  고대홍

IPC: H01L29/73 ,  H01L29/66 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  H01L29/40 ,  H01L29/772 ,  H01L29/45

公开(公告)号：KR101936060B1

公开(公告)日：2019-01-09

申请号：KR1020160184219

申请日：2016-12-30

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 조주영 ,  박경호 ,  박형호 ,  고유민 ,  박원규

IPC: H01L21/78 ,  H01L21/268 ,  H01L21/02 ,  H01L29/51 ,  H01L33/00 ,  H01L31/00 ,  H01L29/775

公开(公告)号：KR1020180079601A

公开(公告)日：2018-07-11

申请号：KR1020160184219

申请日：2016-12-30

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 조주영 ,  박경호 ,  박형호 ,  고유민 ,  박원규

IPC: H01L21/78 ,  H01L21/268 ,  H01L21/02 ,  H01L29/51 ,  H01L33/00 ,  H01L31/00 ,  H01L29/775

Abstract: 본발명은반도체소자제작용레이저리프트오프방법에관한것으로서, 레이저에의해제1대상체로부터제2대상체를분리시키는레이저리프트오프방법에있어서, 제1대상체및 제2대상체사이에희생분리층을형성하되, 상기희생분리층은상기제1대상체및 제2대상체의밴드갭보다상대적으로작은밴드갭을가지는것을특징으로하는반도체소자제작용레이저리프트오프방법및 그에의해제조된반도체소자를기술적요지로한다. 이에의해종래의지지기판으로부터질화물계반도체층을분리하는공정을개선하여, 분리를원하는영역에희생분리층을도입하여분리하고자하는대상의제한이없도록한 것이다.

公开(公告)号：KR101857647B1

公开(公告)日：2018-05-15

申请号：KR1020160095040

申请日：2016-07-26

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 박형호 ,  황선용 ,  이근우 ,  임웅선 ,  윤홍민 ,  고유민 ,  정해용 ,  조주영 ,  최재원 ,  정상현 ,  최영수 ,  강성민 ,  최원명 ,  조영대 ,  성호근 ,  박경호 ,  박원규

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L29/06 ,  H01L29/41 ,  H01L21/203 ,  H01L21/306 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01L21/033

Abstract: 본발명은진공증착공정을이용하여금속나노구조체패턴을형성하기위한것으로서, 기재상부의일부영역을노출시키는마스크패턴층을형성하는제1단계와, 상기기재의노출된영역및 상기마스크패턴층상부에금속나노구조체의성장을위해필요한금속나노구조체의최소임계반지름을만족하는진공증착조건을설정하는제2단계와, 진공증착공정에의해상기기재의노출된영역및 상기마스크패턴층상부에금속나노구조체를성장시키는제3단계와, 상기마스크패턴층을제거하여, 상기기재의노출된영역에금속나노구조체를형성하여상기기재상부에금속나노구조체패턴을형성하는제4단계및 상기금속나노구조체를이용하여상기기재의일부영역을습식식각하여하이브리드패턴을형성하는제5단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는진공증착에의한하이브리드패턴형성방법을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은금속나노구조체의성장을위해필요한금속나노구조체의최소임계반지름을만족하는진공증착조건을설정하여진공증착공정을이용하여기재상부에금속나노구조체패턴을형성하고이를이용하여기재를습식식각하여기재의일부영역에하이브리드패턴을제공하고자하는것이다.

公开(公告)号：KR101846236B1

公开(公告)日：2018-04-09

申请号：KR1020150185323

申请日：2015-12-23

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 박형호 ,  황선용 ,  정상현 ,  박경호 ,  박원규

IPC: B05D7/24 ,  B05D7/04 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00 ,  B05C5/02

Abstract: 본발명은양면패턴의제조방법및 그에의해제조된양면패턴을이용한전사테이프에관한것으로서, 고분자기판상에미세구조체패턴이형성된제1스탬프를위치시켜열간성형하여상기고분자기판에상기제1스탬프의미세구조체패턴과역상인제1패턴을각인시키는제1단계와, 상기제1패턴이각인된고분자기판에서상기제1스탬프를분리하여, 상기고분자기판상에제1패턴을성형하는제2단계와, 상기제1패턴이형성된고분자기판상에유동성재료를도포하여, 상기제1패턴과역상인하측패턴을상기유동성재료하측면에형성하는제3단계와, 상기도포된유동성재료상에미세구조체패턴이형성된제2스탬프를위치시켜가압하고, 경화공정을수행하여상기유동성재료상측면에상기제2스탬프의미세구조체패턴과역상인상측패턴을각인시키는제4단계및 상기상측패턴이각인된유동성재료에서상기제2스탬프를분리하여, 상기고분자기판상에유동성재료로이루어진양면패턴을성형하는제5단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는양면패턴의제조방법및 이에의해제조된양면패턴을이용한전사테이프를그 기술적요지로한다. 이에의해본 발명은간단한공정에의해양면패턴을동시에성형할수 있으며, 이후이종의기판또는박막에용이하게전사할수 있어다양한분야에의활용이가능한효과가있다.

