-
公开(公告)号：CN119779349A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411867734.X
申请日：2024-12-18
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种用于石英音叉陀螺仪的静电耦合抑制电路，包括：石英音叉传感器、驱动与幅值控制电路、反相电路、补偿电路、角速度检测电路和解调滤波电路；石英音叉传感器输出信号分别指驱动与幅值控制电路以及角速度检测电路，驱动与幅值控制电路根据输入信号生成驱动信号，驱动信号还分别输入至反相电路以及解调滤波电路；反相电路根据驱动信号产生与其同频反相的驱动反相信号，驱动信号和驱动反相信号经过补偿电路后生成静电耦合补偿信号，并输入至角速度检测电路，与检测电路中静电耦合误差抵消，角速度检测电路生成角速度载波信号和角速度载波反相信号，并经解调滤波电路后输出角速度信号。本发明减小了静电误差，提高了陀螺整表性能。
-
公开(公告)号：CN114994362B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202210620692.4
申请日：2022-06-02
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01P21/00
Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。
-
公开(公告)号：CN112607703B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202011435359.3
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B81C1/00 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种用于提升驱动增益的石英音叉敏感结构的制备方法，该制备方法包括：步骤一，根据音叉驱动梁结构设计上下表面具有凹槽结构的音叉敏感结构减薄光刻版图；步骤二，在石英晶片的正反两面均形成Cr/Au/Cr/Au掩膜；步骤三，形成音叉整体结构的Cr/Au/Cr/Au掩膜图形和挠性支撑的Cr/Au掩膜图形；步骤四，形成镂空的音叉结构及挠性支撑石英结构；步骤五，根据音叉敏感结构减薄光刻版图设计具有镂空区域的音叉敏感结构侧面电极加工用遮挡板；步骤六，制备音叉敏感结构的侧面电极和挠性支撑的表面电极引线。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中石英音叉的制备方法无法有效增加石英音叉敏感结构驱动端三维电极有效面积，导致无法有效提升驱动增益的技术问题。
-
公开(公告)号：CN115865096A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211356551.2
申请日：2022-11-01
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: H03M3/00
Abstract: 本发明提供了一种分立式Sigma‑delta电路，该电路包括FPGA芯片、高速开关、载波发生模块以及依次连接的电荷转移模块、前置放大电路、A/D转换单元和解调滤波单元，FPGA芯片分别与高速开关、A/D转换单元和解调滤波单元连接，高速开关分别与载波发生模块、前置放大电路和电荷转移模块连接，载波发生模块与MEMS加速度计的输入端连接，电荷转移模块与MEMS加速度计的输出端连接。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中流片开发周期长、改造难度大并受模拟器件适配影响导致误差较大的技术问题。
-
公开(公告)号：CN115728517A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211423060.5
申请日：2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括：转接底座；平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板，均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接，并且在需要进行平面轴向测试时，所述平面轴向测试安装板与转接底座连接；在需要进行Z轴测试时，所述Z轴测试安装板与转接底座连接；测试电路安装板；所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上，所述测试电路安装板具有镂空通孔c，沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔，测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性，使得测试流程得以简化，极大的提高了测试效率，且精度得以提高。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111964690B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202010678964.7
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种石英音叉陀螺表头筛选测试装置，包括工装外壳结构(2)、表头安装支架(12)、测控电路(4)、减振组件、锁紧组件、圆孔插座、柔性金属带。石英音叉陀螺表头(1)通过锁紧组件安装在表头安装支架(12)上，所述表头安装支架(12)通过金属带(6)与测控电路(4)的电源地信号连接。所述表头安装支架(12)通过减振组件实现同工装外壳结构(2)的固连。在表头安装支架(12)对应表头对外引线位置处进行开孔，孔内布置圆孔插座，表头引线插入圆孔插座，圆孔插座引线端通过柔性金属带与测控电路(4)连接。本发明用于石英音叉陀螺表头筛选，有效抑制了测试的干扰误差，提高了测试效率。
-
公开(公告)号：CN112964242A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110195663.3
申请日：2021-02-22
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种石英音叉陀螺表头机械耦合误差测试系统及测试方法，该误差测试系统包括石英音叉陀螺表头、安装支架、至少一个机械振动单元、信号采集单元和控制单元，石英音叉陀螺表头与机械振动单元均设置在安装支架上，机械振动单元用于产生机械振动并通过安装支架将机械振动传递给石英音叉陀螺表头，以使石英音叉陀螺表头产生振动并输出驱动模态响应信号和检测模态响应信号。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中机械耦合误差测试系统的测试设备昂贵、存在电信号干扰、测量精度低的技术问题。
-
公开(公告)号：CN110440777B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201910634551.6
申请日：2019-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种音叉敏感结构修调在线测试方法及角速率传感器，该方法包括：求取驱动模态的谐振频率；向驱动通道施加激励电压频率值为驱动模态的谐振频率的激励信号以及产生机械耦合解调参考信号幅值；获取机械耦合误差信号幅值以及实际的驱动模态谐振频率；求取激励电压为白噪声下的检测模态的谐振频率；获取实际的检测模态谐振频率；根据实际的驱动模态谐振频率和实际的检测模态谐振频率求取谐振频率差值；判断当前机械耦合误差信号幅值以及谐振频率差值是否满足要求，如果未满足，则进行修调，重复上述步骤，直至修调后的敏感结构满足测试要求。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中无法准确测量音叉敏感结构的耦合误差量的技术问题。
-
公开(公告)号：CN119584840A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411529599.8
申请日：2024-10-30
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: H10N30/06 , H10N30/082 , H10N30/87 , H10N30/85
Abstract: 本发明提供一种用于石英器件的加工方法及石英器件，加工方法包括：步骤1、石英晶片准备；步骤2、根据所需要获得的石英器件确定需要被去除的区域，并采用激光改性石英晶片上需要被去除的区域；步骤3、在步骤2所得石英晶片的上下表面均制备一层金属膜层；步骤4、金属膜层图形化，确定石英结构图形，该图形与步骤2中激光改性图形大致一致，将需要被去除的区域暴露出来；步骤5、在图形化后的金属膜层表面制备第二层掩膜图形，用于确定电极图形；步骤6、采用化学溶液去除需要被去除的区域；步骤7、腐蚀金属膜层，将第二层掩膜上电极图形转移至金属膜层上；步骤8、去除第二层掩膜。本发明提高了石英结构加工精度及效率。
-
公开(公告)号：CN115865096B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202211356551.2
申请日：2022-11-01
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: H03M3/00
Abstract: 本发明提供了一种分立式Sigma‑delta电路，该电路包括FPGA芯片、高速开关、载波发生模块以及依次连接的电荷转移模块、前置放大电路、A/D转换单元和解调滤波单元，FPGA芯片分别与高速开关、A/D转换单元和解调滤波单元连接，高速开关分别与载波发生模块、前置放大电路和电荷转移模块连接，载波发生模块与MEMS加速度计的输入端连接，电荷转移模块与MEMS加速度计的输出端连接。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中流片开发周期长、改造难度大并受模拟器件适配影响导致误差较大的技术问题。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
39
records
(took 0.065 seconds)
