公开(公告)号：WO2010049348A3

公开(公告)日：2011-03-17

申请号：PCT/EP2009063918

申请日：2009-10-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  LEEWIS CHRISTIAN ,  VAN DE KERKHOF MARCUS ,  VAN DER MAST KAREL ,  VANOPPEN PETER ,  ALVAREZ SANCHEZ RUBEN

Inventor： LEEWIS CHRISTIAN ,  VAN DE KERKHOF MARCUS ,  VAN DER MAST KAREL ,  VANOPPEN PETER ,  ALVAREZ SANCHEZ RUBEN

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70625

Abstract: In a method for determining one or more properties of a substrate, scatterometry spectra can be measured from one or more targets on the substrate. Reconstructions of each of said spectra can be performed to derive one or more values for the property of the substrate, by comparing representations of each of the measured spectra with one or more modeled representations of spectra calculated using variable parameter values. At least one parameter in the reconstruction for each spectrum can be linked to the value of the parameter used in the reconstruction for a different spectrum.

Abstract translation: 在确定衬底的一个或多个特性的方法中，可以从衬底上的一个或多个靶测量散射光谱。 可以通过将每个测量光谱的表示与使用可变参数值计算的光谱的一个或多个建模表示进行比较，来执行每个所述光谱的重建以导出衬底性质的一个或多个值。 每个频谱的重建中至少有一个参数可以链接到在不同频谱的重构中使用的参数的值。

公开(公告)号：NL2008197A

公开(公告)日：2012-08-14

申请号：NL2008197

申请日：2012-01-30

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BHATTACHARYYA KAUSTUVE ,  BOEF ARIE ,  KEIJ STEFAN ,  VANOPPEN PETER

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL2011816A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：NL2011816

申请日：2013-11-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： VANOPPEN PETER ,  BROUWER ERIC ,  BESTEN JAN ,  HINNEN PAUL ,  ENGELEN ADRIANUS ,  CRAMER HUGO

IPC: G01N21/47 ,  G03F7/20

公开(公告)号：NL2005510A

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：NL2005510

申请日：2010-10-13

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： MEGENS HENRICUS ,  QUAEDACKERS JOHANNES ,  LEEWIS CHRISTIAN ,  VANOPPEN PETER

IPC: G01N21/47 ,  G03F7/20

公开(公告)号：NL2003693A

公开(公告)日：2010-05-20

申请号：NL2003693

申请日：2009-10-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LEEWIS CHRISTIAN ,  KERKHOF MARCUS ,  MAST KAREL ,  VANOPPEN PETER ,  SANCHEZ RUBEN ALVAREZ

IPC: G01N21/47 ,  G03F7/20

公开(公告)号：NL2009508A

公开(公告)日：2013-04-25

申请号：NL2009508

申请日：2012-09-24

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KOOLEN ARMAND ,  PELLEMANS HENRICUS ,  SCHAAR MAURITS ,  VANOPPEN PETER ,  KUBIS MICHAEL

IPC: G01N21/47 ,  G03F7/20