公开(公告)号：CN101593658B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN200910145359.7

申请日：2009-05-26

Applicant: FEI公司

Inventor： A·亨斯特拉

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J3/027 ,  H01J3/04 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/1534

Abstract: 本发明的名称为具有集成能量过滤器的带电粒子源，描述发生能量选择的粒子源。能量选择通过偏心地发送带电粒子束穿过透镜发生。这样做的结果是，在透镜形成的图像中将发生能量色散。通过将此图像投射到能量选择光阑中的狭缝上，可以只让有限的能量谱部分中的粒子穿过。因此，穿过的束将具有减少的能量分散。偏转单元将束偏转到光轴。也可以选择偏转经过透镜中间去向光轴并且具有如更大电流的束。能量色散点由偏转器在狭缝上成像。在狭缝上定位能量色散点时，中央束偏离轴到被能量选择光阑阻止的程度。由此避免了在光阑后的区域由此束导致的反射和污染。此外，还避免了中央束的电子与偏转器区域中的能量过滤束交互作用所导致的电子-电子相互作用。

公开(公告)号：CN103137418A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210595867.7

申请日：2012-11-29

Applicant: FEI公司

Inventor： B·R·小劳思

IPC: H01J49/12 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/285 ,  G01T1/28 ,  H01J27/16 ,  H01J37/05 ,  H01J37/077 ,  H01J37/08 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/265 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/305 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/24415 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及作为用于光谱分析的电子束源的感应耦合等离子体源。一种具有用户可选择配置的单镜筒感应耦合等离子体源操作在用于FIB操作的离子模式或用于SEM操作的电子模式下。装备有x射线探测器，能量色散x射线光谱分析是可能的。用户能够选择性地配置ICP以在离子模式或FIB模式下制备样品，接着实质上扳动选择电子模式或SEM模式的开关并且使用EDS或其它类型的分析来分析样品。

公开(公告)号：CN102484027A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080033732.0

申请日：2010-07-16

Applicant: 克拉-坦科股份有限公司

Inventor： 卡沙伊·沙德曼 ,  罗伯特·海恩斯 ,  伽柏·D·托特 ,  克里斯多佛·西尔斯 ,  迈赫兰·纳塞尔古德西

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J49/486 ,  H01J2237/0535 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24485

Abstract: 一个实施例涉及带电粒子能量分析器装置。第一网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第二侧，并且第一电极被安排成在第一网的第二侧和第一电极之间形成第一腔。第二网被安排成接收第二侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第一侧，并且第二电极被安排成在第二网的第一侧和第二电极之间形成第二腔。最后，第三网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第二侧，并且位置敏感带电粒子检测器被安排成在带电粒子穿过第三网之后接收带电粒子。

公开(公告)号：CN102292792A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201080005105.6

申请日：2010-01-22

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 伯·范德伯格 ,  威廉·迪韦尔吉利奥

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/026 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/055

Abstract: 一种离子注入方法和系统包括束中和以减轻束散，该束散在低能大电流离子束中可能是特别有问题的。束中和部件可以位于其中扩大可能发生的系统中。中和部件包括变化的激励场产生部件，其产生中和离子束的等离子体，由此减轻束散。以变化的频率和/或场强度产生激励场，以维持中和等离子体，同时减轻降低中和等离子体的作用的等离子体壳层的形成。

公开(公告)号：CN102067269A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980123980.1

申请日：2009-06-23

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 约翰·格兰特 ,  帕特里克·斯帕林特

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24542 ,  H01J2237/24578

Abstract: 一种离子注入系统(100)，包括：离子源(116)，构造为产生沿着射束路径(136)的离子束(104)；位于该离子源的下游的质量分析器(130)，其中，该质量分析器构造为对该离子束进行质量分析；和射束互补孔洞(330)，位于该质量分析器的下游且沿着该射束路径，该射束互补孔洞具有对应于该离子束的横截面射束包络的尺寸和形状。

公开(公告)号：CN102067268A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980123998.1

申请日：2009-06-23

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 杰弗里·瑞丁 ,  马文·法利 ,  博·范登伯格 ,  西奥多·史密克 ,  高尾坂濑

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1523 ,  H01J2237/153 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/31705

Abstract: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。

公开(公告)号：CN100592459C

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200480016510.2

申请日：2004-06-14

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·班威尼斯特 ,  R·拉斯梅尔 ,  黄扬强

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J2237/057

Abstract: 披露一种用于离子束的磁性偏转器，所述磁性偏转器包含第一与第二线圈。分别将线圈定位于射束的上方与下方，并且沿着射束的宽度进行延伸。电流通过线圈，用以在其间产生沿着大体上射束整个宽度而大致垂直于射束行进方向的磁场。在本发明的另一个方面中，披露一种在注入工件之前用来偏转射束的方法。该方法包含判断与射束相关联的一个或者多个特性，并且基于判断而有所选择地致动磁性偏转模组与静电偏转模组中的一种。

公开(公告)号：CN101467217A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200780021260.5

申请日：2007-06-13

Applicant: 山米奎普公司

Inventor： 希尔顿·F·格拉维什 ,  达勒·康拉德·雅各布森 ,  托马斯·N·霍尔斯基 ,  萨米·K·哈赫托

IPC: G21K5/10

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/30477 ,  H01J2237/31703 ,  H01L21/26513

Abstract: 本发明提供一种多用途离子植入器束线配置，其经构造以使得能够植入常用单原子掺杂剂离子物质和簇离子，所述束线配置具有质量分析器磁体，其界定在所述磁体的铁磁性极之间的具有相当大宽度的极间隙和质量选择孔隙，所述分析器磁体的大小设定为可容纳来自槽形离子源提取孔隙的离子束，且在对应于所述束的宽度的平面中在所述质量选择孔隙处产生分散，所述质量选择孔隙能够设定为质量选择宽度，所述宽度的大小经设定以选择所述簇的束，所述质量选择孔隙也能够设定为显著更窄的质量选择宽度，且所述分析器磁体在所述质量选择孔隙处具有足以允许选择具有实质上单一原子量或分子量的单原子掺杂剂离子束的分辨率。

公开(公告)号：CN101176185A

公开(公告)日：2008-05-07

申请号：CN200680015710.5

申请日：2006-05-10

Applicant: 埃美格科学仪器公司

Inventor： 彼得·帕纳伊

IPC: H01J49/40

CPC classification number: H01J37/05 ,  B82Y15/00 ,  H01J49/405 ,  H01J2237/0535

Abstract: 一种用于在飞行时间质谱仪中偏转来自样本的离子的反射器(1)包括前电极(2)和后电极(3)。前后电极(2、3)中的至少一个能够生成弯曲的电场。前后电极被配置以进行时间聚焦并解析样本的图像。

公开(公告)号：CN1906728A

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN200480040579.9

申请日：2004-12-02

Applicant: 日新意旺机械股份公司

Inventor： 内藤胜男 ,  藤田秀树

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/1477 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/057

Abstract: 一种离子束装置，包括：发出离子束(4)的离子源；用于从输入的离子束(4)中分离并取出所需质量的离子束(4)的质量分离电磁体(6)；用于在不变的扫描表面内绕不变的扫描中心(P)扫描输入离子束(4)并将其取出的扫描器12；静电偏转器，用于以扫描中心(P)为中心，将所需能量的离子束(4)从输入离子束(4)在致动偏转区域内静电偏转90°，从而在垂直于上述扫描表面的方向上前进，并将其取出；以及扫描机构(54)，用于保持靶(50)并在以常数角度与从静电偏转器(30)取出的离子束(4a)交叉的方向上机械地往复扫描靶。