半导体封装件及其制造方法

    公开(公告)号:CN111192858A

    公开(公告)日:2020-05-22

    申请号:CN201910232291.X

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 一种半导体封装件包括重布线结构、至少一个半导体装置、散热组件及包封材料。所述至少一个半导体装置设置在所述重布线结构上且电连接到所述重布线结构。所述散热组件设置在所述重布线结构上且包括凹陷部分及延伸部分,所述凹陷部分接纳所述至少一个半导体装置,所述延伸部分连接到所述凹陷部分且接触所述重布线结构,其中所述凹陷部分接触所述至少一个半导体装置。所述包封材料设置在所述重布线结构之上,其中所述包封材料填充所述凹陷部分且包封所述至少一个半导体装置。

    集成电路结构
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101308834B

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN200810084038.6

    申请日:2008-03-18

    CPC classification number: H01L21/76898 H01L23/481 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本发明涉及一种集成电路结构,包括衬底、形成于一穿透硅通道开口中并位于衬底之中的从该衬底的一上表面延伸至该衬底的一下表面的穿透硅通道、由衬底上表面延伸进入衬底的硬掩膜区,其中该上表面和该下表面是该衬底的相对两表面,此硬掩膜围绕穿透硅通道的上方部分、位于衬底上的介电层、形成于一开口中并由介电层的上表面向穿透硅通道延伸的金属柱,其中金属柱包含与穿透硅通道的填充材料相同的材料、以及覆盖于该开口和该穿透硅通道开口的侧壁以及该穿透硅通道开口的底部的扩散阻挡层,其中该扩散阻挡层与该开口和该穿透硅通道开口共形。

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