公开(公告)号：KR101796012B1

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：KR1020160036143

申请日：2016-03-25

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 정상현 ,  김창주 ,  김영조 ,  김강호 ,  박형호 ,  강호관 ,  최재혁 ,  박원규 ,  신현범

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/068

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본발명은플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지에관한것으로서, 벌크기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층상부에경화성수지층을형성하는제2단계와, 상기경화성수지층을패터닝하고경화하여, 홀패턴이구비된플렉시블기판을형성시키는제3단계와, 상기홀패턴내부에후면전극을형성시키는제4단계와, 상기벌크기판을제거하는제5단계와, 상기반도체층하부에전면전극을형성하는제6단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지그리고이를이용한플렉시블태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은홀패턴이구비된플렉시블기판을적용하여플렉시블기판사용시문제되는전기적및 열적특성을향상시켜태양전지의성능을개선시킬수 있도록하였으며, 이러한홀패턴이구비된플렉시블기판을사용한플렉시블태양전지는직렬로연결하여모듈형태로사용할시에후면전극연결문제를해결하고, 무게를획기적으로줄일수 있는초경량플렉시블태양전지또는초경량플렉시블태양전지모듈을제공할수 있는이점이있다.

公开(公告)号：KR1020170113798A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：KR1020160036148

申请日：2016-03-25

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 김영조 ,  정상현 ,  김강호 ,  김창주 ,  신현범 ,  강호관 ,  최재혁 ,  박원규

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/049 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0392

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/18 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/022441 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/049 ,  H01L31/1892

Abstract: 본발명은플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지에관한것으로서, 벌크기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층상부에후면전극을형성하는제2단계와, 상기후면전극상부에홀패턴이구비된플렉시블기판을형성시키는제3단계와, 상기벌크기판을제거하는제4단계와, 상기반도체층하부에전면전극을형성하는제5단계와, 상기홀패턴내부에전도성재료를충진시키는제6단계및 상기전도성재료가홀패턴에충진된플렉시블기판전면에금속백시트를형성하는제7단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는전도성기판을갖는플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지그리고이를이용한플렉시블태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은홀패턴이구비된플렉시블기판을사용하고, 상기홀패턴에전도성재료를충진하여사용함으로써, 플라스틱재료의유연성과전도성재료의전도성을융합시킨전도성을갖는플렉시블기판을적용하여, 기존플렉시블기판사용시문제되는전기적및 열적특성을향상시켜태양전지의성능을개선시키고, 이러한홀패턴이구비된플렉시블기판을사용한플렉시블태양전지는직렬로연결하여모듈형태로사용할시에후면전극연결문제를해결하고, 무게를획기적으로줄일수 있는초경량플렉시블태양전지또는초경량플렉시블태양전지모듈을제공할수 있는이점이있다.

Abstract translation: 本发明提供了一种形成的制造方法，并且在体衬底上形成半导体层的第一步骤背接触，该半导体层的上方涉及由此制造的柔性太阳能电池的柔性太阳能电池的第二步骤中， 其中，所述背接触顶部的第三步骤的所述第四步骤，以形成具有孔图案的柔性基板，在去除体衬底，并在半导体层中形成的正面电极的下部的第五步骤中，内部的孔图案 制造柔性太阳能电池的制造方法具有第六步骤，和所述导电材料以填充具有导电性基板，其包括形成在柔性基板上的金属背片上填充在孔图案的第七步骤所述导电材料 并且由此制造的柔性太阳能电池和使用其的柔性太阳能电池模块。 这种做发明是应用柔性衬底上，以及通过填充所述孔图案的导电材料使用具有其使用设置有孔图案的柔性衬底上的导电性，并且结合了塑料材料的导电材料的柔韧性和电导率，现有 使用柔性基板时的问题，以改善太阳能电池的性能提高了电气和热性能，为模块化使用时使用所述柔性基板的柔性太阳能电池是这样的串联连接提供固定背面电极连接问题的孔图案 轻质柔性太阳能电池或超轻质柔性太阳能电池组件，可显着减轻重量。